【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及加速度的测量和振动的检测等使用的加速度传感器及其制造方法。更详细地说，就是涉及小型、高性能的加速度传感器及其制造方法。另外，本专利技术还涉及利用了这样的加速度传感器且其输出信号的偏差小的冲击检测装置。近年来，随着电子仪器不断向小型化方向发展，笔记本式电脑等便携式电子仪器得到了普及。为了确保提高这些电子仪器对冲击的可靠性，提高了对小型的可以在表面上实际装配的高性能加速度传感器的要求。例如，如果在向高密度的硬盘的写入动作中施加了冲击，磁头的位置就会发生偏离，从而有可能引起数据的写入错误和损坏磁头。因此，需要检测加到硬盘上的冲击、使写入动作停止以及使磁头退避到安全的位置的技术。另外，为了从汽车发生撞车时受到的冲击中保护乘客，也提高了对气袋装置的冲击检测用加速度传感器等的要求。此外，还提高了对检测施加到便携式小型机器上的冲击、在装置内设置避免冲击引起的机器的故障及误动作的机构和记录施加了冲击的事实的机构及装置的要求。因此，也提高了对这些装置使用的小型加速度传感器的要求。众所周知，以往，作为加速度传感器，是使用压电陶瓷等压电材料。如果使用这些加速度传感器...
【技术保护点】
一种加速度传感器，其特征在于：包括具有相对的２个主面的至少２个压电基板的上述主面之间直接接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的２个主面上形成的电极构成的机－电变换元件和支持上述机－电变换元件的支持体。
【技术特征摘要】
JP 1996-7-31 201616/96;JP 1995-10-9 261240/951.一种加速度传感器，其特征在于包括具有相对的2个主面的至少2个压电基板的上述主面之间直接接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件和支持上述机-电变换元件的支持体。2.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于2个压电基板的主面之间是通过使上述2个压电基板的构成原子通过从由氧和羟基构成的群中选择的至少一种相互结合而进行接合的。3.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于2个压电基板以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合。4.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于2个压电基板通过缓冲层直接接合。5.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于机-电变换元件的一端支持在支持体上。6.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于机-电变换元件的两端支持在支持体上。7.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于压电基板由晶体结构3m族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与Y轴的夹角为+129°～+152°的轴并且包含X轴，联接上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于X轴。8.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于压电基板由晶体结构3m族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与Y轴的夹角为-26°～+26°的轴并且包含X轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于X轴。9.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于X轴，联结上述压电基板的重心和支持部中心的连线与Z轴的夹角为+52°～+86°的角度。10.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与X轴的夹角为-26°～+26°的轴并且包含Y轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线平行于Y轴。11.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与X轴的夹角为+52°～+68°的轴并且包含Z轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于Z轴。12.一种加速度传感器，其特征在于包括具有相对的2个主面的至少2个压电基板的上述主面之间接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件和支持上述机-电变换元件的支持体，上述机-电变换元件与上述支持体直接接合。13.按权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于构成机-电变换元件的压电基板和支持体是通过使上述压电基板的构成原子和上述支持体的构成原子通过从由氧和羟基构成的群中选择的至少一种相互结合而接合的。14.按权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于构成机-电变换元件的压电基板和支持体通过缓冲层直接接合。15.按权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于压电基板和支持体由同一种材料构成。16.按权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于机-电变换元件的一端支持在支持体上。17.按权利要求12所述的加速度传感器，其特征在于机-电变换元件的两端支持在支持体上。18.一种加速度传感器，其特征在于包括具有相对的2个主面的至少2个压电基板的上述主面之间接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件、支持上述机-电变换元件的支持体和收容上述机-电变换元件的容器，上述支持体与上述容器直接接合。19.按权利要求18所述的加速度传感器，其特征在于容器和支持体是通过使上述容器的构成原子和上述支持体的构成原子通过从由氧和羟基构成的群中选择的至少一种相互结合而接合的。20.按权利要求18所述的加速度传感器，其特征在于容器和支持体通过缓冲层直接接合。21.按权利要求18所述的加速度传感器，其特征在于容器和支持体由同一种材料构成。22.一种加速度传感器，其特征在于包括具有相对的2个主面的至少2个压电基板的上述主面之间接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件和收容上述机-电变换元件的容器，通过将构成上述压电元件的上述压电基板与上述容器直接接合，支持上述机-电变换元件。23.按权利要求22所述的加速度传感器，其特征在于压电基板和容器是通过使上述压电基板的构成原子和上述容器的构成原子通过从由氧和羟基构成的群中选择的至少一种相互结合而接合的。24.按权利要求22所述的加速度传感器，其特征在于压电基板和容器通过缓冲层直接接合。25.按权利要求22所述的加速度传感器，其特征在于压电基板和容器由同一种材料构成。26.一种加速度传感器，其特征在于包括具有相对的2...
【专利技术属性】
技术研发人员：大土哲郎，杉本雅人，小掠哲义，富田佳宏，川崎修，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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