一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座，所述支撑座底部的左右两侧均固定安装有支撑柱，所述支撑座的顶部活动安装有放置台，所述支撑座的内部固定安装有滑轨，所述滑轨正面的左右两侧均滑动安装有测量组件，所述支撑座正面和背面均固定安装有安装板，所述测量组件包括电动推杆、支撑管、插杆、限位孔、插轴、连接杆、测量尺、移动口和滑块，所述支撑座的底部固定安装有电动推杆。该用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，改变两个测量尺之间的距离，让测量尺更加靠近样品，使得工作人员观测的更加清楚，提高了扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置的观测准确性。度的测量装置的观测准确性。度的测量装置的观测准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置


[0001]本技术涉及电子显微镜辅助装置
，具体为一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置。

技术介绍

[0002]电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，扫面电子显微镜的分辨率为1nm，也就是说扫面电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了200倍。
[0003]电子显微镜在对样品进行检测时候需要样品的高度满足仪器厂商的最大样品高度要求，现有技术中采用人眼观察的方式进行，但是传统的测量方法没有参照物，往往会出现较大的误差，使得样品所处的位置过高，将会与电子显微镜极靴发生碰撞，故而提出一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，具备提高测量准确性和方便使用等优点，解决了现有技术中电子显微镜样品测量装置结构简单，不具备参照物，肉眼测量容易出现误差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于观测扫描电子显微镜中样品垂直度的测量装置，包括支撑座(1)，其特征在于：所述支撑座(1)底部的左右两侧均固定安装有支撑柱(2)，所述支撑座(1)的顶部活动安装有放置台(3)，所述支撑座(1)的内部固定安装有滑轨(4)，所述滑轨(4)正面的左右两侧均滑动安装有测量组件(5)，所述支撑座(1)正面和背面均固定安装有安装板(6)；所述测量组件(5)包括电动推杆(501)、支撑管(502)、插杆(503)、限位孔(504)、插轴(505)、连接杆(506)、测量尺(507)、移动口(508)和滑块(509)，所述支撑座(1)的底部固定安装有电动推杆(501)，所述电动推杆(501)的输出轴固定安装有支撑管(502)，所述支撑管(502)的左右两端均插接有插杆(503)，所述插杆(503)的正面开设有等距离排列的限位孔(504)，所述支撑管(502)正面的左右两侧均插接有插轴(505)，两个插轴(505)之间固定安装有连接杆(506)，两个所述插杆(503)的顶部均固定安装有插接于支撑座(1)内部的测量尺(507)，所述测量尺(507)的正面开设有移动口(508)，所述移动口(508)的内部活动安装有滑块(509)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张大梁，韦旎妮，娄宏刚，
申请(专利权)人：重庆市展未微科技服务有限公司，
类型：新型
国别省市：