【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片加工有蜡抛光用的一种新型的液态蜡粘接剂。硅片抛光工艺中需要使用一种粘接硅片的粘接剂。它将若干片硅片平整地粘在一个园形饼状合金抛光载体上，然后把粘有硅片的抛光载体放入抛光机中对硅片进行抛光。抛光温度在50℃左右，压力为12kg/cm2。要求粘在抛光载体上的硅片不得松动。抛光完后，将粘有硅片的抛光载体取出，再将硅片从抛光载体上取下。以往硅片抛光工艺中使用的粘接剂多为固态蜡。它的缺点较多，主要缺点是整个操作过程全部手工来实现，速度慢，效率低，抛光质量不容易保证。不适应大规模生产线上使用。近年来我国硅片抛光采用国外进口的液态蜡作为粘接剂。将液态蜡撒在抛光载体上，硅片粘好后，放入抛光机抛光，抛完后将抛光载体放入冰箱冷却，温度降到-5℃后，硅片很容易取下，再用三氯乙烯蒸汽很容易将硅片上的液态腊洗净。因此液态蜡粘接剂适合于大规模硅片抛光生产线上使用。但是进口的液态蜡价格昂贵，手续繁多，不易保证生产。本专利技术提供的这种液态蜡粘接剂，其目的在于解决硅片抛光大规模生产中硅片粘接问题，代替进口液态蜡粘接剂，节约外汇。本专利技术的配制方法如下将三氯乙烯和松香按1(ml)∶1(g)的比例放入溶器中，将溶器密闭起来，避免三氯乙烯挥发跑掉。将溶器静放在室温为23°～25℃的房间里，让松香溶化。当松香完全溶化于三氯乙烯后，再将增塑剂磷苯二甲酸二丁酯和磷苯二甲酸二辛酯按照和松香1～3%的比例加入三氯乙烯松香溶液，一边加一边搅拌。加完增塑剂后，将加有增塑剂的三氯乙烯松香溶液静放在室温为23°～25℃的房间里。过3～4小时后，三氯乙烯松香溶液变成半透明的棕色液体即可用作硅片抛...
【技术保护点】
一种由溶剂和溶质配制的液态蜡粘接剂，其特征在于溶剂是三氯乙烯，溶质是松香，并加有增塑剂，磷苯二甲酸二丁酯和磷苯二甲酸二辛酯。
【技术特征摘要】
1.一种由溶剂和溶质配制的液态蜡粘接剂，其特征在于溶剂是三氯乙烯，溶质是松香，並加有增塑剂，磷苯二甲酸二丁酯和磷苯二甲酸二辛酯。2.根据权利要...
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