干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种干涉仪装置（10），其包括干涉仪单元（1），所述干涉仪单元带有基础衬底（2）、法布里

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法


[0001]本专利技术涉及一种干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法。

技术介绍

[0002]具有法布里
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珀罗
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干涉仪（FPI）的小型化的光谱仪能够被制造为紧凑的构件并且包括带有光学的窗口的壳体，其中，滤波器通常能够利用胶粘剂固定在内侧上。在壳体的内部中能够存在低压或者甚至真空并且形成所规定的大气压，从而在运行中尽可能地不出现气体阻尼并且能够快速地改变在FPI中的镜间距（在有待透射的或者有待滤波的光的波长的范围内的调谐），以便得到短的测量时间。然而，在低压的情况下会触发到粘接连接部上的拉力并且会由此减小光谱仪的稳健性。
[0003]在WO 17057372中，提出了一种用于带有法布里
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珀罗
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干涉仪的小型化的光谱仪的探测器结构，其中，壳体包括光学的窗口（light transmission unit，光透射单元）并且其能够设有带通滤波器涂层并且所述窗口能够在金属盖的内侧上借助于胶粘剂来固定。
专利
技术实现思路

[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.干涉仪装置（10），其包括
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干涉仪单元（1），所述干涉仪单元带有：包括电的导体接头（La）的基础衬底（2）；法布里
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单元（FPI），所述法布里
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单元布置在所述基础衬底（2）上并且在所述基础衬底（2）的范围内构成第一空穴（K1）并且与所述电的导体接头（La）相连接；以及探测器装置（3），所述探测器装置布置在所述基础衬底（2）上并且在所述第一空穴（K1）中布置在所述基础衬底（2）与所述干涉仪单元（1）之间并且与所述电的导体接头（La）相连接；
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包括底板（BP）和盖结构（4）的壳体（G），其中，所述盖结构（4）布置在所述底板（BP）上并且在盖结构（4）与底板（BP）之间包围成第二空穴（K2），其中，所述底板（BP）或者所述盖结构（4）包括被侧壁（5a）环绕的开口（5），所述侧壁相对于所述底板（BP）的或者所述盖结构（4）的表面垂直地延伸；并且其中，所述干涉仪单元（1）在所述第二空穴（K2）中且沿穿过所述开口（5）的光入射方向（L）来布置，从而所述干涉仪单元（1）以所述法布里
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单元（FPI）来面向所述开口（5）。2.根据权利要求1所述的干涉仪装置（10），所述干涉仪装置包括至少一个滤波装置（6），所述滤波装置在所述壳体之内或者之外横跨所述开口（5）。3.根据权利要求1或者2所述的干涉仪装置（10），其中所述滤波装置（6）包括用于入射的射线的光谱滤波器（6a）和/或角度选择的元件（6b）。4.根据权利要求1至3中任一项所述的干涉仪装置（10），其中所述开口（5）在由光入射方向（L）的俯视图中包括圆形的或者环形的横截面。5.根据权利要求4所述的干涉仪装置（10），其中所述开口（5）利用所述侧壁（5a）来构成柱体，所述柱体从所述底板（BP）或者从所述盖结构（4）垂直地远离地延伸。6.根据权利要求1至4中任一项所述的干涉仪装置（10），其中所述基础衬底（2）被置放到接触销（ST）上，所述接触销紧固在所述底板（BP）或者所述盖结构（4）中。7.根据权利要求6所述的干涉仪装置（10），其中所述接触销（ST）中的至少一个接触销是能导电的或者包括导体电路。8.根据权利要求1至7中任一项所述的干涉仪装置（10），其中所述干涉仪单元（1）包括布置在所述基础衬底（2）上的分析单元（7），其中，所述探测器装置（3）和所述法布里
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单元（FPI）布置在所述分析单元（7）上。9.根据权利要求1至8中任一项所述的干涉仪装置（10），其中所述探测器装置（3）和所述法布里

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：罗伯特，
类型：发明
国别省市：