一种含氟废水处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种含氟废水处理装置，其降低了药剂投加量，降低了药剂成本，其包括废水收集池，废水收集池包括含氟废水收集池、磷酸废水收集池、硫酸废水收集池、其他酸碱废水收集池，含氟废水收集池后端顺次连接调节池及废水处理系统，其还包括RO浓缩系统，RO浓缩系统的进水口和浓水出口分别连接所述含氟废水收集池、调节池，RO浓缩系统的产水出口连接回用水箱，调节池内部设有氢氧化钙加药系统，反应池中设有氯化钙加药系统。反应池中设有氯化钙加药系统。反应池中设有氯化钙加药系统。

【技术实现步骤摘要】
一种含氟废水处理装置


[0001]本技术涉及废水处理装置
，具体为一种含氟废水处理装置。

技术介绍

[0002]半导体生产工艺过程中会产生低浓度含氟废水，含氟废水在整个废水排放体系中占有较大比例。目前处理低浓度含氟废水的方法广泛采用化学沉淀法，即向含氟废水中投加氯化钙，通过生成氟化钙沉淀进而除去废水中的氟离子。但化学沉淀法除氟存在以下缺点：半导体行业通常将硫酸清洗水、磷酸清洗水等废水与氢氟酸清洗水进行混合处理，所以含氟废水中含有硫酸根、磷酸根等离子，当进水氟离子浓度较低时，会增大钙盐的投加量（根据氟化钙的Ksp=5.3
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‑9，氢氟酸的Ka=3.6
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‑4，可计算出氯化钙的实际加药量，如图1所示），导致了药剂成本的增加。
[0003]中国专利技术专利CN 102050531 B含氟废水处理方法，通过采用pH调节+一级加钙+混凝剂+絮凝剂等工艺对含氟废水进行处理。该工艺使用氟离子分析仪代替测量精度低的氟电极，精准控制氯化钙用量，在一定程度上减少了氯化钙的投加量，但该工艺需要采用大量氢氧化钠溶液调节废水的pH值，药剂运行成本也较高。
[0004]中国专利技术专利CN 106045112 A一种盐酸
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石灰法处理含氟废水的设备及处理工艺，该工艺采用盐酸调节废水pH，使用石灰（氢氧化钙）除去含氟废水的氟离子。当出水氟离子满足排放要求时，所投加的氢氧化钙会使废水呈强碱性，pH为11~12，需投加大量的盐酸（一元酸）将废水pH值维持在7.5~8，药剂运行成本也较高。

