一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置，液氨泵通过第一换热器连接液氨气化罐，液氨气化罐通过高效除油器连接于吸附器，吸附器连接脱轻精馏塔，脱轻精馏塔连接于脱重精馏塔，脱轻精馏塔的底部连接第二液氨泵，脱重精馏塔通过第二换热器连接充装装置，充装装置通过回料管连接于液氨气化罐，冷却水塔的下部连接液氨气化罐。本实用新型专利技术有益效果：本实用新型专利技术液氨经过换热器冷量回收后进入气化罐进行气化，然后进入高效除油器和吸附器吸附除油、除水和除高级烃类，再进入脱重精馏塔和脱轻精馏塔精馏，合格后经过换热器冷却后充入产品储罐得到合格的超纯氨，生产过程中生产的的尾气进入制氨水工段，氨水对外销售，提高装置的生产效益。高装置的生产效益。高装置的生产效益。

【技术实现步骤摘要】
一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置


[0001]本技术涉及工业氨纯化
,尤其是一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置。

技术介绍

[0002]超纯氨是指99.9999％(6N)或者以上的氨。超纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。同时，超纯氨也是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的成膜工艺中。
[0003]针对上述问题中国专利公开了一些技术方案如下：
[0004]1、一种用精馏分离提取7N电子级超纯氨的方法(公开号：CN102167355B)，用工业级液氨采用精馏分离方法，生产各级别的超纯氨。用本专利技术的方法，通过一级汽化精馏提纯可生产出含量大于99.9995％的高纯氨；通过二级精馏提纯可生产出含量大于99.99994％的超纯氨；通过三级深度精馏提纯可生产出含量大于99.99999％的7N电子级超纯氨。通过本方法可以里连续生产出7N电子级超纯氢，也可以分等级同时出产品。生产出的氨气可广泛应用于液晶显示(LCD)、有机电激光显示(OLED)和半导体发光器件(LED本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置，其特征在于：包括第一液氨泵(1)、液氨气化罐(2)、高效除油器(3)、吸附器(4)、脱轻精馏塔(5)、脱重精馏塔(6)、充装装置(7)、冷却水塔(8)和水池(9)，所述第一液氨泵(1)通过第一换热器(10)连接液氨气化罐(2)，所述液氨气化罐(2)通过高效除油器(3)连接于吸附器(4)，所述吸附器(4)连接脱轻精馏塔(5)，所述脱轻精馏塔(5)连接于脱重精馏塔(6)，所述脱轻精馏塔(5)的底部连接第二液氨泵(11)，所述脱重精馏塔(6)通过第二换热器(12)连接充装装置(7)，所述充装装置(7)通过回料管连接于液氨气化罐(2)，所述冷却水塔(8)的下部连接液氨气化罐(2)，所述冷却水塔(8)的下部连接水池(9)。2.如权利要求1所述的一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置，其特征在于：所述脱轻精馏塔(5)包括第一塔釜(501)、第一塔身(502)、第一冷凝器(503)和第一再沸器(504)，所述第一冷凝器(503)通过第一塔身(502)安装在第一塔釜(501)上，所述第一再沸器(504)安装在第一塔釜(501)内，所述第一塔身(502)内填充有不锈钢填料。3.如权利要求2所述的一种低...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小林，杜大艳，杜鹏举，刘隆益，方强，
申请(专利权)人：湖北和远气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：