一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，涉及图案化石墨烯自动激光刻蚀技术领域，为解决现有图案化石墨烯激光刻蚀装置在刻蚀过程中送料与出料自动化效果一般，导致其刻蚀过程效率下降的问题。所述激光刻蚀台本体的上方安装有支撑架体，所述支撑架体的前端安装有激光刻蚀机构本体，所述激光刻蚀机构本体的下端安装有输送导轨，所述输送导轨的前端设置有落料口，所述落料口的下方设置有落料倾斜板，所述支撑架体的后端安装有位移传感器，所述激光刻蚀台本体的下方安装有储料层，所述储料层内壁的两侧均安装有出料导轨以及出料滑块，所述出料滑块的外壁安装有光电计数器，相邻所述出料滑块之间安装有接料箱。相邻所述出料滑块之间安装有接料箱。相邻所述出料滑块之间安装有接料箱。

【技术实现步骤摘要】
一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置


[0001]本技术涉及图案化石墨烯自动激光刻蚀
，具体为一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置。

技术介绍

[0002]石墨烯是一种以sp
²
杂化连接的碳原子紧密堆积成单层二维蜂窝状晶格结构的新材料。石墨烯具有优异的光学、电学、力学特性，在材料学、微纳加工、能源、生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景，在对石墨烯进行加工时，一般需要用到激光刻蚀装置，激光刻蚀装置就是采用高能脉冲激光束在物件表面刻蚀的设备。
[0003]但是，现有图案化石墨烯激光刻蚀装置在刻蚀过程中送料与出料自动化效果一般，导致其刻蚀过程效率下降的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有图案化石墨烯激光刻蚀装置在刻蚀过程中送料与出料自动化效果一般，导致其刻蚀过程效率下降的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，包括激光刻蚀台本体，所述激光刻蚀台本体的上方安装有支撑架体，所述支撑架体的前端安装有激光刻蚀机构本体，所述激光刻蚀机构本体的下端安装有输送导轨，所述输送导轨的前端设置有落料口，所述落料口的下方设置有落料倾斜板，所述支撑架体的后端安装有位移传感器，所述激光刻蚀台本体的下方安装有储料层，所述储料层内壁的两侧均安装有出料导轨以及出料滑块，所述出料滑块的外壁安装有光电计数器，相邻所述出料滑块之间安装有接料箱，所述位移传感器的输出端安装有PLC控制组，所述PLC控制组的输入端安装有速度传感器。
[0006]优选的，所述激光刻蚀机构本体的后端安装有移动导轨组件。
[0007]优选的，所述PLC控制组的输出端分别与移动导轨组件、输送导轨以及出料导轨控制器的输入端电性连接，所述PLC控制组的输入端分别与位移传感器、速度传感器的输出端电性连接。
[0008]优选的，所述激光刻蚀机构本体的输出端安装有可调谐激光器，所述支撑架体的上方安装有光谱分析仪，所述光谱分析仪的输入端与可调谐激光器的输出端电性连接，所述PLC控制组的两端与光电计数器、光谱分析仪双向连接。
[0009]优选的，所述接料箱前端面的外壁安装有显示屏，显示屏的输入端与光电计数器的输出端电性连接。
[0010]优选的，所述输送导轨的两侧均安装有从动导轨，所述从动导轨的上方设置有电动夹持件。
[0011]优选的，所述储料层前端面的外壁安装有出料箱盖，所述出料箱盖的两侧均安装有散热孔。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过利用PLC控制组对送料与出料进行控制，送料通过输送导轨进行送入，输送导轨的输送速度可通过速度传感器进行检测，使设备能够对送料速度进行精确控制，石墨烯材料以及放置件设置在输送导轨上，当其输送至位移传感器的位置处后，位移传感器检测到物件的到达信息，将信息反馈至PLC控制组处，PLC控制组接收信息后进行一系列的图案化激光刻蚀操作，之后输送导轨带动激光刻蚀完成后的石墨烯到达落料口处进行下料，下料过程利用落料倾斜板向下进行滑落，储料层内设有接料箱用于存放石墨烯材料，接料过程中可利用光电计数器对落料的数量进行计数，当数量到达一定值后，PLC控制组可控制出料导轨以及出料滑块向外移动出料，通过上述结构，能够显著提高石墨烯激光刻蚀过程中上料与下料的自动性，并且整个过程可达到智能化控制的效果，对输送刻蚀过程中的精度有着较高的掌控度，使得整个设备效率得到提高，更加适合用户进行使用。
