具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法技术

技术编号:3235846 阅读:351 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,该方法是采用化学溶液沉积法:溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成,配制成0.1-0.3M的前驱体溶液;采用旋转镀膜方式得到凝胶膜,然后在快速退火中分段进行热处理,形成薄膜材料;重复该过程,直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明专利技术的优点是:整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明专利技术方法在LaNiO↓[3]/Pt/Ti/SiO↓[2]/Si基片上得到的薄膜,经测量不施加偏场时的热释电系数可达1.6×10↑[-8]Ccm↑[-2]K↑[-1]。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种铁电薄膜材料,特别是一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛 酸铅弛豫铁电薄膜材料的制备方法。
技术介绍
由于单片集成式铁电薄膜探测器比混成式铁电陶瓷探测器具有更高的探测率和更低的热串音,引起国际上对这种探测器广泛深入的研究。2001年 Raytheon-TI系统公司成功制备了基于锆钛酸铅(PZT)薄膜的单片集成式320 X240焦平面探测器,并实现了室温成像。然而到目前为止,还没有商业化的铁电薄膜焦平面列阵 出现。原因何在?主要是铁电薄膜焦平面列阵器件的均匀性和稳定性问题还没 有得到实质性解决,因此大大降低了器件的可靠性,阻碍了其商业化进程。解 决焦平面均匀性和稳定性问题的一个有效途径就是研制具有自极化效应的铁电 薄膜材料。自极化现象表现为,不经 过任何预极化处理(包括直流和交流电场处理)铁电薄膜就能表现出良好的热 释电特性。基于铁电材料的红外焦平面列阵器件,在实用前一般需要对灵敏元 进行极化处理。但是对于大面积焦平面列阵器件,均匀地极化每一个灵敏元是 及其困难的,同时极化后的灵敏元稳定性也不太好。而具有自极化效应的铁电 薄膜不需要极化处理,均匀性大大提高,而且稳定性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法,其特征在于具体步骤如下:§A.前驱体溶液的配制:溶剂为乙二醇甲醚(CH↓[3]OCH↓[2]CH↓[2]OH),稳定剂为乙酰丙酮(CH↓[3]CH↓[2]COCH↓[2 ]CH↓[3]);溶质为三水合醋酸铅(Pb(CH↓[3]COO)↓[2].3H↓[2]O)、乙醇铌(Nb(CH↓[3]CH↓[2]O)↓[2])、醋酸镁(Mg(CH↓[3]COO)↓[2])、正丁醇钛(Ti(CH↓[3]CH↓[2] CH↓[2]CH↓[2]O),按xPbMg↓[2/3]Nb↓[1/3]O↓[3]-1-xPbTi...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:褚君浩孟祥建林铁石富文孙璟兰马建华韩莉
申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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