样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块，上压块设有进气通道，下压块设有用于储存样气的样气腔，下压块与上压块连接，进气通道与样气腔连通，样气腔的体积大小可调；或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部，当上压块通过连接部与下压块连接时，进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时，将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通，标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。进行下一步的校准。进行下一步的校准。

【技术实现步骤摘要】
样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备


[0001]本专利技术涉及气密封元器件内部气氛分析
，特别是涉及一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。

技术介绍

[0002]封装微电子器件的常见方式之一是气密封装。气密封装结构的内部为空腔，充有高纯氮气或其它惰性气体，然而封装过程中可能会引入水蒸气、氧气或者有机材料挥发释放出的有机气体，这些气体会加速内部金属腐蚀、导致元器件绝缘性能等参数变差，是影响气密封装元器件质量的重要因素。在高可靠性要求的应用中往往需要对气密封器件的内部气氛组分及其含量做出明确要求。
[0003]在对气密封元器件内部气氛组分含量进行定量分析时，首先需要通过标准样气对内部气氛分析设备的灵敏度因子曲线进行校准。对于水蒸气，由于其灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对水蒸气灵敏度因子曲线进行校准。因此，在校准之前，需要准备不同体积的标准样气。
[0004]传统的用于内部气氛分析设备的校准器可采集的样气体积较小，只能用于对0.01cc以下的微小腔体元器件内部气氛检测进行校准，且用于储存样气的储气腔的体积受限于气密封结构，导致储气腔体积的可变化范围较小，然而现在大腔体气密封元器件在广泛应用，所需校准的样气体积远远超过0.01cc，所需校准的样气体积范围也较大。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要提供一种可产生不同体积样气的、用于校准气密封元器件内部气氛分析设备的样气采样装置。
[0006]本申请提供一种样气采样装置，包括：/>[0007]上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述下压块与所述上压块连接，所述下压块设有用于储存样气的样气腔，所述进气通道与所述样气腔连通，所述样气腔的体积大小可调；或
[0008]上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述上压块设有用于与所述下压块可拆卸连接的连接部，所述下压块设有样气腔，当所述上压块通过所述连接部与所述下压块连接时，所述进气通道与所述样气腔连通。
[0009]使用所述样气采样装置时，将所述下压块与所述上压块连接，使所述进气通道与所述样气腔连通，外部标准样气供气系统提供的标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，将样气采样装置移动至气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置上方，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。
[0010]由于水蒸气灵敏度因子与含量呈非线性关系，需要使用不同体积的标准样气对内部气氛分析设备的水蒸气灵敏度因子曲线进行校准，此时需要获取不同体积的标准样气，
所述样气采样装置通过调整样气腔的体积大小，从而使样气腔储存不同体积的标准样气，或者所述样气采样装置通过更换具有不同样气腔体积的下压块与上压块连接，从而储存不同体积的标准样气，如此，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置可以从所述样气采样装置中获取不同体积的标准样气来校准水蒸气灵敏度因子曲线。
[0011]在其中一个实施例中，所述下压块靠近所述上压块的一端设有密封沟，所述密封沟沿所述样气腔的周向设置，所述密封沟内安装有与密封沟相适配的第一密封件，当所述下压块与所述上压块连接时，所述第一密封件密封设置于所述下压块与所述上压块之间。
[0012]在其中一个实施例中，所述下压块远离所述上压块的一端开设有通孔，所述通孔用于连通所述样气腔与外界，所述样气采样装置还包括压板，所述压板盖设于所述通孔。
[0013]在其中一个实施例中，所述压板靠近所述下压块的一侧还设有第二密封件，所述第二密封件密封设置于所述下压块与所述压板之间。
[0014]在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括固定滑块和第一连接件，所述下压块远离所述上压块的一端设有凹槽，所述固定滑块与所述凹槽插接配合连接，所述固定滑块通过所述第一连接件连接于所述下压块，所述固定滑块用于将所述压板和所述第二密封件向所述下压块的方向压紧。
[0015]在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括活塞组件和安装板，所述安装板与所述上压块远离所述下压块的一端固定连接，所述活塞组件设于所述进气通道内，所述活塞组件包括活塞杆和弹性件，所述活塞杆的一端穿设于所述安装板，所述活塞杆的另一端的端部设有活塞杆压头，所述活塞杆还设有限位凸起，所述限位凸起设于所述安装板与所述活塞杆压头之间，所述弹性件套设于所述活塞杆，所述弹性件的一端与所述安装板相接，所述弹性件的另一端与所述限位凸起相接；所述活塞组件未受到外力时，所述弹性件呈压缩状态，压迫所述活塞杆压头封闭所述进气通道。
[0016]在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括把手，所述把手与所述活塞杆穿出所述安装板的一端连接，所述把手用于带动所述活塞杆沿所述进气通道的长度方向往复运动。
[0017]在其中一个实施例中，所述活塞杆压头是硅橡胶活塞杆压头。
[0018]在其中一个实施例中，所述样气采样装置还包括进气接头，所述进气接头的一端与所述进气通道连通，所述进气接头的另一端用于连接外部标准样气供气系统。
[0019]本申请还提供一种气密封元器件内部气氛分析设备，包括前述任一实施例中的样气采样装置。
附图说明
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术一个实施例所述的样气采样装置的正视图；
[0023]图2为本专利技术一个实施例所述的样气采样装置的俯视图；
[0024]图3为本专利技术一个实施例所述的样气采样装置的侧视图。
[0025]附图标记说明：
[0026]10、样气采样装置；20、第三连接件；100、上压块；110、进气通道；120、连接部；200、下压块；210、样气腔；220、密封沟；230、第一密封件；240、通孔；250、凹槽；300、压板；400、第二密封件；500、固定滑块；510、第一连接件；600、进气接头；700、活塞组件；710、活塞杆；711、活塞杆压头；712、限位凸起；713、第一安装孔；720、弹性件；800、安装板；900、把手；910、连接段；911、第二安装孔；912、第一接触面；913、第二接触面；920、第二连接件。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样气采样装置，其特征在于，包括：上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述下压块与所述上压块连接，所述下压块设有用于储存样气的样气腔，所述进气通道与所述样气腔连通，所述样气腔的体积大小可调；或上压块和下压块，所述上压块设有进气通道，所述上压块设有用于与所述下压块可拆卸连接的连接部，所述下压块设有样气腔，当所述上压块通过所述连接部与所述下压块连接时，所述进气通道与所述样气腔连通。2.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述下压块靠近所述上压块的一端设有密封沟，所述密封沟沿所述样气腔的周向设置，所述密封沟内安装有与密封沟相适配的第一密封件，当所述下压块与所述上压块连接时，所述第一密封件密封设置于所述下压块与所述上压块之间。3.根据权利要求1所述的样气采样装置，其特征在于，所述下压块远离所述上压块的一端开设有通孔，所述通孔用于连通所述样气腔与外界，所述样气采样装置还包括压板，所述压板盖设于所述通孔。4.根据权利要求3所述的样气采样装置，其特征在于，所述压板靠近所述下压块的一侧还设有第二密封件，所述第二密封件密封设置于所述下压块与所述压板之间。5.根据权利要求4所述的样气采样装置，其特征在于，所述样气采样装置还包括固定滑块和第一连接件，所述下压块远离所述上压块的一端设有凹槽，所述固定滑块与所述凹槽插接配合连接，所述固定滑块通过所述第一连接件...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵昊，彭泽亚，吴谋智，赵振博，周斌，赖灿雄，秦杰，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：