微通道板自动清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种微通道板自动清洗装置，包括：真空转移机构，用于吸住至少一个抛光后的微通道板；装板圆盘，用于与真空转移机构对接，并接住从真空转移机构下落的微通道板；电机；传动组件，一端啮合到电机的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到装板圆盘，并通过电机驱动装板圆盘转动；超声波清洗机，具有多个清洗槽；电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。利用本实用新型专利技术的微通道板自动清洗装置，对抛光后的微通道板进行表面旋转超声波清洗，在提高抛光清洗效率的同时，消除了人员操作差异带来的表面质量差异，保证微通道板的洁净度。保证微通道板的洁净度。保证微通道板的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
微通道板自动清洗装置


[0001]本技术涉及微通道
，具体而言涉及一种微通道板自动清洗装置。

技术介绍

[0002]微通道板是一种特殊光学纤维器件，是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器，具有体积小、重量轻、分辨率好、增益高、噪声低、使用电压低等优点，它利用其二次电子发射特性，可使高速碰撞在内壁(通道)上的电子成倍增加，使之达到万倍以上的电子增流。利用这种特性，微通道板广泛用于光电倍增管、像增强器，微光电视、X光像增强器、高速示波管，以及光子计数、X
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射线、紫外光子、电子、离子、带电粒子、亚原子粒子等的探测技术。
[0003]微通道板的外观形状一般为圆形玻璃薄片，直径为20～100mm、厚度为0.2～0.5mm。MCP中间工作区中的每一个空心管通道内壁表面均具有二次电子发射性能，实现连续的电子倍增功能。
[0004]MCP的生产工艺流程包括拉丝、排棒、拉复丝、排屏、压屏、切片磨抛、腐蚀、氢还原以及镀膜工艺。其中镀膜工艺中包含沉积镀膜工艺，是使MCP具有高二次电子放大功能的关键过程。
[0005]在生产过程中，通过双面抛光以同时去除其两个表面由前工序所残留下的微缺陷及表面损伤层，以求获得表面平整度高、粗糙度低的光亮“镜面”。抛光是决定微通道表面质量的重要环节，抛光结束后的微通道板其表面附着有大量的氧化铈抛光粉，因此抛光后对微通道板表面的清洁至关重要，清洁不足容易对镀膜和测试造成影响。目前主要采用人工手搓清洁的方式，但由于人员操作手法的不同，其表面质量差异性较大，且效率低下。