[0014]2、移动导轨组件用于带动激光刻蚀机构本体进行左右移动，使其具备左右调节刻蚀位置的效果，电动夹持件用于夹持一些需要固定的石墨烯材料，提高了一些石墨烯材料刻蚀过程中的稳定性，从动导轨可跟随输送导轨的速度进行移动，使其能够达到后续的输送刻蚀效果，上述结构能够使得刻蚀过程中调节性得到提高，间接提高了刻蚀成品的质量。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的储料层局部结构示意图；
[0017]图3为本技术的原理图；
[0018]图中：1、激光刻蚀台本体；2、支撑架体；3、激光刻蚀机构本体；4、可调谐激光器；5、移动导轨组件；6、输送导轨；7、从动导轨；8、电动夹持件；9、落料口；10、落料倾斜板；11、出料箱盖；12、光谱分析仪；13、位移传感器；14、储料层；15、出料导轨；16、出料滑块；17、光电计数器；18、接料箱；19、显示屏；20、速度传感器；21、PLC控制组；22、散热孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，包括激光刻蚀台本体1，激光刻蚀台本体1的上方安装有支撑架体2，支撑架体2的前端安装有激光刻蚀机构本体3，激光刻蚀机构本体3的下端安装有输送导轨6，输送导轨6的前端设置有落料口9，落料口9的下方设置有落料倾斜板10，支撑架体2的后端安装有位移传感器13，激光刻蚀台本体1的下方安装有储料层14，储料层14内壁的两侧均安装有出料导轨15以及出料滑块16，出料滑块16的外壁安装有光电计数器17，相邻出料滑块16之间安装有接料箱18，位移传感器13的输出端安装有PLC控制组21，PLC控制组21的输入端安装有速度传感器20，速度传感器20的型号为LIS3DHTR，位移传感器13的型号为HPS
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LC010。
[0021]进一步，激光刻蚀机构本体3的后端安装有移动导轨组件5，移动导轨组件5用于带动激光刻蚀机构本体3进行左右移动，使其具备左右调节刻蚀位置的效果。
[0022]进一步，PLC控制组21的输出端分别与移动导轨组件5、输送导轨6以及出料导轨15控制器的输入端电性连接，PLC控制组21的输入端分别与位移传感器13、速度传感器20的输出端电性连接，上述电性连接结构能够提高整个数据反馈效果，为后续自动化控制效果打下基础。
[0023]进一步，激光刻蚀机构本体3的输出端安装有可调谐激光器4，支撑架体2的上方安装有光谱分析仪12，光谱分析仪12的输入端与可调谐激光器4的输出端电性连接，PLC控制组21的两端与光电计数器17、光谱分析仪12双向连接，可调谐激光器4用于改变激光的输出波长，光谱分析仪12用于起到在刻蚀过程中分析、检测的效果。
[0024]进一步，接料箱18前端面的外壁安装有显示屏19，显示屏19的输入端与光电计数器17的输出端电性连接，显示屏19可使得用户直观对下料数量进行掌控。
[0025]进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，包括激光刻蚀台本体（1），其特征在于：所述激光刻蚀台本体（1）的上方安装有支撑架体（2），所述支撑架体（2）的前端安装有激光刻蚀机构本体（3），所述激光刻蚀机构本体（3）的下端安装有输送导轨（6），所述输送导轨（6）的前端设置有落料口（9），所述落料口（9）的下方设置有落料倾斜板（10），所述支撑架体（2）的后端安装有位移传感器（13），所述激光刻蚀台本体（1）的下方安装有储料层（14），所述储料层（14）内壁的两侧均安装有出料导轨（15）以及出料滑块（16），所述出料滑块（16）的外壁安装有光电计数器（17），相邻所述出料滑块（16）之间安装有接料箱（18），所述位移传感器（13）的输出端安装有PLC控制组（21），所述PLC控制组（21）的输入端安装有速度传感器（20）。2.根据权利要求1所述的一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，其特征在于：所述激光刻蚀机构本体（3）的后端安装有移动导轨组件（5）。3.根据权利要求2所述的一种图案化石墨烯自动激光刻蚀装置，其特征在于：所述PLC控制组（21）的输出端分别与移动导轨组件（5）、输送导轨（6）以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶晓慧，严学井，
申请(专利权)人：江苏七维工控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：