具有故障预测功能的等离子体喷枪制造技术

公开一种具有故障预测功能的等离子体喷枪。以与供应工作气体的注入孔连通的方式沿所述主体的壁在壁内部形成引导通道，在所述引导通道的端部形成有向所述主体的内侧暴露的排出孔使得所述排出孔与所述收容空间连通，从而所述收容空间维持填充有所述工作气体的密封状态，并且当所述阳极因腐蚀而形成孔时，填充到所述收容空间的工作气体通过所述孔而泄漏。到所述收容空间的工作气体通过所述孔而泄漏。到所述收容空间的工作气体通过所述孔而泄漏。

【技术实现步骤摘要】
具有故障预测功能的等离子体喷枪


[0001]本专利技术涉及一种等离子体喷枪，尤其涉及一种能够防止因冷却水泄漏引起的腐蚀的扩张的技术。

技术介绍

[0002]以焊接、切割、表面处理、废弃物燃烧等为目的而对特定部分施加高温的喷枪根据燃烧的燃料的形态而被提供为多种结构。
[0003]近来，正在广泛普及并使用通过在两个电极之间施加高压电流而生成的等离子体状态下供应工作气体(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等)而能够获得更高的燃烧热的等离子体喷枪。
[0004]尤其，在半导体的制造工艺中，为了以环保方式处理、排出包括有全氟化合物(PFC：PerFluoro Compound)气体的氟化合物等有害废气，需要10,000℃以上的高温。
[0005]在现有技术中，存在如下问题：分解的废气中含有F、Cl离子的腐蚀性气体通过涡流而流向等离子体喷枪的出口侧，从而损伤铜材质的阳电极而缩短寿命。
[0006]为了解决这些问题，本申请的申请人在第2020
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0031299号韩国公开专利中公开了一种在阳极内部形成有沿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有故障预测功能的等离子体喷枪，所述等离子体喷枪配备有筒状的主体、设置于所述主体的上部的盖体、夹设于所述主体与所述盖体之间的阴极以及设置于所述主体内部的阳极，使得向在所述阴极与所述阳极之间施加高压电流而生成的等离子体供应工作气体并用等离子体火焰分解废气，其特征在于，与所述主体的下端沿高度方向隔开而向内侧突出形成有划分凸缘，从所述阳极的下端突出形成有隔开预定间隔的第一凸缘及第二凸缘，并且在其之间形成环形状的收容空间，以与供应所述工作气体的注入孔连通的方式沿所述主体的壁在壁内部形成有引导通道，在所述引导通道的端部形成有向所述主体的内侧暴露的排出孔使得所述排出孔与所述收容空间连通，从而所述收容空间维持填充有所述工作气体的密封状态，当所述阳极因腐蚀而形成孔时，填充到所述收容空间的工作气体通过所述孔而泄漏。2.根据权利要求1所述的具有故障预测功能的等离子体喷枪，其特征在于，所述阳极的第二凸缘与所述主体的划分凸缘彼此接触且在其之间夹设O型圈，从而在所述阳极的外侧面与所述主体的内侧面之间形成密封的冷却水通道。3.根据权利要求1所述的具有故障预测功能的等离子体喷枪，其特征在于，当所述工作气体通过所述孔泄漏时，供应到所述等离子体的工作气体的量减少而使所述等离子体关闭，从而能够预测故障。4.一种具有故障预测功能的等离子体喷枪，所述等离子体喷枪配备有筒状...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹泰爽，郑义淳，南德祐，
申请(专利权)人：尤内深股份公司，
类型：发明
国别省市：