本公开提出结合到确定对象体的三维形象的第一装置而确定对于基准面的所述对象体的上表面的角度的拆装式第二装置。根据本公开的第二装置可以包括：第一光源，所述第一光源依次照射具有一个相位范围的一个以上的第一图案光；光束分离器及一个以上的透镜，所述光束分离器及一个以上的透镜变更所述一个以上的第一图案光的光路，以使与所述相位范围的各相位对应的光分散到达所述上表面的一部分区域；通信接口，所述通信接口与第一装置进行通信；及第一处理器，所述第一处理器与所述第一光源及所述通信接口电气连接，所述第一处理器可以由所述第一装置获得对于所述一个以上的第一图案光由所述一部分区域反射而生成的一个以上的第一反射光的第一信息，基于所述第一信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于确定对象体的三维形象的装置及方法
[0001]本公开涉及用于确定对象体的三维形象的技术。
技术介绍
[0002]对于在基板上贴装元件(例：晶粒(die))的工序，可以执行关于是否适宜执行地工序的多样检查。例如，当元件未配置于基板上适宜位置时，工序后会在基板引起不良，因此，有必要掌握基板上元件的三维形象。在本公开中，元件可以意指在电路、半导体装置等全部电子装置中用作其构成要素的部件乃至芯片组。例如，元件可以意指线圈、电容器、阻抗体、晶体管、二极管、LED等。在本公开中，元件不限于上述示例。
[0003]在确定元件(即，对象体)的三维形象方面，特别是可以检查元件的上表面相对于基板(即，基准面)具有的角度。该角度可以使用于检查元件与基板之间是否有倾斜(tilt)。这是因为，当元件的下面以贴紧基板的方式配置或贴装，或者根据涂覆于基板的焊料或焊料球的涂覆状态，元件以相对于基板倾斜的状态配置或贴装时，会引起基板的不良。
[0004]在确定元件的三维形象方面，为了检查元件上表面的倾斜而可以使用向元件照射照明并使用其反射光成像的位置而检查倾斜的方法。但是，该方法会存在如下缺点，即，当元件为镜面时，即使元件仅以较小角度倾斜，反射角也较大地变化，因而为了检测反射光的成像位置而需要大量空间，检查装备的小型化变得困难。另外，为了检查元件上表面的倾斜，可以使用向元件照射结构光(Structured Light)而在元件上侧空中形成由结构光引起的衍射条纹并通过该衍射条纹的相位变化而检查倾斜的方法。但是，该方法由于衍射条纹在空中成像而存在发生大量噪声的缺点。
技术实现思路
[0005]技术问题
[0006]本公开提供用于确定对象体的三维形象的技术。
[0007]解决问题的方案
[0008]本公开的一个侧面可以提出用于确定对象体的三维形象的装置。根据本公开一个侧面的装置可以是结合到确定位于基准面上的对象体的第一三维形象的第一装置而确定对于上述基准面的所述对象体的上表面的角度的拆装式第二装置。第二装置可以包括：第一光源，所述第一光源依次照射具有一个相位范围的一个以上的第一图案光；光束分离器及一个以上的透镜，所述光束分离器及一个以上的透镜变更所述一个以上的第一图案光的光路，以使与所述相位范围的各相位对应的光分散到达所述上表面的一部分区域；通信接口，所述通信接口与所述第一装置进行通信；及第一处理器，所述第一处理器与所述第一光源及所述通信接口电气连接，所述第一处理器可以由所述第一装置获得对于一个以上的第一反射光的第一信息，所述一个以上的第一反射光是所述一个以上的第一图案光由所述一部分区域反射而生成的，基于所述第一信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。
[0009]在一个实施例中，所述第一信息包括指示所述一个以上的第一反射光各自的光量
值的信息，所述第一处理器可以由所述一个以上的第一反射光各自的光量值导出所述一个以上的第一反射光各自的相位值，基于所述相位值而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。
[0010]在一个实施例中，第二装置可以还包括：存储器，所述存储器存储指示对于所述基准面的所述上表面的角度及所述一个以上的第一反射光各自的相位值之间关系的关联信息，所述第一处理器可以基于所述相位值及所述关联信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。
[0011]在一个实施例中，所述第一处理器可以控制所述通信接口而将指示所述上表面的角度的第二信息传递给所述第一装置，所述第二信息可以用于所述第一装置补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象。
[0012]在一个实施例中，所述第一处理器可以控制所述通信接口而由所述第一装置获得指示所述对象体的所述第一三维形象的第三信息，基于所述上表面的角度补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象。
[0013]在一个实施例，所述第一光源可以还照射单色光，所述光束分离器及所述一个以上的透镜可以变更所述单色光的光路，以使所述单色光到达所述上表面。
[0014]在一个实施例中，所述第一处理器可以控制所述通信接口而由第一装置获得指示所述上表面的反射率的第四信息，当所述上表面的反射率为预先设定的基准反射率以上时，可以以依次照射所述一个以上的第一图案光的方式控制所述第一光源。
[0015]在一个实施例中，所述一个以上的第一图案光各自可以是由具有向第一方向或垂直于所述第一方向的第二方向的图案的图案光以预先设定的相位间隔的整数倍相移而生成的图案光。
