基于折叠波导的傅里叶光谱仪制造技术

本公开提供了一种基于折叠波导的傅里叶光谱仪，该基于折叠波导的傅里叶光谱仪包括：电光调制器，其上形成有单个电光调制的马赫曾德尔干涉仪，马赫曾德尔干涉仪包括折叠波导、第一推挽调制电极和第二推挽调制电极；其中，第一推挽调制电极和第二推挽调制电极分别设置于折叠波导的两侧，在第一推挽调制电极和第二推挽调制电极之间的电压的控制下，折叠波导的折射率能够发生改变。的折射率能够发生改变。的折射率能够发生改变。

【技术实现步骤摘要】
基于折叠波导的傅里叶光谱仪


[0001]本公开涉及光波导电光调制技术及其工艺加工技术、傅里叶光谱技术，尤其涉及一种基于折叠波导的傅里叶光谱仪。

技术介绍

[0002]傅里叶变换光谱学技术以其高光通量、多通道和高信噪比的优点在弱光测量方面一直占有很大的优势。从技术层面分析光谱获取技术,主要有两大类，即机械扫描型和静态扫描型,两种方法各有利弊,利用机械扫描形成光程差的干涉方法是最普遍的干涉技术,属于时间型调制,最典型的是迈克尔逊干涉系统,其优点是光程差可调范围大、扫描路程长,但其缺点是抗震性差、稳定性低。静态干涉系统是通过其干涉仪结构形成光程差的,没有机械部件,所以稳定性好,抗干扰能力强,但由于干涉仪的体积直接决定了干涉系统的光谱分辨率,因此一般的静态干涉光谱仪的光谱分辨率都比较低,不能获得较好的光谱分辨率。
[0003]所以研发同时具有高光谱分辨率和小型的静态傅里叶光谱仪是该领域的主要发展趋势之一。小型静态傅里叶光谱仪想实现高分辨率的关键是形成大的光程差，影响光程差的因素有两个，一个是物理路径差，另一个折射率差。对于静态的傅里叶光谱仪来说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于折叠波导的傅里叶光谱仪，其特征在于，包括：电光调制器，其上形成有单个电光调制的马赫曾德尔干涉仪，所述马赫曾德尔干涉仪包括折叠波导、第一推挽调制电极和第二推挽调制电极；其中，所述第一推挽调制电极和所述第二推挽调制电极分别设置于所述折叠波导的两侧，在所述第一推挽调制电极和所述第二推挽调制电极之间的电压的控制下，所述折叠波导的折射率能够发生改变。2.根据权利要求1所述的基于折叠波导的傅里叶光谱仪，其中，所述折叠波导包括：Y分支波导、上波导、下波导以及Y汇合波导；所述上波导和所述下波导均包括依次连接的直波导和弯曲波导，且所述上波导和所述下波导上下对称；所述Y分支波导在分支处分别与所述上波导和所述下波导的一端相连；所述Y汇合波导的远离Y汇合处的两端分别与所述上波导和所述下波导的另一端相连。3.根据权利要求2所述的基于折叠波导的傅里叶光谱仪，其中，所述弯曲波导包括180
°
的圆弧部分，任意两相邻的所述直波导的间距由所述弯曲波导的半径决定。4.根据权利要求3所述的基于折叠波导的傅里叶光谱仪，其中，所述弯曲波导的半径为50μm，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张丽超，薛宁，祁志美，陈嘉民，马尉超，李王哲，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：