一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法技术

本发明专利技术公开了一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，涉及光伏太阳能电池技术领域，包括首先在太阳能电池片背面形成氧化铝层，其次在管式PECVD设备通入混合气体，最后在氧化铝层上增加一层氮化硅膜。本发明专利技术通过调整氧化铝层放电时放电参数，可有效的去降低成膜时出现爆膜的概率，从而降低对太阳能电池PERC缺陷，且能提升太阳能的转换效率，同时，本发明专利技术中的钝化结构各膜层紧密、均匀，有效的保证了PERC太阳能电池的良率和可靠性，当AI2O3电离后H离子形成H2溢出破坏背面膜层结构形成气泡，导致局部发黑，而通过降低H离子的溢出，可以有效防止背面3D下出现类似的小白点形成的EL块状发黑，极大程度上降低了EL块状发黑的比例，提升整体良率。提升整体良率。提升整体良率。

【技术实现步骤摘要】
一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法


[0001]本专利技术涉及光伏太阳能电池
，具体涉及一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法。

技术介绍

[0002]PERC电池是电池的一种结构，PERC电池与常规电池最大的区别在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射，PERC电池的实验室制备，采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，随着PERC产能的提升，越来越多的光伏企业募投高效太阳能电池项目，设备选型成为各家企业的首要条件，并且PERC电池具有工艺简单，成本较低，且与现有电池生产线兼容性高的优点，有望成为未来高效太阳能电池的主流方向，为了提高晶硅太阳能电池的效率，必须对电池表面进行良好的钝化，降低表面缺陷复合从而提高电池的开路电压。针对现有技术存在以下问题：
[0003]现有的钝化技术多集中在太阳能电池的背面钝化，目前常见背钝化技术采用氧化铝层和氮化硅层进行叠层钝化，其中氧化铝一般采用PECVD的制备，然而背钝化二合一存在的EL块状发黑问题，对电池片良率损失较大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，其特征在于：该改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，包括以下步骤：步骤一：首先在太阳能电池片背面形成氧化铝层；步骤二：其次在管式PECVD设备通入混合气体；步骤三：最后在氧化铝层上增加一层氮化硅膜。2.根据权利要求1所述的一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，其特征在于：所述步骤二中混合气体采用了含氧混合气体。3.根据权利要求1所述的一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，其特征在于：所述步骤一中氧化铝的时间为80
‑
160s，优选为130s。4.根据权利要求1所述的一种改善PERC电池SC二合一EL中间块状发黑的方法，其特征在于：所述步骤二中反应腔的温度控制在300
‑
360℃，优选为320℃。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭春林，贺龙兵，邓鹏，张志坤，
申请(专利权)人：天合光能宿迁光电有限公司，
类型：发明
国别省市：