OPC验证专家系统和诊断方法技术方案

本发明专利技术公开了一种OPC验证专家系统包括：临时数据初始化模块，用于收集产品OPC验证时形成的临时数据并按照OPC的索引信息形成字典。数据库，用于存储多个已知诊断结果的OPC验证的数据。数据交换模块，用于在数据库中检索和临时数据相匹配的图形结构。诊断模块，根据相似因子选择在数据库中选择图形结构的诊断结果作为临时数据的诊断结果，或者将临时数据的信息扩充到数据库中并生成验证报告。本发明专利技术还公开了一种OPC验证的诊断方法。本发明专利技术能实现OPC验证的高质量的自动诊断，能使诊断简单化并能提高诊断速率。化并能提高诊断速率。化并能提高诊断速率。

【技术实现步骤摘要】
OPC验证专家系统和诊断方法


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种光学临近效应修正(Optical Proximity Correction,OPC)验证(verify)专家系统。本专利技术还涉及一种OPC验证的诊断方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造的掩模板出版过程中，一般需要采用到OPC技术对掩模板图形进行修正，使用OPC修正后的掩模板进行成像后能使形成于半导体衬底上的目标图形达到目标要求，能消除目标图形中的由于光学临近效应造成的失真或变形。
[0003]在OPC的日常工作中，很重要的一部分工作即是OPC verify，保证其符合要求；而且在制造厂(FAB)，每天陆续都有新的产品出带(tapout)，不仅需要保证其OPC正确无误，还要将产品信息手动记录在案，如产品工艺名称、工艺整合(PIE)、OPC、错误信息(error info)等等，这些信息在每次OPC verify之后，都由相关人员手动记录在指定文本文件里，过程复杂繁琐，耗时耗力，且容易由于各种原因忘记记录或者出错，导致后续人员在查询记录时，得不到想要的信息或者得到错误信息，不仅影响工作效率，甚至有可能导致错误。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种OPC验证专家系统，能实现OPC验证的高质量的自动诊断，能使诊断简单化并能提高诊断速率。为此，本专利技术还提供一种OPC验证的诊断方法。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的OPC验证专家系统包括：
>[0006]临时数据初始化模块，用于收集产品OPC验证时形成的临时数据并按照OPC的索引信息形成所述临时数据的字典。
[0007]数据库，用于存储多个已知诊断结果的OPC验证的数据。
[0008]数据交换模块，用于在数据库中检索和所述临时数据相匹配的图形结构。
[0009]诊断模块，当在所述数据库中检索到和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，直接以在所述数据库中检索到的图形结构所对应的诊断结果作为所述临时数据的图形结构的诊断结果；当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证正确，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库中；当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证有问题，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库并同时生成验证报告，所述验证报告反馈有问题的图形结构和图形结构对应的详细风险信息。
[0010]进一步的改进是，还包括：
[0011]OPC索引生成模块，用于在OPC过程中生成所述OPC的索引。
[0012]进一步的改进是，所述OPC的索引包括：制造厂、产品和工艺层次。
[0013]进一步的改进是，在进行OPC验证的过程中所述临时数据初始化模块在后台自动运行并收集形成所述临时数据。
[0014]进一步的改进是，所述临时数据初始化模块收集形成所述临时数据的步骤包括：
[0015]生成一组数组，所述数组中包括所述产品的索引的各层的关键字；
[0016]按照所述索引的关键字将所收集的所述临时数据赋值到对应的所述数组中形成所述字典。
[0017]进一步的改进是，所述数据库包括OPCV数据库和OPCV知识库，所述OPCV数据库中存储有OPCV数据，所述OPCV知识库中存储有知识数据；
[0018]所述OPCV数据包括索引数据，所述知识数据包括图形结构数据和所述图形结构数据对应的错误信息数据。
[0019]进一步的改进是，所述临时数据包括OPCV数据和知识数据。
[0020]进一步的改进是，还包括人机交互界面；
[0021]在进行OPC验证的诊断之前，所述字典的信息会显示在所述人机交互界面上。
[0022]进一步的改进是，在所述OPC验证完成后所述数据交换模块会触发诊断请求信号，所述数据库在接收到所述诊断请求信号时进行检索以找出和所述临时数据相匹配的图形结构并将检索结果显示在所述人机交互界面上。
[0023]进一步的改进是，所述诊断模块的诊断结果会显示在所述人机交互界面上。
[0024]进一步的改进是，所述诊断模块生成的所述验证报告中，有问题的图形结构通过在版图的GDS文件中截取得到。
[0025]进一步的改进是，所截取的有问题的图形结构的大小为2微米
×
2微米。
[0026]进一步的改进是，还包括最终诊断报告生成模块，用于供OPC验证负责人生成最终诊断报告；
[0027]所述最终诊断报告中包括最终诊断结果以及所述验证报告。
[0028]进一步的改进是，所述最终诊断结果由所述诊断模块输出的所述诊断结果结合所述OPC验证负责人的主观诊断结果形成。
[0029]进一步的改进是，所述验证报告以excel或PPT格式文件形成。
[0030]为解决上述技术问题，本专利技术提供的OPC验证的诊断方法包括如下步骤：
