一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机制造技术

技术编号:32265674 阅读:40 留言:0更新日期:2022-02-12 19:28
本发明专利技术公开了蚀刻机技术领域的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,包括防护壳,所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构,所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构;本发明专利技术通过在每次对光伏晶片进行双面蚀刻时,利用放置机构将光伏晶片稳定的支撑,并在光伏晶片一面蚀刻完成后,配合转换机构,使放置机构进行转动,放置机构先进行闭合,将光伏晶片进行夹持稳定,避免在转动过程中光伏晶片滑出,且在转换过后,转换机构使放置机构中部打开,避免放置机构干扰蚀刻液蚀刻光伏晶片,保证蚀刻液对光伏晶片的蚀刻效果,快速对光伏晶片双面进行蚀刻。刻。刻。

【技术实现步骤摘要】
一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机


[0001]本专利技术涉及蚀刻机
,具体为一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机。

技术介绍

[0002]蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类,经过不断改良和工艺设备发展,可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片、晶片以及零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]现有技术在对光伏晶片进行湿蚀刻时,仅仅只能对光伏晶片的一面进行蚀刻,当需要对光伏晶片进行双面蚀刻时,需要先蚀刻一面再取出、放入蚀刻另一面,在此过程中,不仅降低的蚀刻的效率,且还会在一次蚀刻后,部分蚀刻液停留在光伏晶片的表面,在取出时,蚀刻液容易飞溅,降低蚀刻机的使用寿命,影响蚀刻的效果。
[0004]基于此,本专利技术设计了一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,以解决上述
技术介绍
中提出了现有技术在对光伏晶片进行湿蚀刻时,仅仅只能对光伏晶片的一面进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,包括防护壳(1),其特征在于:所述防护壳(1)内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构,所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构,所述放置机构在转换机构驱动的同时发生上下的移动并使放置机构顶部的打开,所述防护壳(1)顶部连接有用于对光伏晶片进行喷淋蚀刻液的喷淋机构,所述喷淋机构位于放置机构的正上方。2.根据权利要求1所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述放置机构包括两个第一转轴(2),两个所述第一转轴(2)分别转动连接在所述防护壳(1)左右两侧壁上,两个所述第一转轴(2)内端均固定连接有第一转板(3),两个所述第一转板(3)内侧均开设有两个第一滑槽(4),每个所述第一滑槽(4)内侧壁上均滑动连接有第一滑板(5),同水平两个所述第一滑板(5)之间共同固定连接有搁置网板(6),每个所述第一滑槽(4)内侧壁上均固定连接有强力弹簧(7),所述强力弹簧(7)外端固定连接在第一滑板(5)上。3.根据权利要求2所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述转换机构包括第一电机(8),所述第一电机(8)固定连接在防护壳(1)的外侧壁上,所述第一电机(8)的输出轴与第一转轴(2)固定连接,每个所述第一滑板(5)外端均固定连接有导向滑杆(9),所述防护壳(1)左右内侧壁上均通过两个第一连杆(10)固定连接有引导轨(11),所述导向滑杆(9)位于引导轨(11)的内侧,所述引导轨(11)用于使两个搁置网板(6)在转换位置的过程中闭合,两个所述搁置网板(6)中部均开设有第一通槽(12),两个所述第一通槽(12)内侧均转动连接有第一转杆(13),每个所述第一转杆(13)外表面上均固定连接有转动网板(14),所述第一转板(3)外侧壁上连接在转换两个搁置网板(6)过程中使转动网板(14)打开的转动机构。4.根据权利要求3所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述转动机构包...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾建军
申请(专利权)人:泰州君之华新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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