【技术实现步骤摘要】
一种应用于高纯气体的压力检测报警装置
[0001]本技术属于高纯特种气体压力报警
,涉及一种应用于高纯气体的压力检测报警装置。
技术介绍
[0002]高纯气体作为集成电路产业关键原材料,不仅在集成电路产业中占有重要的地位,其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯也都有着不可或缺的作用。随著科学技术的发展,对于高纯气体的生产和制造中质量和安全的管控要求也越来越高。高纯气体的生产主要通过气体管路进行传输,当管路压力过高,可能导致爆炸和泄露的隐患,同时当压力管路压力过低同样存在供气不足,生产不稳定的风险。因此,急需设计一种高纯气体的压力检测报警装置,对高纯气体的压力进行检测和报警,在生产过程中直观、及时地了解生产装置的运行情况,减少风险的发生。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题在于如何设计一种高纯气体的压力检测报警装置,对气源内的高纯气体的压力进行实时检测和报警。
[0004]本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的:
[0005]一种应用于高纯气体的压 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于高纯气体的压力检测报警装置,其特征在于,包括:气源(1)、调压阀(3)、压力传感器(4)、停止按钮(5)、报警装置(6)、供电单元(7);所述的气源(1)的出气端与调压阀(3)的一端密封连接,调压阀(3)的另一端作为供气端,所述的压力传感器(4)的压力探测端密封连接在气源(1)与调压阀(3)之间的管道上,压力传感器(4)的信号输出端与报警装置(6)连接,压力传感器(4)的信号输出端与报警装置(6)之间设置有停止按钮(5),压力传感器(4)的电源端与供电单元(7)连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于高纯气体的压力检测报警装置,其特征在于,所述的供电单元(7)包括:微型断路器(QF1)、电源按钮开关(SB1)、电流表(A1)、直流电源(B1);所述的报警装置(6)包括:警铃J1;微型断路器(QF1)的两个进线端分别与交流电源的火线和零线连接,微型断路器(QF1)的火线对应的出线端与电源按钮开关(SB1)的一端连接,电源按钮开关(SB1)的另一端与电流表(A1)的一端连接,电流表(A1)的另一端与直流电源(B1)的一个输入端连...
【专利技术属性】
技术研发人员:周静,鲁开城,陶伟,朱颜,
申请(专利权)人:全椒南大光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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