技术实现思路

[0005]针对现有的含氟废水处理过程中药剂使用运行过高的问题，本技术提供了一种含氟废水处理装置，其降低了药剂投加量，降低了药剂成本。
[0006]其技术方案是这样的：一种含氟废水处理装置，其包括废水收集池，废水收集池包括含氟废水收集池、磷酸废水收集池、硫酸废水收集池、其他酸碱废水收集池，含氟废水收集池后端顺次连接调节池、反应池、混凝池、絮凝池、沉淀池和放流池，其还包括RO浓缩系统，所述RO浓缩系统的进水口和浓水出口分别连接所述含氟废水收集池、所述调节池，所述RO浓缩系统的产水出口连接回用水箱，调节池内部设有氢氧化钙加药系统，反应池中设有氯化钙加药系统，所述硫酸废水收集池、所述其他酸碱废水收集池均通过管道连接到所述放流池。
[0007]优选的，氢氧化钙加药系统、氯化钙加药系统分别连接可编程逻辑控制器，调节池内部还设有pH计、氟离子电极，pH计、氟离子电极分别连接可编程逻辑控制器。
[0008]优选的，RO浓缩系统的回收率为80%。
[0009]优选的，含氟废水收集池与RO浓缩系统之间还顺次设有石英砂过滤器、保安过滤器，石英砂过滤器的填料为砂砾、无烟煤、石英砂。
[0010]有益效果：通过采用废水分流的方式，单独收集含氟废水并加钙处理，减少钙盐投
加量；同时通过RO浓缩系统对低浓度含氟废水进行提浓，含氟废水经浓缩之后其浓度大大增加，降低了钙氟摩尔比，因此进一步减少了钙盐的投加量；进一步的，在废水处理系统前段的调节池内部设有氢氧化钙加药系统，投加氢氧化钙使含氟废水的pH值保持中性，剩余所需的钙离子采用氯化钙加药系统进行投加，使投加的氯化钙的投加量最小化，节省了药剂成本；更进一步的，其他酸碱废水池及硫酸废水收集池接入到放流池，起到对含氟废水出水稀释的作用，使得混合后氟离子浓度更低。
附图说明
[0011]图1为钙盐投加量与进水氟浓度的关系图；
[0012]图2为含氟废水处理装置的系统框图。
具体实施方式
[0013]如图2所述的一种含氟废水处理装置，包括含氟废水收集池1、磷酸废水收集池2、硫酸废水收集池3、其他酸碱废水收集池4，含氟废水收集池1后端顺次连接石英砂过滤器进料泵18、石英砂过滤器5、保安过滤器6、RO进料泵19、RO浓缩系统7、调节池8、反应池9、混凝池10、絮凝池11、沉淀池12和放流池13。RO浓缩系统7还连接回用水箱14，沉淀池12还连接污泥系统15。其中含氟废水收集池1、磷酸废水收集池2、硫酸废水收集池3、其他酸碱废水收集池4、调节池8、反应池9、混凝池10、絮凝池11及放流池13内部均设有搅拌装置，混凝池10一侧设有PAC加药系统，絮凝池11一侧设有PAM加药系统。
[0014]优选的，调节池8中还设有pH计20、氟离子电极22及氢氧化钙加药系统16，反应池9中还设有氯化钙加药系统17，pH计20、氟离子电极22、氢氧化钙加药系统16及氯化钙加药系统17分别连接可编程逻辑控制器21，通过可编程逻辑控制器21自动控制氢氧化钙及氯化钙的投加量。
[0015]优选的，石英砂过滤器5的填料为砂砾、无烟煤、石英砂，用于去除废水中的悬浮物。
[0016]优选的，RO浓缩系统7的回收率为80%。
[0017]优选的，放流池13还直接连接硫酸废水收集池3、其他酸碱废水收集池4。
[0018]本技术的工作原理如下：通过设置不同的收集池将废水分流收集，降低了钙盐的投加量，含氟废水收集池1顺次通过石英砂过滤池5、保安过滤器6将含氟废水的悬浮物去除，再经RO浓缩系统7提浓处理，提浓后的含氟废水进入调节池8，通过氟离子电极22检测调节池8的氟离子浓度，并将此信号传输至可编程逻辑控制器21，可编程逻辑控制器21根据氟化钙的Ksp=5.3
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9，氢氟酸的Ka=3.6
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4，计算钙盐实际加药量，从而确定出钙盐的总投加量，通过控制氢氧化钙的投加量，将含氟废水pH调节至中性，反应时间为20~25min；含氟废水经调节池8调节后进入反应池9, 再通过可编程逻辑控制器21的控制，确定氯化钙投加量（总钙量减去氢氧化钙中的钙量），使出水氟离子小于10mg/L，满足排放要求，反应时间20~25min，含氟废水再顺次经混凝池10、絮凝池11使氟化钙污泥絮凝沉降，沉淀排入污泥处理系统15，上清液排入放流池13。
[0019]本技术的有益效果：（1）本技术采用废水分流收集方式，单独收集含氟废水并加钙处理，减少钙盐投加量；（2）本技术采用RO浓缩系统7对低浓度含氟废水进行
提浓，含氟废水经浓缩之后其浓度大大增加，降低了钙氟摩尔比，因此减少了钙盐的投加量，RO产水可回用；（3）含氟废水处理前段投加氢氧化钙，氢氧化钙在含氟废水处理过程中有两个作用，除了能够调节pH值外，引入的钙离子还能与氟离子反应；另外氢氧化钙使含氟废水的pH值保持中性，剩余所需的钙离子采用氯化钙进行投加，使投加的氯化钙的投加量最小化，节省了药剂成本；（4）本技术为进一步减少氯化钙的投加量，可将其他酸碱废水池4及硫酸废水收集池3接入到放流池13，起到一个含氟废水出水稀释的作用，使得混合后氟离子浓度更低，氟离子浓度可以达到小于3mg/L，远低于排放标准，因此可减少除氟系统氯化钙的投加量，减少本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含氟废水处理装置，其包括废水收集池，其特征在于：所述废水收集池包括含氟废水收集池、磷酸废水收集池、硫酸废水收集池、其他酸碱废水收集池，所述含氟废水收集池后端顺次连接调节池、反应池、混凝池、絮凝池、沉淀池和放流池，其还包括RO浓缩系统，所述RO浓缩系统的进水口和浓水出口分别连接所述含氟废水收集池、所述调节池，所述RO浓缩系统的产水出口连接回用水箱，所述调节池内部设有氢氧化钙加药系统，所述反应池中设...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗嘉豪，廖翔，熊江磊，高亚光，刘佳，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：新型
国别省市：