【技术实现步骤摘要】
一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源
[0001]本技术涉及脉冲偏压电源
,具体为一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源。
技术介绍
[0002]脉冲偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负或正偏压,并具备单正脉冲和双正、负脉冲电源,采用独特的调制技术,通过数控,可进行正向电流、电压调节、负向电流、电压等操作。
[0003]市面上使用的脉冲偏压电源一般都不具备抑制电弧的作用,电弧是一种气体放电现象,电流通过某些绝缘介质所产生的瞬间火花,它不仅对触头有很大的破坏作用,易造成爆炸,火灾等情况,电弧可通过惰性气体进行抑制为此,我们提出一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源,以解决上述
技术介绍
中提出的市面上使用的脉冲偏压电源一般都不具备抑制电弧的作用,电弧是一种气体放电现象,电流通过某些绝缘介质所产生的瞬间火花,它不仅对触头有很大的破坏作用,易造成爆炸,火灾等情况,电弧可通过惰性气 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源,包括箱体卡合结构(1)、电弧抑制结构(2)、控制面板(3)、防误触结构(4)和散热结构(5),其特征在于:所述箱体卡合结构(1)的顶端内部设置有电弧抑制结构(2),所述箱体卡合结构(1)的外部外壁设置有控制面板(3),所述控制面板(3)的外表面设置有防误触结构(4),所述箱体卡合结构(1)的两侧外壁连接有散热结构(5);所述电弧抑制结构(2)包括:气嘴(201),其设置于所述箱体卡合结构(1)的顶部外壁;弹簧(202),其设置于所述气嘴(201)的内部外壁;固定块(203),其固定于所述气嘴(201)的外部外壁;限位块(204),其固定于所述气嘴(201)的外部外壁;卡合塞(205),其设置于所述气嘴(201)的内部。2.根据权利要求1所述的一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述卡合塞(205)通过弹簧(202)与限位块(204)构成弹性结构,且限位块(204)的外部外壁与气嘴(201)的内部外壁紧密贴合。3.根据权利要求1所述的一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述箱体卡合结构(1)包括:顶盖(101),其设置于所述电弧抑制结构(2)的外部;螺栓(102),其设置于所述顶盖(101)的外表面;底盒(103),其连接于所述顶盖(101)的底部外壁;密封环(104),其设置于所述顶盖(101)的底部外壁。4.根据权利要求3所述的一种具备电弧抑制结构的脉冲偏压电源,其特征在于:所述顶盖(101)通过螺栓(102)与底盒(103)构成可拆卸结构,且密封环(104)通过顶盖(101)与底盒(103)构成卡合结构。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕忠毅,梁寅平,
申请(专利权)人:大连派立特电子科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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