用于薄膜微器件传感性能监测的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其包括主检测台、缓震定位筒、和紧固组件。所述缓震定位筒安装在所述主检测台的内测，所述紧固组件安装在主检测台的外侧，所述主检测台包括上台板、下台板、支脚，所述缓震定位筒包括定位外壳、定位立柱，所述紧固组件包括加长螺杆、缓冲垫片，弹性法兰扣。本实用新型专利技术通过检测夹具固定所要检测的薄膜微器件，监测其传感性能，过程中避免了因手持操作所造成的微器件受力不当所引起的数据误差、错误甚至器件的损坏的问题，并能通过改进的紧固组件实现长时间的动态微数据监测以及短时均匀的冲击监测。均匀的冲击监测。均匀的冲击监测。

【技术实现步骤摘要】
用于薄膜微器件传感性能监测的夹具


[0001]本技术属于薄膜微器件检测领域，具体涉及一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具。

技术介绍

[0002]触觉是人类感知外界环境的一种重要知觉。目前将以人类触觉为机理的触觉传感器应用在仿生皮肤领域，使智能机械具备人的感知能力，可对机械、温度、光学及生物刺激做出快速判断反应。灵敏度是检验触觉传感器性能的主要指标，当前压电式传感器灵敏度高，固有频率高，信噪比强，动态响应宽，国内外应用广泛。高分子压电聚合物如聚偏氟乙烯(PVDF)等，与之相关的薄膜微器件相比压电晶体、压电陶瓷等压电材料具有柔韧性好，介电强度高，声阻抗低，质量小，动态响应宽等优点，同时具备热点性，其被广泛应用在新型压电触觉传感器领域。
[0003]压电参数的测量以电测法为主，电测法可分为动态法、静态法和准静态法。动态法是用交流信号激励样品，使之处于谐振及谐振附近的状态，通过测量其特征频率，并进行适当的计算便可获得压电参量的数值。传统的检测过程所用到的实验用具仅是压电传感器和数显装置，检测时会在压电传感器的表面覆盖陶瓷压片或树脂压片，在压片的表面做敲击或冲击操作等，记录相关数据进而得到相关的实验结果。过程中不宜控制压电传感器输入信号的强度和分布，导致测量的数据不准确，存在较大的误差，并且会因局部压力的冲击效应导致传感器的损坏，因此，设计一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，对于辅助监测微器件的检测性能是十分必要的。