[0031]步骤一、进行临时数据初始化，包括：收集产品OPC验证时形成的临时数据并按照OPC的索引信息形成所述临时数据的字典。
[0032]步骤二、进行数据交换，包括：在数据库中检索和所述临时数据相匹配的图形结构。所述数据库存储有多个已知诊断结果的OPC验证的数据。
[0033]步骤三、进行OPC验证的诊断，包括：
[0034]设置相似因子。
[0035]当在所述数据库中检索到和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，直接以在所述数据库中检索到的图形结构所对应的诊断结果作为所述临时数据的图形结构的诊断结果。
[0036]当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证正确，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库中。
[0037]当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证有问题，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库并同时生成验证报告，所述验证报告反馈有问题的图形结构和图形结构对应的详细风险信息。
[0038]进一步的改进是，还包括：所述OPC的索引在进行所述OPC的过程中生成。
[0039]进一步的改进是，所述OPC的索引包括：制造厂、产品和工艺层次。
[0040]进一步的改进是，步骤一中，在进行OPC验证的过程中进行后台自动运行收集形成所述临时数据。
[0041]进一步的改进是，收集形成所述临时数据的步骤包括：
[0042]生成一组数组，所述数组中包括所述产品的索引的各层的关键字；
[0043]按照所述索引的关键字将所收集的所述临时数据赋值到对应的所述数组中形成所述字典。
[0044本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OPC验证专家系统，其特征在于，包括：临时数据初始化模块，用于收集产品OPC验证时形成的临时数据并按照OPC的索引信息形成所述临时数据的字典；数据库，用于存储多个已知诊断结果的OPC验证的数据；数据交换模块，用于在数据库中检索和所述临时数据相匹配的图形结构；诊断模块，当在所述数据库中检索到和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，直接以在所述数据库中检索到的图形结构所对应的诊断结果作为所述临时数据的图形结构的诊断结果；当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证正确，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库中；当在所述数据库中未检索和所述临时数据相匹配且满足相似因子要求的图形结构时，如果所述临时数据的图形结构的OPC验证有问题，则将所述临时数据的图形结构的信息进行记录并存储到所述数据库并同时生成验证报告，所述验证报告反馈有问题的图形结构和图形结构对应的详细风险信息。2.如权利要求1所述的OPC验证专家系统，其特征在于，还包括：OPC索引生成模块，用于在OPC过程中生成所述OPC的索引。3.如权利要求3所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述OPC的索引包括：制造厂、产品和工艺层次。4.如权利要求1所述的OPC验证专家系统，其特征在于：在进行OPC验证的过程中所述临时数据初始化模块在后台自动运行并收集形成所述临时数据。5.如权利要求1或4所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述临时数据初始化模块收集形成所述临时数据的步骤包括：生成一组数组，所述数组中包括所述产品的索引的各层的关键字；按照所述索引的关键字将所收集的所述临时数据赋值到对应的所述数组中形成所述字典。6.如权利要求1或4所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述数据库包括OPCV数据库和OPCV知识库，所述OPCV数据库中存储有OPCV数据，所述OPCV知识库中存储有知识数据；所述OPCV数据包括索引数据，所述知识数据包括图形结构数据和所述图形结构数据对应的错误信息数据。7.如权利要求6所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述临时数据包括OPCV数据和知识数据。8.如权利要求7所述的OPC验证专家系统，其特征在于，还包括人机交互界面；在进行OPC验证的诊断之前，所述字典的信息会显示在所述人机交互界面上。9.如权利要求8所述的OPC验证专家系统，其特征在于：在所述OPC验证完成后所述数据交换模块会触发诊断请求信号，所述数据库在接收到所述诊断请求信号时进行检索以找出和所述临时数据相匹配的图形结构并将检索结果显示在所述人机交互界面上。10.如权利要求8所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述诊断模块的诊断结果会显示在所述人机交互界面上。11.如权利要求10所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所述诊断模块生成的所述验证报告中，有问题的图形结构通过在版图的GDS文件中截取得到。
12.如权利要求11所述的OPC验证专家系统，其特征在于：所截取的有...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯佳计，金晓亮，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：