一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，涉及夹具器械技术领域，解决了现有技术中存在的缺少配合卧式干涉仪检测光学零件的固定装置的技术问题。该大尺寸超薄光学零件面形检测夹具包括直立设置的夹具架，夹具架上具有用于放置超薄光学零件的容纳空间，夹具架的内壁围绕容纳空间设置有用于容纳超薄光学零件边缘的卡槽。本实用新型专利技术用于夹持大尺寸超薄光学零件进行面形检测，容纳空间可以放置超薄光学零件，卡槽容纳超薄光学零件边缘的方式，能有效的避免夹持等外力较大的方式严重影响超薄光学零件的面形。严重影响超薄光学零件的面形。严重影响超薄光学零件的面形。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具


[0001]本技术涉及夹具器械
，尤其是涉及一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具。

技术介绍

[0002]面形误差检测是光学零件最核心的指标之一，也是所有光学系统中对最终使用性能产生影响最明显的指标之一。随着应用场景的不断深入，使得当下光学零件的面形指标要求越来越高，航天、军工等高端领域中甚至要求零件表面面形超过1/30波长(PV值)，即零件表面最高点和最低点的差异仅为21nm左右。在这样的背景下，零件面形准确检测尤为关键。
[0003]超薄零件由于长宽尺寸和厚度尺寸的比值大，加工和检测的难度都非常大。尤其是在检测过程中，微小的夹紧力都会使零件产生严重的微观变形，导致最终的检测结果严重失真，因此如何能够在保证安全的前提下，尽可能减少外部受力对超薄零件产生影响，这是超薄光学零件加工、检测过程中非常重要的一个内容。
[0004]当下检测超薄零件最主要的方法是采用立式干涉仪进行检测，即将零件平放在载物台上，从而零件只会受到自身重力的影响。但是由于立式干涉仪口径有限(目前常见的最大的平面立式干涉仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，包括直立设置的夹具架(1)，所述夹具架(1)上具有用于放置超薄光学零件(2)的容纳空间(3)，所述夹具架(1)的内壁围绕所述容纳空间(3)设置有用于容纳所述超薄光学零件(2)边缘的卡槽(4)。2.根据权利要求1所述的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，还包括调整架(5)，所述夹具架(1)设置在所述调整架(5)上，所述调整架(5)用于调节所述夹具架(1)的倾斜状态。3.根据权利要求1或2所述的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，所述夹具架(1)为半框体结构。4.根据权利要求3所述的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，所述半框体结构为半方形框体，所述半方形框体包括底边(6)以及与所述底边(6)的两端分别垂直连接的第一侧边(7)和第二侧边(8)，所述卡槽(4)自所述第一侧边(7)的顶端经由所述底边(6)延伸至所述第二侧边(8)的顶端。5.根据权利要求3所述的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，所述半框体结构为半圆形框体，所述卡槽(4)自所述半圆形框体的一端部延伸至所述半圆形框体的另一端部。6.根据权利要求2所述的大尺寸超薄光学零件面形检测夹具，其特征在于，所述调整...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云龙，
申请(专利权)人：北京创思工贸有限公司，
类型：新型
国别省市：