本申请提供一种确定机台设备的精度的方法及装置，涉及机械工程技术领域，其中，机台设备的工作台板上放置有标定板，且机台设备的运动机构上设置有第一定位装置和第二定位装置，该方法包括通过第一定位装置，测量标定板中第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的位置，得到与所述X轴和所述Y轴对应的第一精度数据，通过所述第二定位装置，测量所述第一特征点集合包括的特征点在所述Z轴对应的位置，得到与所述Z轴对应的第二精度数据，基于所述第一精度数据和所述第二精度数据，确定所述机台设备与所述X轴、所述Y轴和所述Z轴对应的第三精度数据。本申请提供的技术方案实现对机台设备高维度的精度测量并降低测量难度。设备高维度的精度测量并降低测量难度。设备高维度的精度测量并降低测量难度。
【技术实现步骤摘要】
确定机台设备的精度的方法及装置
[0001]本申请涉及机械工程
，尤其涉及一种确定机台设备的精度的方法及装置。
技术介绍
[0002]机台设备是各行业产品加工的基础设备，机台设备的精度的高低决定了加工产品的品质。其中，机台设备的几何误差是影响其精度的最大因素。
[0003]现有技术中，可以通过激光干涉仪和球杆仪等仪器，对机台设备的单个轴的精度进行测量，但这种方式很难实现多维度的精度测量，且操作和调试过程复杂。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本申请提供一种确定机台设备的精度的方法及装置，能够实现对机台设备高维度的精度测量并降低测量难度。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：
[0006]第一方面，本申请实施例提供一种确定机台设备的精度的方法，所述机台设备包括工作台板和运动机构，所述运动机构用于相对所述工作台板在X轴、Y轴和Z轴运动，所述X轴和所述Y轴垂直，且所述X轴和所述Y轴均与所述工作台板所在的第一平面平行，所述Z轴与所述第一平面垂直，所述工作台板上放置有标定板，所述运动机构上设置有第一定位装置和第二定位装置，所述方法包括：
[0007]通过所述第一定位装置，测量所述标定板中第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的位置，得到与所述X轴和所述Y轴对应的第一精度数据；
[0008]通过所述第二定位装置，测量所述第一特征点集合包括的特征点在所述Z轴对应的位置，得到与所述Z轴对应的第二精度数据；
[0009]基于所述第一精度数据和所述第二精度数据，确定所述机台设备与所述X轴、所述Y轴和所述Z轴对应的第三精度数据。
[0010]在本申请实施例中，待测的机台设备可以包括工作台板和运动机构，运动机构用于相对工作台板在X轴、Y轴和Z轴运动，X轴和Y轴垂直，且X轴和Y轴均与工作台板所在的第一平面平行，Z轴与第一平面垂直。因此可以在机台设备的工作台板放置标定板，并在运动机构设置第一定位装置和第二定位装置，通过第一定位装置，测量标定板中第一特征点集合包括的特征点在第一平面的位置，得到与X轴和Y轴对应的第一精度数据，通过第二定位装置，测量第一特征点集合包括的特征点在Z轴对应的位置，得到与Z轴对应的第二精度数据，基于第一精度数据和第二精度数据，确定机台设备与X轴、Y轴和Z轴对应的第三精度数据。也即是能够通过标定板、第一定位装置和第二定位装置，确定机台设备与X轴、Y轴和Z轴第三精度数据，实现了更高维度的精度测量。另外，能够通过标定板、第一定位装置和第二定位装置，确定机台设备的第三精度数据，与通过激光干涉仪和球杆仪等仪器测量相比，标定板体积小、成本低且标定方便快捷，也使得测量精度的操作更加简化方便，降低测量难
度。
[0011]可选地，所述通过所述第一定位装置，测量所述标定板中第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的位置，得到与所述X轴和所述Y轴对应的第一精度数据，包括：
[0012]通过所述第一定位装置确定所述标定板中第一基准特征点的第一实际坐标，所述第一基准特征点为所述标定板中任一特征点；
[0013]基于所述第一基准特征点的第一实际坐标、标定板参数和所述标定板的第四精度数据，确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一理论坐标；
[0014]通过所述第一定位装置确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一实际坐标；
[0015]将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据。
[0016]可选地，在所述基于所述第一基准特征点的第一实际坐标、标定板参数和所述标定板的第四精度数据，确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一理论坐标之前，所述方法还包括：
[0017]获取搜索范围信息，所述搜索范围信息用于指示所述第一特征点集合在所述标定板上的区域；
[0018]通过所述第一定位装置在所述搜索范围信息所指示的区域内，确定所述第一特征点集合包括的特征点。
[0019]可选地，在所述将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据之前，所述方法还包括：
[0020]确定所述第一定位装置与所述第二定位装置在所述第一平面的偏移量；
[0021]基于所述偏移量对所述第一理论坐标进行偏移，得到偏移后的第一理论坐标；
[0022]所述将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据，包括：