[0016]在一个实施例中，所述第一装置可以包括：第二光源，所述第二光源向所述对象体照射一个以上的第二图案光；图像传感器，所述图像传感器捕获所述一个以上的第一反射光及所述一个以上的第二图案光由所述对象体反射而生成的一个以上的第二反射光；及第二处理器，所述第二处理器基于所述一个以上的第一反射光及所述一个以上的第二反射光而确定所述对象体的所述第一三维形象，并将指示所述第一三维形象的第三信息传递给所述第二装置。
[0017]本公开的一个方面可以提出用于确定对象体的三维形象的方法。根据本公开一个方面的方法是可以在结合到确定位于基准面上的对象体的第一三维形象的拆装式第二装置上执行的确定对于所述基准面的所述对象体的上表面的角度的方法。根据本公开的方法可以包括：第一光源依次照射具有一个相位范围的一个以上的第一图案光的步骤；光束分离器及一个以上的透镜变更所述一个以上的第一图案光的光路，以使与所述相位范围的各相位对应的光分散到达所述上表面的一部分区域的步骤；所述第一处理器由所述第一装置获得对于一个以上的第一反射光的第一信息的步骤，所述一个以上的第一反射光是所述一个以上的第一图案光由所述一部分区域反射而生成的；及所述第一处理器基于所述第一信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度的步骤。
[0018]在一个实施例中，所述第一信息可以包括指示所述一个以上的第一反射光各自的光量值的信息，确定所述上表面的角度的步骤可以包括：所述第一处理器由所述一个以上的第一反射光各自的光量值导出所述一个以上的第一反射光各自的相位值的步骤；及所述
第一处理器基于所述相位值而确定对于所述基准面的所述上表面的角度的步骤。
[0019]在一个实施例中，根据本公开的方法可以还包括：所述第一处理器将指示所述上表面的角度的第二信息传递给所述第一装置的步骤，所述第二信息可以用于所述第一装置补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象。
[0020]在一个实施例中，根据本公开的方法可以还包括：所述第一处理器由所述第一装置获得指示所述对象体的所述第一三维形象的第三信息的步骤：及所述第一处理器基于所述上表面的角度补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象的步骤。
[0021]专利技术的效果
[0022]根据本公开的多种实施例，利用来自对象体(例：元件)的反射光所具有的光量而有效测量对象体上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种第二装置，所述第二装置结合到确定位于基准面上的对象体的第一三维形象的第一装置而确定对于上述基准面的所述对象体的上表面的角度，包括：第一光源，所述第一光源依次照射具有一个相位范围的一个以上的第一图案光；光束分离器及一个以上的透镜，所述光束分离器及一个以上的透镜变更所述一个以上的第一图案光的光路，以使与所述相位范围的各相位对应的光分散到达所述上表面的一部分区域；通信接口，所述通信接口与所述第一装置进行通信；及第一处理器，所述第一处理器与所述第一光源及所述通信接口电气连接；所述第一处理器，由所述第一装置获得对于一个以上的第一反射光的第一信息，所述一个以上的第一反射光是所述一个以上的第一图案光由所述一部分区域反射而生成的，基于所述第一信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。2.根据权利要求1所述的第二装置，其中，所述第一信息包括指示所述一个以上的第一反射光各自的光量值的信息，所述第一处理器，由所述一个以上的第一反射光各自的光量值导出所述一个以上的第一反射光各自的相位值，基于所述相位值而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。3.根据权利要求2所述的第二装置，其中，还包括：存储器，所述存储器存储指示对于所述基准面的所述上表面的角度及所述一个以上的第一反射光各自的相位值之间关系的关联信息；所述第一处理器，基于所述相位值及所述关联信息而确定对于所述基准面的所述上表面的角度。4.根据权利要求1所述的第二装置，其中，所述第一处理器控制所述通信接口而将指示所述上表面的角度的第二信息传递给所述第一装置，所述第二信息用于所述第一装置补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象。5.根据权利要求1所述的第二装置，其中，所述第一处理器，控制所述通信接口而由所述第一装置获得指示所述对象体的所述第一三维形象的第三信息，基于所述上表面的角度补正所述第一三维形象表示的所述对象体的上表面而确定所述对象体的第二三维形象。6.根据权利要求1所述的第二装置，其中，所述第一光源还照射单色光，所述光束分离器及所述一个以上的透镜变更所述单色光的光路，以使所述单色光到达所述上表面。7.根据权利要求6所述的第二装置，其中，
所述第一处理器，控制所述通信接口而由第一装置获得指示所述上表面的反射率的第四信息，当所述上表面的反射率为预先设定的基准反射率以上时，以依次照射所述一个以上的第一图...
【专利技术属性】
技术研发人员：李撰权，全文营，洪德和，郑仲基，
申请(专利权)人：株式会社高迎科技，
类型：发明
国别省市：
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