一种气相前驱输送管路系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体，罐体上安装有盖体，盖体上固定嵌入有第一管道，盖体上固定有泵体，泵体的进液口与第一管道连通，泵体的出液口位置固定连通有第二管道，第二管道上固定嵌入有三通阀，三个第二管道上共同连通有混料通道，混料通道上固定嵌入有第三管道，第三管道上固定嵌入有逆止阀，第三管道的端部固定有过渡接口，过渡接口内固定嵌入有限流孔弹片，能够起到一个液体输送缓冲的效果。本实用新型专利技术通过三通阀可实现罐体的物料输送混料或单独罐体的物料输送，本实用新型专利技术通过混料通道能够将任意两种或所有罐体的化学药液进行混合输送，方便配料。方便配料。方便配料。

【技术实现步骤摘要】
一种气相前驱输送管路系统


[0001]本技术涉及输送管路
，具体为一种气相前驱输送管路系统。

技术介绍

[0002]储罐区与生产装置之间，除了物料输送管道外，还应设置气相平衡管道，尤其是对于易挥发和有气味的物料。
[0003]其最大的优点是保证输送物料的密闭性，减少了物料气相部分的无组织排放，对于相同物料，储罐区和生产装置可以形成气相平衡管网。
[0004]目前，半导体生产时，储液罐的化学药液输送多数采用泵体直接抽送，常规的混料区仅具有管道引出结构，无法实现气相平衡，导致整个管路输送系统存在气相平衡缺陷。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种气相前驱输送管路系统，以解决混料区的气相平衡问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体，所述罐体上安装有盖体，所述盖体上固定嵌入有第一管道，所述盖体上固定有泵体，所述泵体的进液口与第一管道连通，所述泵体的出液口位置固定连通有第二管道，所述第二管道上固定嵌入有三通阀，三个第二管道上共同连通有混本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气相前驱输送管路系统，包括三个独立的罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)上安装有盖体(11)，所述盖体(11)上固定嵌入有第一管道(12)，所述盖体(11)上固定有泵体(110)，所述泵体(110)的进液口与第一管道(12)连通，所述泵体(110)的出液口位置固定连通有第二管道(14)，所述第二管道(14)上固定嵌入有三通阀(13)，三个第二管道(14)上共同连通有混料通道(15)，所述混料通道(15)上固定嵌入有第三管道(19)，所述第三管道(19)上固定嵌入有逆止阀(16)，所述第三管道(19)的端部固定有过渡接口(18)，所述过渡接口(18)内固定嵌入有限流孔弹片(17)。2.根据权利要求1所述的一种气相前驱输送管路系统，其特征在于：所述盖体(11)上固定嵌入有第四管道(2)，第四管道(2)的端部固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴志超，沈琦，叶国梁，
申请(专利权)人：江苏雅克福瑞半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：