流控传感器制造技术

流控传感器包括带振动部分７的基体２，固定在振动部分表面且有一个压电片４和至少一对与压电片接触的电极５ａ，５ｂ的压电元件３，设在基体表面且与电极对电连接的电极端子６，设在电极端子边缘中基体表面上的涂层材料８，加压器平台１４ａ，１４ｂ，和保持在基体和加压器平台间并围绕电极端子的密封部件１２，其中，电极端子通过在涂层材料和加压器平台间固定密封部件而保持对待测流体而言是气密的和／或液密的。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在流体中动作的流控传感器，和尤其涉及在腐蚀性流体如硫酸，特别是在铅蓄电池或在极性溶剂槽中动作的流控传感器。具有压电元件或类似物的传感器装置用于流体粘度的测量，流体的固体颗粒的检测，振动的检测等。例如，美国专利申请号第08/560,658中所公开的传感器装置中，压电片和振动部分被振动，根据损耗系数、电阻、阻抗或压电片的类似物中的变化来测量流体的粘度。在这个例子中，因为压电片或振动部分是与流体接触的，所以当流体粘度大时，压电片和振动部分的振幅变小。另一方面，当流体的粘度小时，压电片和振动部分的振幅变大。然后，当电压提供给压电片时，相应于振幅的电流被检测。在流体的粘度与流体的浓度或流体中成份的密度相关的情况下，流体的浓度或密度也能被检测。例如，硫酸溶液在粘度和浓度之间有一个给定的相应关系，在硫酸的粘度和密度之间也有一个给定的相应关系。并且，流体中固体颗粒的检测在公开具有压电片的颗粒传感器的美国专利申请第08/443,464中提出。随着流体中颗粒和具有压电片的检测部分或和振动部分的碰撞，振动部分和检测部分振动，压电片把振动转换成电信号，且其间放入压电片的一对电极输出电信号，其中的检测部分被安装到振动部分。在测量流体粘度，检测流体中固体颗粒，及通过使用上述结构传感器装置来检测振动的情况中，需要把传感器装置安排在流体中，从而用来从流体中动作的传感器装置提取信号到外部的一个电极端子必须对于流体而言是气密和/或液密的。鉴于以上原因，到此，如图5中所示，导线11连接到电极端子6，其连接部分再用有机树脂30或类似物注模，从而被密封，这样电极端子对于流体而言是气密和/或液密的。然而，在上述普通的方法中，因为有机树脂对制成传感器装置的基体的陶瓷材料的粘着力弱，所以，出现注模有机树脂30或类似物从连接部分很容易地分离的问题。考虑到先前技术的上述问题形成本专利技术，因此，本专利技术的一个目的是提供一种流控传感器，其能够容易地且确实地保持用来从传感器装置提取信号到外部的一个电极端子对流体而言是气密地和/或液密的。为了完成上述目的，根据本专利技术，提供一种流控传感器，包括具有振动部分的基体；固定在所说振动部分表面上且有一个压电片和至少一对与所说压电片接触地安排的电极的压电元件；在所说基体表面安排且电连接到所说的一对电极的电极端子；在所说的电极端子边缘的所说的基体的表面上安排的涂层材料；加压器平台；和在所说的基体和所说的加压器平台之间安装及形成以围绕所说的电极端子的密封部件；其中，通过在所说的涂层材料和所说的加压器平台之间安装所说的密封部件来保持所说的电极端子对待测流体而言是气密地和/或液密地。最好是根据本专利技术的流控传感器更进一步包括一根穿入所说的加压器平台的导线；和安排在所说的导线顶上的电极连接部件，其中所说的电极连接部件和所说的电极端子是相互接触的。应该注意的是该流体的主要目标是液体，更特别地是高腐蚀性流体如用于铅蓄电池中的硫酸溶液，极性容剂如使用极性溶剂的水或溶液。本专利技术的这些和其它目的、特性和优点将从以下结合附图的详细描述中变得更加明显附图说明图1A和1B表示本专利技术流控传感器的一个例子，其中，图1A是流控传感器的示意性透视图，和图1B是流控传感器的示意性部件分解图；图2是说明式地表示传感器装置的剖面图；图3A到3C表示平坦的基体边缘被密封在其中的流控传感器的一个例子，其中，图3A是流控传感器的示意性透视图，图3B是流控传感器的示意性部件分解图；和图3C是流控传感器的示意性剖面图；图4是说明式地表示电极端子边缘部分的局部剖面图；图5是说明式地表示普通流控传感器中电极端子的边缘部分的局部剖面图；图6A和6B表示本专利技术流控传感器的另一个例子，其中，图6A是流控传感器的示意性透视图，和图6B是流控传感器的示意性部件分解图；图7A和7B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图7A是流控传感器的示意性透视图，和图7B是流控传感器的示意性部件分解图；图8A和8B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图8A是流控传感器的示意性透视图，和图8B是流控传感器的示意性部件分解图9A和9B表示本专利技术流控传感器的再一个子，其中，图9A是流控传感器的示意性透视图，和图9B是流控传感器的示意性部件分解图；图10A和10B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图10A是流控传感器的示意性透视图，和图10B是流控传感器的示意性部件分解图；图11A和11B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