技术实现思路

[0004]针对以上情况，本技术一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，该夹具可以夹持检测的薄膜微器件以及其他便于检测的具有回弹性质的聚合物或高分子材料等，固定所要检测的薄膜微器件，监测其传感性能，过程中避免了因手持操作所造成的微器件受力不当所引起的数据误差、错误甚至器件的损坏的问题，并能通过改进的紧固组件实现长时间的动态微数据监测以及短时均匀的冲击监测。
[0005]本技术一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其包括主检测台和支脚；所述主检测台的下方设置有多个所述支脚；所述主检测台包括上台板、下台板、缓震定位筒、紧固组件和气泡水平仪，所述上台板与所述下台板依靠多个所述缓震定位筒和多个所述紧固组件固定连接，所述气泡水平仪设置在所述上台板的上表面；所述缓震定位筒包括定位外壳和定位立柱，所述定位外壳的第一端连接所述上台板的下表面，所述定位外壳的第二端套设在所述定位柱的第一端的外部，所述定位柱的第二端连接所述下台板的上表面，所述紧固组件的第一端和第二端分别连接所述上台板的主体和所述下台板并伸出所述下台板，所述缓震定位筒与所述紧固组件间隔设置；所述支脚包括支撑杆和支撑脚，所述支撑杆的第一端连接所述下台板的下表面，所述支撑杆的第二端套设在所述支撑脚的第一端
的内部。
[0006]进一步，所述上台板和所述下台板上均匀的开设有多个螺纹孔，所述下台板上开设有多个用于连接支撑杆的连接孔，所述紧固组件能通过螺纹孔将所述上台板与所述下台连接。
[0007]进一步，所述支撑杆的第二端能够调节伸入所述支撑脚内部的长度，从而对所述支脚进行升降调节。
[0008]进一步，所述支撑杆通过所述连接孔与所述下台板固定链接，所述支脚的数量与所述连接孔的数量相等。
[0009]进一步，所述定位外壳的上端设有贯通螺纹孔，所述定位立柱的下端设有螺纹孔，所述定位立柱与定位外壳之间设置有弹性元件。
[0010]进一步，所述紧固组件包括加长螺杆、缓冲垫片和弹性法兰扣，所述加长螺栓通过螺纹孔固定在所述上台板和所述下台板上，所述加长螺栓上设置有两个所述缓冲垫板，所述弹性法兰扣设在所述加长螺栓与所述下台板接触处的下表面。
[0011]进一步，所述支撑脚的第二端设置有胶垫。
[0012]进一步，所述上台板和所述下台板上的螺纹孔数量相等。
[0013]进一步，所述上台板的中心开设有多个安装孔，所述气泡水平仪通过安装孔固定在所述上台板的上表面。
[0014]本技术的特点和有益效果是：
[0015](1)本技术提供的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，使用过程即通过调节主检测台的两个检测板的水平状态，保证了夹具对待监测薄膜微器件的受力是均匀分布的。
[0016](2)本技术提供的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，通过缓震定位筒，可以实现对薄膜微器件的冲击检测。
[0017](3)本技术提供的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，所使用的缓冲垫片，弹性法兰扣因其材料在形变后受外力的影响会发生回弹，因此可以用于实现长时间的动态微数据监测以及短时均匀的冲击监测。
附图说明
[0018]图1为本技术用于薄膜微器件传感性能监测的夹具的整体组成示意图；
[0019]图2为本技术的上台板的结构示意图；
[0020]图3为本技术的下台板的结构示意图；
[0021]图4为本技术的支脚的结构示意图；
[0022]图5为本技术的缓震定位筒的结构示意图；
[0023]图6为本技术的气泡水平仪的结构示意图。
[0024]图中：
[0025]气泡水平仪1，上台板2，下台板3，缓震定位筒4，紧固组件5，支脚6，螺纹孔7，安装孔8，支脚孔9，支撑杆10，支撑脚11，胶垫12，定位外壳13，定位柱14
具体实施方式
[0026]为详尽本技术之
技术实现思路
、结构特征、所达成目的及功效，以下将结合说明书附图进行详细说明。
[0027]如图1
‑
6所示一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，包括主检测台和支脚6；主检测台的下方设置有多个支脚6；主检测台包括上台板2、下台板3、缓震定位筒4、紧固组件5和气泡水平仪1，上台板2与下台板3依靠多个缓震定位筒4和多个紧固组件5固定连接，上台板2和下台板3上均匀的开设有多个螺纹孔7，上台板2的中心开设有多个安装孔8，气泡水平仪1通过安装孔8固定在上台板2上，下台板3上开设有多个用于连接支撑杆10的连接孔，紧固组件5能通过螺纹孔7将上台板2与下台连接，紧固组件5包括加长螺杆、缓冲垫片和弹性法兰扣，加长螺栓通过螺纹孔7固定在上台板2和下台板3上，加长螺栓上设置有两个缓冲垫板，弹性法兰扣设在加长螺栓与下台板3接触处的下方，气泡水平仪1设置在上台板2的上表面；缓震定位筒4包括定位外壳13和定位立柱，定位外壳13的第一端连接上台板2的下表面，定位外壳13的第二端套设在定位柱14的第一端的外部，定位外壳13的上端设有贯通螺纹孔7，定位立柱的下端设有螺纹孔7，定位立柱与定位外壳13之间设置有弹性元件，定位柱14的第二端连接下台板3的上表面，紧固组件5的第一端和第二端分别连接上台板2的下表面和下台板3并伸出下台板3，缓震定位筒4与紧固组件5间隔设置；支脚6包括支撑杆10和支撑脚11，支撑杆10的第一端连接下台板3的下表面的支脚孔9，支撑杆10的第二端套设在支撑脚11的第一端的内部，支撑杆10的第二端能够调节伸入支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，其包括主检测台和支脚；所述主检测台的下方设置有多个所述支脚；所述主检测台包括上台板、下台板、缓震定位筒、紧固组件和气泡水平仪，所述上台板与所述下台板依靠多个所述缓震定位筒和多个所述紧固组件固定连接，所述气泡水平仪设置在所述上台板的上表面；所述缓震定位筒包括定位外壳和定位柱，所述定位外壳的第一端连接所述上台板的下表面，所述定位外壳的第二端套设在所述定位柱的第一端的外部，所述定位柱的第二端连接所述下台板的上表面，所述紧固组件的第一端和第二端分别连接所述上台板的主体和所述下台板并伸出所述下台板，所述缓震定位筒与所述紧固组件间隔设置；所述支脚包括支撑杆和支撑脚，所述支撑杆的第一端连接所述下台板的下表面，所述支撑杆的第二端套设在所述支撑脚的第一端的内部。2.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述上台板和所述下台板上均匀的开设有多个螺纹孔，所述下台板上开设有多个用于连接支撑杆的连接孔，所述紧固组件能通过螺纹孔将所述上台板与所述下台连接。3.根据权利要求1所述的用于薄膜微器件传感性能监测的夹具，其特征在于，所述支撑杆的第二端能够调节伸入...

【专利技术属性】
技术研发人员：关雪飞，郭文浩，袁洪魏，唐维，何晶靖，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院研究生院，
类型：新型
国别省市：