【技术实现步骤摘要】
一种LED线路板加工用节水型显影装置
[0001]本技术涉及LED线路板加工
,具体为一种LED线路板加工用节水型显影装置。
技术介绍
[0002]显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解,将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。最常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润,然后显影。硅片用去离子水冲洗后甩干,非曝光区的光刻胶由于在曝光时并未发生化学反应,在显影时也就不会存在这样的酸碱中和,因此非曝光区的光刻胶被保留下来。经过曝光的正胶是逐渐溶解的,中和反应只在光刻胶的表面进行,因此正胶受显影液的影响相对比较小。对于负胶来说非曝光区的负胶在显影液中首先形成凝胶体,然后再分解,这就使得整个负胶层都被显影液浸透。在被显影液浸透之后,曝光区的负胶将会膨胀变形。显影后留下的光刻胶图形将在后续的刻蚀和离子注入工艺中作为掩模,因此,显影是一步重要的工艺。严格的说,在显影时曝光区和非曝光区的光刻胶都有不同程度的溶解。曝光区与非曝光区的光刻胶溶 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED线路板加工用节水型显影装置,包括用于放置线路板进行加工的显影箱(1)、底部安装的电机(2),以及上方连接安装的箱盖(3),其特征在于:所述显影箱(1)包括:底部安装的支撑脚(110);显影箱(1)内部安装的抽液泵(120);抽液泵(120)输出端连接安装的导管(130);导管(130)上安装的定位夹环(140);显影箱(1)内侧底部开设的排液口(150),以及底部安装的废液管(160)。2.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述支撑脚(110)对称安装有四个,且支撑脚(110)与显影箱(1)通过焊接连接构成固定结构,所述抽液泵(120)与显影箱(1)内部底面通过螺栓连接构成固定结构,且抽液泵(120)连接有导线及电源。3.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述定位夹环(140)与显影箱(1)内壁通过螺栓连接构成固定结构,所述导管(130)的两端与抽液泵(120)、进液口(330)连接,且导管(130)通过定位夹环(140)与显影箱(1)内壁连接构成固定结构。4.根据权利要求1所述的一种LED线路板加工用节水型显影装置,其特征在于:所述电机(2)包括:输出端连接安装的转轴(210...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖跃龙,
申请(专利权)人:江门市耀科电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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