一种用于集成电路制造的电镀槽结构制造技术

本发明专利技术涉及集成电路制造加工技术领域，且公开了一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括底槽，所述底槽侧边固定连接有连接柱，所述连接柱侧边固定连接有立柱，所述立柱底部固定连接有底座，所述连接柱表面固定连接有内旋转器，所述内旋转器顶部固定连接有活动架，所述活动架侧边固定连接有轴承件，所述轴承件侧边固定连接有中槽，所述连接柱表面固定连接有外旋转器，所述外旋转器与活动架相连接，所述轴承件侧边固定连接有顶槽。该用于集成电路制造的电镀槽结构，通过底槽、连接柱、立柱、底座、内旋转器、活动架、轴承件、中槽、外旋转器和顶槽等部分的连接和作用，达到立体设置，节约空间，灵活运行的效果。灵活运行的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路制造的电镀槽结构


[0001]本专利技术涉及集成电路制造加工
，具体为一种用于集成电路制造的电镀槽结构。

技术介绍

[0002]集成电路产业作为信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，是培育发展战略性新兴产业、推动信息化和工业化深度融合的基础，是保障国家信息安全的重要支撑，其产业能力决定了各应用领域的发展水平，并已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一；集成电路制造过程中，现代化的电镀加工已经成为不可缺少的一部分，集成电路在大规模、大批量的电镀加工时，场地要求极大，电镀设备占据较大空间，耗费较多成本投入，增加企业负担，为此我们提出了一种用于集成电路制造的电镀槽结构。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于集成电路制造的电镀槽结构，具备立体设置缩小占地面积，节约空间减少成本投入，旋转操作灵活运行等优点，解决了集成电路在大规模、大批量的电镀加工时，场地要求极大，电镀设备占据较大空间，耗费较多成本投入，增加企业负担的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括底槽，所述底槽侧边固定连接有连接柱，所述连接柱侧边固定连接有立柱，所述立柱底部固定连接有底座，所述连接柱表面固定连接有内旋转器，所述内旋转器顶部固定连接有活动架，所述活动架侧边固定连接有轴承件，所述轴承件侧边固定连接有中槽，所述连接柱表面固定连接有外旋转器，所述外旋转器与活动架相连接，所述轴承件侧边固定连接有顶槽，所述顶槽表面固定连接有温度检测器。
[0007]优选的，所述活动架表面设置有固定孔，所述活动架表面设置有固定凹槽，所述立柱内部设置有伸缩柱，所述伸缩柱与固定孔和固定凹槽相连接，伸缩柱贯穿固定孔连接到固定凹槽内部，伸缩柱在立柱里侧固定活动架。
[0008]优选的，所述立柱侧边固定连接有激光射灯，所述激光射灯朝向顶槽方向，激光射灯有两个，另一个激光射灯朝向中槽方向，激光射灯产生直线灯光与中槽和顶槽相平行。
[0009]优选的，所述温度检测器表面设置有温度显示屏，所述温度显示屏下方设置有功能键，所述温度检测器侧边固定连接有传输线，所述传输线末端固定连接有测温棒，测温棒检测识别到温度通过传输线到达温度检测器，温度检测器通过温度显示屏显示数值。
[0010]优选的，所述测温棒有多个，多个所述测温棒与顶槽相连接，所述测温棒延伸到顶槽内部，多区域识别槽内温度，参考充分减少误差。
[0011]优选的，所述传输线表面卡接有固定扣，所述固定扣与顶槽相连接，传输线通过固定扣固定附着在顶槽表面，保障线路安全减少接触。
[0012]优选的，所述底座与底槽相连接，所述立柱分布在底座两侧，所述底槽在立柱和底座的中心位置，底槽到达左右两侧立柱的距离相等，底槽与左右两侧立柱之间的连接柱长度相等。
[0013]优选的，所述外旋转器在内旋转器侧边，所述外旋转器相连接的活动架高于内旋转器相连接的活动架，外旋转器相连接的活动架为顶槽提供支持，使顶槽立体固定时高于中槽，使顶槽活动时不与中槽接触无阻碍运行。
[0014]优选的，所述顶槽与中槽和底槽规格相等，所述顶槽与中槽和底槽相互平行，规格相等内部容量统一，顶槽与中槽实现位置互换无差异。
[0015]与现有技术相比，本专利技术提供了一种用于集成电路制造的电镀槽结构，具备以下有益效果：
[0016]1、该用于集成电路制造的电镀槽结构，通过底槽、连接柱、立柱、底座、内旋转器、活动架、轴承件、中槽、外旋转器和顶槽等部分的连接和作用，底槽与连接柱相连接，连接柱与立柱、内旋转器和外旋转器相连接，底槽和立柱与底座相连接，内旋转器和外旋转器与活动架相连接，活动架与轴承件相连接，轴承件与中槽和顶槽相连接，达到立体设置缩小占地面积，节约空间减少成本投入，旋转操作灵活运行的效果。
