一种压电系数测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种压电系数测量装置，其包括底座；设置在所述底座上的样品放置台；设置在所述底座上加力装置，其位于所述样品放置台的一侧；所述加力装置包括驱动组件和可拆装探头；在驱动组件驱动作用下，所述可拆装探头与样品接触且对样品施加压力。本实用新型专利技术的探头拆装方便，能够应对不同电极面积的压电薄膜材料的压电系数测量。膜材料的压电系数测量。膜材料的压电系数测量。

【技术实现步骤摘要】
一种压电系数测量装置


[0001]本技术涉及压电系数测量领域，尤其涉及一种压电系数测量装置。

技术介绍

[0002]目前常用的测量方法采用的测试装置如图1所示，包括电磁驱动D1、电极D2、参考样片D3、绝缘住D4、探头D5，具体的，将被测样品D6固定在两个电极D5之间，通过电磁驱动D1的交变信号产生振动，使被测样品D6所受力的大小发生有规律的变化，并比较由被测样品D6在电容C1产生的电信号V1大小与已知压电系数的参考样片3在电容C2产生的电信号V2大小的关系得出样品1的压电系数，一般设定C1＝C2。
[0003]因为该测量方法是通过比较信号大小得到被测物的压电系数，所以探头D5和被测物间的接触面积需要保持一定大小。
[0004]但是，随着压电薄膜材料在微电子领域的应用，探头和被测物之间会出现图2、3、4所示，分别为被测样品D6的可作用面积远大于探头D5的接触面、被测样品D6的可作用面积远小于探头D5的接触面、被测样品D6的可作用面积与探头D5的接触面相近的几种不同情况。而现有测量方法不能应对探头与被测物之间有效面积发生变化的情况。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种压电系数测量装置，其探头拆装方便，能够应对不同电极面积的压电薄膜材料的压电系数测量。
[0006]根据本申请的第一方面，提供一种压电系数测量装置，其包括：
[0007]底座；
[0008]设置在所述底座上的样品放置台；
[0009]设置在所述底座上加力装置，其位于所述样品放置台的一侧；所述加力装置包括驱动组件和可拆装探头；
[0010]在驱动组件驱动作用下，所述可拆装探头与样品接触且对样品施加压力。
[0011]在一些实施方式中，所述样品放置台，与信号处理装置电性连接；
[0012]所述可拆装探头与信号处理装置电性连接；所述可拆装探头、样品、样品放置台与信号处理装置形成导电回路。
[0013]在一些实施方式中，所述可拆装探头包括：与所述驱动组件连接固定的快装结构，所述快装结构具有一安装腔，在所述安装腔内设置有探头。
[0014]在一些实施方式中，所述快装结构包括：
[0015]卡板，其一侧开口，形成一插槽；
[0016]插板，其可拆卸固定在所述卡板具有开口的一侧；
[0017]顶板，其可拆卸固定在所述卡板的上方；
[0018]所述卡板、插板、顶板三者连接在一起，形成一安装腔，用以安装探头。
[0019]进一步的，所述插板包括主板和位于主板两端的固定板；其中，
[0020]所述主板嵌入所述插槽内，与所述卡板、顶板配合形成所述安装腔，
[0021]所述固定板与所述卡板抵接，所述固定板和所述卡板通过连接构件固定。
[0022]进一步的，所述顶板的底部具有向下突出的限位凸台；
[0023]所述探头的顶部具有凹槽；
[0024]当探头的局部固定安装在所述安装腔内后，所述凸台嵌入凹槽内，使所述探头在水平方向上位置固定。
[0025]进一步的，所述凹槽的一侧具有开口，所述开口与凹槽之间构成一轨道，所述凸台能够沿所述轨道滑入凹槽内。
[0026]进一步的，所述卡板和插板的底部边缘均具有第一凸缘，所述第一凸缘朝所述安装腔的中心延伸；
[0027]所述探头的顶部具有径向向外延伸的第二凸缘；
[0028]所述第一凸缘托住所述第二凸缘，从而将探头的局部固定在安装腔内。
[0029]进一步的，所述卡板和插板上均具有第一斜坡过渡部，所述第一斜坡过渡部设在第一凸缘的一端；
[0030]所述第二凸缘的底部边缘具有第二斜坡过渡部；
[0031]当探头的局部固定安装在所述安装腔内后，所述第一斜坡过渡部与第二斜坡过渡部相抵。
[0032]进一步的，所述顶板上具有多个用于与卡板连接固定的固定孔。
[0033]与现有技术相比，本技术的一种压电系数测量装置，通过所述快装结构，能够实现探头的快速拆装且定位，避免了由于用户频繁拆装而造成探头拆装后的垂直度和定位精度不准确的问题，本技术的探头方便拆装，结构简单，方便用户使用。
[0034]为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本技术。
附图说明
[0035]图1是压电系数测量原理示意图；
[0036]图2是被测样品与探头的接触结构示意图；
[0037]图3是被测样品与探头的接触结构示意图；
[0038]图4是被测样品与探头的接触结构示意图；
[0039]图5是本申请实施例的压电系数测量装置的结构示意图；
[0040]图6是本申请实施例的可拆装探头的结构示意图；
[0041]图7是本申请实施例的可拆装探头的结构示意图；
[0042]图8是本申请实施例的可拆装探头的结构示意图；
[0043]图9是本申请实施例的可拆装探头在未设置顶板时的俯视图。
具体实施方式
[0044]为了更好地阐述本技术，下面参照附图对本技术作进一步的详细描述。
[0045]应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请实施例保护的范围。
[0046]在本申请实施例使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请实施例。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0047]下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0048]此外，在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0049]如图5
‑
9所示，为本申请实施例的压电系数测量装置，其包括：
[0050]底座100；
[0051]设置在所述底座上的样品放置台200；
[0052]设置在所述底座上加力装置300，其位于所述样品放置台的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电系数测量装置，其特征在于，包括：底座；设置在所述底座上的样品放置台；设置在所述底座上方加力装置，其位于所述样品放置台的一侧；所述加力装置包括驱动组件和可拆装探头；在驱动组件驱动作用下，所述可拆装探头与样品接触且对样品施加压力。2.根据权利要求1所述的压电系数测量装置，其特征在于，所述可拆装探头包括：与所述驱动组件连接固定的快装结构，所述快装结构具有一安装腔，在所述安装腔内设置有探头。3.根据权利要求2所述的压电系数测量装置，其特征在于，所述快装结构包括：卡板，其一侧开口，形成一插槽；插板，其可拆卸固定在所述卡板具有开口的一侧；顶板，其可拆卸固定在所述卡板的上方；所述卡板、插板、顶板三者连接在一起，形成一安装腔，用以安装探头。4.根据权利要求3所述的压电系数测量装置，其特征在于，所述插板包括主板和位于主板两端的固定板；其中，所述主板嵌入所述插槽内，与所述卡板、顶板配合形成所述安装腔，所述固定板与所述卡板抵接，所述固定板和所述卡板通过连接构件固定。5.根据权利要求3所述的压电系数测量装...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈显锋，郑志挺，
申请(专利权)人：佛山市卓膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：