[0023]将所述第一特征点集合包括的特征点的所述偏移后的第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据。
[0024]可选地，在所述基于所述第一基准特征点的第一实际坐标、标定板参数和所述标定板的第四精度数据，确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一理论坐标之前，还包括：
[0025]获取所述标定板参数和所述第四精度数据，其中，所述标定板包括特征点阵列，所述标定板参数包括所述特征点阵列的行数、列数、行距和列距，所述第四精度数据包括所述第一特征点集合包括的特征点在所述标定板的第二理论坐标，与所述特征点在所述标定板的第二实际坐标之间的误差值。
[0026]可选地，所述通过所述第二定位装置，测量所述第一特征点集合包括的特征点在所述Z轴对应的位置，得到与所述Z轴对应的第二精度数据，包括：
[0027]控制所述第二定位装置在所述第一特征点集合包括的特征点所在的Z轴方向移动，得到所述Z轴上的第三理论坐标和第三实际坐标；
[0028]将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第三理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第三理论坐标和所述第三实际坐标之间的误差值，确定为所述第二精度数据。
[0029]可选地，所述方法还包括：
[0030]若获取到理论目标坐标，则基于所述第三精度数据对所述理论目标坐标进行补偿，得到与所述理论目标坐标对应的实际目标坐标。
[0031]可选地，所述第三精度数据包括多个误差照点与所述X轴、所述Y轴和所述Z轴对应的第四理论坐标以及与所述第四理论坐标对应的误差值，所述基于所述第三精度数据对所述理论目标坐标进行补偿，得到与所述理论目标坐标对应的实际目标坐标，包括：
[0032]基于所述理论目标坐标，在多个误差参照点中确定多个目标误差参照点；
[0033]基于所述理论目标坐标、各所述目标误差参照点的所述第四理论坐标、与所述第四理论坐标对应的误差值，确定与所述理论目标坐标对应的目标误差值；
[0034]基于与所述理论目标坐标对应的目标误差值，对所述理论目标坐标进行补偿，得到所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种确定机台设备的精度的方法，其特征在于，所述机台设备包括工作台板和运动机构，所述运动机构用于相对所述工作台板在X轴、Y轴和Z轴运动，所述X轴和所述Y轴垂直，且所述X轴和所述Y轴均与所述工作台板所在的第一平面平行，所述Z轴与所述第一平面垂直，所述工作台板上放置有标定板，所述运动机构上设置有第一定位装置和第二定位装置，所述方法包括：通过所述第一定位装置，测量所述标定板中第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的位置，得到与所述X轴和所述Y轴对应的第一精度数据；通过所述第二定位装置，测量所述第一特征点集合包括的特征点在所述Z轴对应的位置，得到与所述Z轴对应的第二精度数据；基于所述第一精度数据和所述第二精度数据，确定所述机台设备与所述X轴、所述Y轴和所述Z轴对应的第三精度数据。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过所述第一定位装置，测量所述标定板中第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的位置，得到与所述X轴和所述Y轴对应的第一精度数据，包括：通过所述第一定位装置确定所述标定板中第一基准特征点的第一实际坐标，所述第一基准特征点为所述标定板中任一特征点；基于所述第一基准特征点的第一实际坐标、标定板参数和所述标定板的第四精度数据，确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一理论坐标；通过所述第一定位装置确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一实际坐标；将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据之前，所述方法还包括：确定所述第一定位装置与所述第二定位装置在所述第一平面的偏移量；基于所述偏移量对所述第一理论坐标进行偏移，得到偏移后的第一理论坐标；所述将所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据，包括：将所述第一特征点集合包括的特征点的所述偏移后的第一理论坐标、所述第一特征点集合包括的特征点的所述第一理论坐标和所述第一实际坐标之间的误差值，确定为所述第一精度数据。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述基于所述第一基准特征点的第一实际坐标、标定板参数和所述标定板的第四精度数据，确定所述第一特征点集合包括的特征点在所述第一平面的第一理论坐标之前，所述方法还包括：获取所述标定板参数和所述第四精度数据，其中，所述标定板包括特征点阵列，所述标定板参数包括所述特征点阵列的行数、列数、行距和列距，所述第四精度数据包括所述第一<...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎春洁，郭江，江岱平，卢国艺，潘志伟，刘春阳，
申请(专利权)人：深圳市腾盛精密装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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