[0017]2、该用于集成电路制造的电镀槽结构，通过连接柱、立柱、内旋转器、活动架、外旋转器、固定孔、固定凹槽、伸缩柱和激光射灯等部分的连接和作用，连接柱与立柱、内旋转器和外旋转器相连接，内旋转器和外旋转器与活动架相连接，活动架设置固定孔和固定凹槽，立柱设置伸缩柱，伸缩柱与固定孔和固定凹槽相连接，立柱与激光射灯相连接，达到有效抵持增强固定，伸缩打开自由快捷，水平检测提升安全保持稳定的效果。
[0018]3、该用于集成电路制造的电镀槽结构，通过顶槽、温度检测器、温度显示屏、功能键、传输线、测温棒和固定扣等部分的连接和作用，顶槽与温度检测器相连接，温度检测器设置温度显示屏和功能键，温度检测器与传输线相连接，传输线与测温棒相连接，传输线与固定扣相卡接，固定扣与顶槽相连接，达到槽内温度有效检测，多区域识别充分参考对比，保障电镀过程减少误差的效果。
附图说明
[0019]图1为本专利技术结构前视图；
[0020]图2为本专利技术图1中A处放大图；
[0021]图3为本专利技术结构俯视图；
[0022]图4为本专利技术图3中B处放大图；
[0023]图5为本专利技术伸缩柱活动展示图；
[0024]图6为本专利技术图5中C处放大图。
[0025]其中：1、底槽；2、连接柱；3、立柱；4、底座；5、内旋转器；6、活动架；7、轴承件；8、中槽；9、外旋转器；10、顶槽；11、温度检测器；12、固定孔；13、固定凹槽；14、伸缩柱；15、激光射灯；16、温度显示屏；17、功能键；18、传输线；19、测温棒；20、固定扣。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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6，一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括底槽1，底槽1侧边固定连接有连接柱2，连接柱2侧边固定连接有立柱3，立柱3侧边固定连接有激光射灯15，激光射灯15朝向顶槽10方向，激光射灯15有两个，另一个激光射灯15朝向中槽8方向，激光射灯15产生直线灯光与中槽8和顶槽10相平行，立柱3底部固定连接有底座4，底座4与底槽1相连接，立柱3分布在底座4两侧，底槽1在立柱3和底座4的中心位置，底槽1到达左右两侧立柱3的距离相等，底槽1与左右两侧立柱3之间的连接柱2长度相等，连接柱2表面固定连接有内旋转器5，内旋转器5顶部固定连接有活动架6，活动架6表面设置有固定孔12，活动架6表面设置有固定凹槽13，立柱3内部设置有伸缩柱14，伸缩柱14在立柱3内部向里侧活动架6方向延伸，伸缩柱14与固定孔12和固定凹槽13相连接，伸缩柱14贯穿固定孔12连接到固定凹槽13内部，伸缩柱14在立柱3里侧固定活动架6，通过连接柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路制造的电镀槽结构，包括底槽(1)，其特征在于：所述底槽(1)侧边固定连接有连接柱(2)，所述连接柱(2)侧边固定连接有立柱(3)，所述立柱(3)底部固定连接有底座(4)，所述连接柱(2)表面固定连接有内旋转器(5)，所述内旋转器(5)顶部固定连接有活动架(6)，所述活动架(6)侧边固定连接有轴承件(7)，所述轴承件(7)侧边固定连接有中槽(8)，所述连接柱(2)表面固定连接有外旋转器(9)，所述外旋转器(9)与活动架(6)相连接，所述轴承件(7)侧边固定连接有顶槽(10)，所述顶槽(10)表面固定连接有温度检测器(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于：所述活动架(6)表面设置有固定孔(12)，所述活动架(6)表面设置有固定凹槽(13)，所述立柱(3)内部设置有伸缩柱(14)，所述伸缩柱(14)与固定孔(12)和固定凹槽(13)相连接。3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于：所述立柱(3)侧边固定连接有激光射灯(15)，所述激光射灯(15)朝向顶槽(10)方向。4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于：所述温度检测器(11)表面设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张泽华，
申请(专利权)人：深圳市微碧半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：