技术实现思路

[0006]本技术目的在于提供一种微通道板抛光后的自动清洗装置，降低操作人员抛光后清洗操作的差异性，提高微通道板的表面质量，以解决目前微通道板下盘效率低、表面清洗质量差异性大的技术问题。
[0007]根据本技术目的的第一方面提出一种微通道板自动清洗装置，包括：
[0008]真空转移机构，用于吸住至少一个抛光后的微通道板；
[0009]装板圆盘，用于与所述真空转移机构对接，并接住从真空转移机构下落的微通道板；
[0010]电机；
[0011]传动组件，所述传动组件的一端啮合到所述电机的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到所述装板圆盘，以使得电机、传动组件与装板圆盘形成整体连接并通过电机驱动装板圆盘转动；
[0012]超声波清洗机，所述超声波清洗机具有多个清洗槽；
[0013]其中，所述电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以
将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。
[0014]进一步的实施例中，所述真空转移机构具有真空泵、空心转移盘以及设置在空心转移盘的下方的多个吸力阀，吸力阀与空心转移盘的内部连通，通过真空泵在空心转移盘与吸力阀内形成真空吸力，以吸住抛光后的微通道板。
[0015]进一步的实施例中，所述真空转移机构还具有一可供手持的空心管，其一端通过空心软管连通至真空泵，另一端与空心转移盘的内部连通。
[0016]进一步的实施例中，所述多个吸力阀在空心转移盘下方均匀地排布。
[0017]进一步的实施例中，空心转移盘与所述装板圆盘的外径相同。
[0018]进一步的实施例中，所述装板圆盘上设置有与吸力阀一一对应的圆形卡槽，所述微通道板下落在圆形卡槽内。
[0019]进一步的实施例中，所述圆形卡槽内设置有多个间隔并且均匀分布的台阶，台阶上贴有陶瓷片，所述台阶被设置成只能接触到微通道板的实体边而避开空心部分。
[0020]进一步的实施例中，所述超声波清洗机依次设置有第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽，第一清洗槽用于装注清洗剂，第二清洗槽和第三清洗槽分别用于装注去离子水。
[0021]由以上技术方案可见，与现有技术相比，本技术的微通道板抛光后的自动清洗装置的显著的有益效果在于：
[0022]传统抛光清洗采用人工逐片手搓方式，效率较低，且操作者之间差异性大导致了表面质量差异性，本技术的微通道板抛光后自动清洗装置，在提高抛光清洗效率的同时，消除了人员操作差异带来的表面质量差异，微通道板抛光后自动清洗装置通过超声波清洗机使清洗剂溶液产生空化气泡清洗微通道板表面的抛光粉，利用旋转电机使微通道板表面产生离心力，剥离表面的抛光粉，改善微通道板表面的光亮度，提高了微通道板的表面质量。
[0023]结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本技术教导的前述和其他方面、实施例和特征。本技术的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本技术教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
[0024]附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本技术的各个方面的实施例，其中：
[0025]图1是本技术的真空转移机构的结构示意图。
[0026]图2是本技术的真空转移机构的空心转移盘的结构示意图。
[0027]图3是本技术的装板圆盘的示意图。
[0028]图4是本技术的超声波清洗过程的示意图。
具体实施方式
[0029]为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
[0030]在本公开中参照附图来描述本技术的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本技术的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构
思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本技术所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本技术公开的一些方面可以单独使用，或者与本技术公开的其他方面的任何适当组合来使用。
[0031]结合图1
‑
4所示的示例性实施例的微通道板自动清洗装置，包括真空转移机构10、装板圆盘20、电机30、传动组件40以及超声波清洗机50。
[0032]其中，真空转移机构10用于对抛光盘面上抛光夹具孔内的微通道板进行吸取，转移到装板圆盘20上对应的卡槽位置后通过真空状态解除来释放微通道板到卡槽内。装板圆盘20通过传动组件与电机相连，用于微通道板清洗时对微通道板与清洗剂溶液产生相对位移，例如旋转清洗，并可在不同的清洗槽内进行转移。相比于现有的抛光后下盘和清洗方式来说，利用本技术的微通道板自动清洗装置可提高工作效率的同时，降低了人员操作差异带来的表面质量的差异性，提高了微通道板的表面质量。
[0033]结合图示，真空转移机构10，用于吸住至少一个抛光后的微通道板。
[0034]在图1、2所示的示例中，真空转移机构10具有真空泵11、空心转移盘12以及设置在空心转移盘的下方的多个吸力阀13，吸力阀13与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微通道板自动清洗装置，其特征在于，包括：真空转移机构，用于吸住至少一个抛光后的微通道板；装板圆盘，用于与所述真空转移机构对接，并接住从真空转移机构下落的微通道板；电机；传动组件，所述传动组件的一端啮合到所述电机的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到所述装板圆盘，以使得电机、传动组件与装板圆盘形成整体连接并通过电机驱动装板圆盘转动；超声波清洗机，所述超声波清洗机具有多个清洗槽；其中，所述电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。2.根据权利要求1所述的微通道板自动清洗装置，其特征在于，所述真空转移机构具有真空泵、空心转移盘以及设置在空心转移盘的下方的多个吸力阀，吸力阀与空心转移盘的内部连通，通过真空泵在空心转移盘与吸力阀内形成真空吸力，以吸住抛光后的微通道板。3.根据权利要求2所述的微通道板自动清洗装置，其特征在于，所述真空转移...

【专利技术属性】
技术研发人员：张欢，王健，李冬，丛晓庆，乔芳建，邱祥彪，蒯浚哲，李涛，王鹏飞，
申请(专利权)人：北方夜视科技南京研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：