废气处理系统的控制方法及反应腔技术方案

本发明专利技术半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理系统的控制方法及反应腔，废气处理系统的控制方法包括：S1，开启正常运行模式，关闭清洗模式；S2，确定废气未进入反应腔；S3，关闭正常运行模式，开启清洗模式；S4，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。利用集成电路制造过程排气的间歇时间，废气处理系统启动清洗模式，对设备进行在线清洁，从而延长维护保养周期，降低拆装维护成本，提高设备利用率，与传统堵塞停机清理的方式相比，本发明专利技术时效性较强，且不停机不拆装运作成本低。停机不拆装运作成本低。停机不拆装运作成本低。

【技术实现步骤摘要】
废气处理系统的控制方法及反应腔


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种废气处理系统的控制方法及反应腔。

技术介绍

[0002]在集成电路制造过程中使用大量易燃性、腐蚀性或有毒化学原料，但其实际利用率非常低。因此，大量残余化学原料、反应副产物均进入废气处理系统中加以处理。废气处理系统长期运行在强腐蚀、多粉尘的工况，逐渐暴露如下问题：
[0003]1、多粉尘工艺，废气进口和反应腔容易粉尘堆积、堵塞；
[0004]2、强腐蚀性条件下，316L不锈钢材质反应腔焊缝周围容易晶间腐蚀，前期不易发现，突然泄漏，风险较大；
[0005]3、集成电路制造过程排气有间歇性，但废气处理系统持续运行，成本较高；
[0006]4、设备维护保养周期短，维护保养拆装费时费力，运维成本高；
[0007]5、线下维护、设备停机，设备利用率低。

技术实现思路

[0008]本专利技术提供一种废气处理系统的控制方法及反应腔，用以解决现有技术中废气处理系统维护保养周期短，维护保养拆装费时费力，运维成本高的缺陷，实现对设备进行在线清洁，从而延长维护保养周期，降低拆装维护成本，提高设备利用率的效果。
[0009]本专利技术提供一种废气处理系统的控制方法，包括：
[0010]S1，开启正常运行模式，关闭清洗模式；
[0011]S2，确定废气未进入反应腔；
[0012]S3，关闭正常运行模式，开启清洗模式；
[0013]S4，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。
[0014]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S2与步骤S3之间还包括：
[0015]S21，关闭正常运行模式，开启节能模式；
[0016]S22，确定废气未进入反应腔。
[0017]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S22与步骤S3之间还包括：
[0018]S23，确定达到预设清洗间隔时间。
[0019]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S3后还包括：
[0020]S4
’
，确定废气未进入反应腔，返回步骤S21。
[0021]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S22后还包括：
[0022]S23
’
，确定未达到预设清洗间隔时间，返回步骤S21。
[0023]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S21后还包括：
[0024]S22
’
，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。
[0025]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，步骤S1后还包括：
[0026]S2
’
，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。
[0027]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，所述清洗模式包括：
[0028]反应腔开始喷淋新水；
[0029]反应腔的冷却水切换为新水，溢流筒内的喷嘴及水洗塔内的喷嘴切换为喷淋新水；
[0030]水箱排水，直至水箱内循环水的PH值满足设定PH值要求；
[0031]反应腔停止喷淋新水；
[0032]反应腔内注入氮气；
[0033]所述正常运行模式包括：
[0034]反应腔的冷却水切换为循环水，溢流筒内的喷嘴及水洗塔内的喷嘴切换为喷淋循环水。
[0035]根据本专利技术提供的一种废气处理系统的控制方法，所述节能模式包括：
[0036]反应腔内5～10L/min进入甲烷。
[0037]本专利技术还提供一种反应腔，应用于如上所述的废气处理系统的控制方法，包括腔体，所述腔体的进气口一侧设有喷嘴，所述腔体的内壁涂覆纳米复合陶瓷涂层。
[0038]本专利技术提供的废气处理系统的控制方法，在集成电路制造过程中，废气处理系统中废气进入是间歇性进行的，在废气不进入反应腔的时间内，废气处理系统的正常运行模式关闭，开启清洗模式，对反应腔进行清洗，解决多粉尘工艺，废气进口和反应腔容易粉尘堆积、堵塞的问题，以及强腐蚀性条件下，316L不锈钢材质的反应腔的焊缝周围容易晶间腐蚀，不易发现，突然泄漏，风险较大的问题。利用集成电路制造过程排气的间歇时间，废气处理系统启动清洗模式，对设备进行在线清洁，从而延长维护保养周期，降低拆装维护成本，提高设备利用率，与传统堵塞停机清理的方式相比，本专利技术时效性较强，且不停机不拆装运作成本低。
[0039]废气通过设备进口进入反应腔，经过高温处理产生的高温烟气，在循环水喷淋降温后进入水洗塔，鲍尔环吸附除尘，新水喷淋洗尘后，最终排到厂务酸排。在反应腔的进口附近设计新水高压喷嘴，当废气处理系统未收到主机台排气通讯信号，反应腔的进口设置的气体传感器未检测到废气进入反应腔的情况下，关闭正常运行模式，启动清洗模式。清洗模式可以减少腐蚀液滴长期积聚造成的局部腐蚀，高压喷水亦可利用高压提前将晶间腐蚀的局部暴露出来，减少突发性。
[0040]除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0042]图1是本专利技术提供的废气处理系统的控制方法的流程示意图。
具体实施方式
[0043]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0044]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0045]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术实施例中的具体含义。
[0046]在本专利技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理系统的控制方法，其特征在于：包括：S1，开启正常运行模式，关闭清洗模式；S2，确定废气未进入反应腔；S3，关闭正常运行模式，开启清洗模式；S4，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。2.根据权利要求1所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤S2与步骤S3之间还包括：S21，关闭正常运行模式，开启节能模式；S22，确定废气未进入反应腔。3.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤S22与步骤S3之间还包括：S23，确定达到预设清洗间隔时间。4.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤S3后还包括：S4
’
，确定废气未进入反应腔，返回步骤S21。5.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤S22后还包括：S23
’
，确定未达到预设清洗间隔时间，返回步骤S21。6.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤S21后还包括：S2...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，宁腾飞，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：