一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器制造技术

本发明专利技术涉及一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的第二电极层、压电层、第一电极层和衬底，在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，且制备工艺简单。且制备工艺简单。且制备工艺简单。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器


[0001]本专利技术薄膜体声波谐振器
，尤其涉及一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器。

技术介绍

[0002]薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，简称FBAR)是一种基于体声波理论、用声学谐振实现电学选频的器件，其原理是通过上下薄层电极间的压电材料于垂直方向上的谐振而进行频率的选择，通过组合多个薄膜体声波谐振器，可形成滤波器结构。
[0003]其中，薄膜体声波谐振器主要分为两种形式，分别为空气腔型结构(即FBAR谐振单元)和反射阵型结构单元(即SMR谐振单元)，SMR谐振单元类的相关谐振器器件也被称为固态安装式谐振器器件。具体地：
[0004]1)对于空气腔型结构的FBRA而言，其结构的最大的特点是在衬底上通过刻蚀工艺制备空腔结构，由于空气与电极材料或压电材料的声阻抗值有较大差异，因此在声波传导至两者界面时会产生全反射，从而实现谐振作用。
[0005]但需要指出的是由于空气是热的不良导体，因此空气腔型结构的FBRA中的产生或吸收的热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：依次层叠设置的第二电极层、压电层、第一电极层和衬底；所述衬底上布设多个散热盲孔，每个散热盲孔内填充有导热散热材料，并在每个散热盲孔内的导热散热材料的上方填充高阻材料，形成全反射结构，其中，所有散热盲孔的开口方向与所述第一电极层垂直，或者，所有散热盲孔的开口方向与所述第一电极层平行；所述第一电极层覆设所述全反射结构上。2.根据权利要求1所述一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述衬底的材质为Si、SiC或蓝宝石...

【专利技术属性】
技术研发人员：于海洋，张智欣，孙伟彬，闫鑫，陈长娥，倪烨，陈晓阳，
申请(专利权)人：北京航天微电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：