图11A是流控传感器的示意性透视图，和图11B是流控传感器的示意性部件分解图；图12A和12B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图12A是流控传感器的示意性透视图，和图12B是流控传感器的示意性部件分解图；图13A和13B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图13A是流控传感器的示意性透视图，和图13B是流控传感器的示意性部件分解图；图14A和14B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图14A是流控传感器的示意性透视图，和图14B是流控传感器的示意性部件分解图；图15A和图15B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图15A是流控传感器的示意性透视图，和图15B是流控传感器的示意性部件分解图；图16A和16B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图16是流控传感器的示意性透视图，和图16B是流控传感器的示意性部件分解图；图17A和17B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图17A是流控传感器的示意性透视图，和图17B是流控传感器的示意性部件分解图；图18A和18B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图18A是流控传感器的示意性透视图，和图18B是流控传感器的示意性部件分解图；图19A和19B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图19A是流控传感器的示意性透视图，和图19B是流控传感器的示意性部件分解图；图20A和20B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图20A是流控传感器的示意性透视图，和图20B是流控传感器的示意性部件分解图；图21A和21B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图21A是流控传感器的示意性透视图，和图21B是流控传感器的示意性部件分解图；图22A和22B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图22A是流控传感器的示意性透视图，和图22B是流控传感器的示意性部件分解图；图23A和23B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图23A是流控传感器的示意性透视图，和图23B是流控传感器的示意性部件分解图24A和24B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图24A是流控传感器的示意性透视图，和图24B是流控传感器的示意性部件分解图；图25A和25B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图25A是流控传感器的示意性透视图，和图25B是流控传感器的示意性部件分解图；图26A和26B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图26A是流控传感器的示意性透视图，和图26B是流控传感器的示意性部件分解图；图27A和27B表示本专利技术流控传感器的再一个例子，其中，图27A是流控传感器的示意性透视图，和图27B是流控传感器的示意性部件分解图。现在，参考附图将更详细地描述本专利技术优选实施例。图1A和1B表示本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
流控传感器，包括：具有振动部分的基体；固定在所说的振动部分的一个表面上且具有一个压电片和至少一对与所说的压电片接触设置的电极的压电元件；设在所说的基体表面上且与所说的这对电极电连接的电极端子；设在所说的电极端子的边缘中的所说 的基体的表面上的涂层材料；加压器平台；和在所说的基体和所说的加压器平台之间保持并形成以围绕所说的电极端子的密封部件；其中，通过在所说的涂层材料和所说的加压器平台之间固定所说的密封部件，所说的电极端子保持对被测流体而言是气密的和／或液 密的。

【技术特征摘要】
JP 1996-5-22 127498/96;JP 1996-10-18 276510/961.流控传感器，包括具有振动部分的基体；固定在所说的振动部分的一个表面上且具有一个压电片和至少一对与所说的压电片接触设置的电极的压电元件；设在所说的基体表面上且与所说的这对电极电连接的电极端子；设在所说的电极端子的边缘中的所说的基体的表面上的涂层材料；加压器平台；和在所说的基体和所说的加压...

【专利技术属性】
技术研发人员：滑川政彦，柴田和义，武内幸久，中尾成希，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]