一种汞CV磁吸式测试夹具制造技术

本实用新型专利技术公开一种汞CV磁吸式测试夹具。包括夹具载台和夹具主体,夹具载台上设有放置凹槽，夹具主体放入在放置凹槽内、并通过磁吸结构吸附固定。本实用新型专利技术采用了磁吸的方式来固定夹具，免去螺丝拆装等反复步骤，夹具吸附固定后通过外力作用能够将夹具取出更换，方便快捷。本实用新型专利技术加快了夹具的更换时间、提高了检测效率、避免了螺丝拆装的时间耗损。避免了螺丝拆装的时间耗损。避免了螺丝拆装的时间耗损。

【技术实现步骤摘要】
一种汞CV磁吸式测试夹具


[0001]本技术涉及半导体晶片检测载流子浓度时使用的检测设备，特别涉及一种汞CV磁吸式测试夹具。

技术介绍

[0002]现有的汞CV检测设备在检测过程中，晶片尺寸不同，所需要的测试夹具也不同。目前夹具的固定及更换是通过螺丝琐接。不同的夹具频繁更换，一方面导致螺丝出现滑丝现象，导致取出更换困难；另一方面耗费了较长的工作时间、影响工作进度、降低了工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有技术的上述缺陷，提供一种汞CV磁吸式测试夹具。
[0004]为解决现有技术的上述缺陷，本技术提供的技术方案是：一种汞CV磁吸式测试夹具，包括夹具载台和夹具主体,所述夹具载台上设有放置凹槽，所述夹具主体放入在所述放置凹槽内、并通过磁吸结构吸附固定。
[0005]作为本技术汞CV磁吸式测试夹具的一种改进，所述磁吸结构包括多个设置在所述放置凹槽边缘的第一吸附件和多个设置在所述夹具主体边缘的第二吸附件，所述第二吸附件与所述第一吸附件的位置一一对应。
[0006]作为本技术汞CV磁吸式测试夹具的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种汞CV磁吸式测试夹具，包括夹具载台和夹具主体, 其特征在于，所述夹具载台上设有放置凹槽，所述夹具主体放入在所述放置凹槽内、并通过磁吸结构吸附固定；所述磁吸结构包括多个设置在所述放置凹槽边缘的第一吸附件和多个设置在所述夹具主体边缘的第二吸附件，所述第二吸附件与所述第一吸附件的位置一一对应。2.根据权利要求1所述的汞CV磁吸式测试夹具，其特征在于，所述放置凹槽的边缘间隔设有多个第一安装槽，所述第一吸附件容纳在...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭铁坤，张会娟，
申请(专利权)人：东莞市天域半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：