【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，特别涉及在基板上具备有多条数据线、多条扫描线和多个驱动元件的。
技术介绍
一般地，作为在绝缘性的基板上具备多条数据线、多条扫描线、与多条数据线和多条扫描线的各交叉相对应地在每个像素中形成的多个驱动元件、与每个驱动元件相对应地设置的像素电极的电光装置而言，有源矩阵驱动方式的液晶装置被众所周知。在制造有源矩阵驱动方式的液晶装置时，通过利用干法蚀刻、等离子体CVD法在绝缘性的基板上形成半导体层、各种导电膜，而形成像素电极、数据线、扫描线和与扫描线及数据线电连接的像素开关用的薄膜晶体管(Thin Film Transistor；以下称做TFT)。此时，有时会因由于利用等离子体CVD法进行成膜而在基板表面积蓄的电荷、静电等，而在扫描线中产生突发的过载电流。由于这样的过载电流，而有可能会发生扫描线的破损，特别是在与扫描线相连或由扫描线的一部分构成的TFT的栅和源·漏之间发生绝缘破坏。因此，在专利第3395598号公报中公开了下述技术为了防止过载的电流的产生，形成与多条扫描线的各个电连接的短路用布线，通过短路用布线而使电荷、静电等扩散到基板外周侧。在专利第3...
【技术保护点】
一种电光装置的制造方法，是在基板上具备多条数据线、多条扫描线、与上述多条数据线和上述多条扫描线的交叉相对应地分别在每个像素中形成的多个驱动元件、与每个该驱动元件相对应地分别设置的多个像素电极的电光装置的制造方法，其特征在于，包括：形 成蚀刻停止层的工序；在上述蚀刻停止层的上方形成上述多条扫描线和使上述多条扫描线互相短路的公共布线的工序；形成使上述多条数据线和上述多个像素电极对于上述多条扫描线和上述多个驱动元件层间绝缘的第１层间绝缘膜的工序；在上述 第１层间绝缘膜上形成用于将上述多条数据线和上述多个像素电极分别电连接...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森胁稔，安川昌宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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