【技术实现步骤摘要】
大气压等离子体发生器、制备方法及等离子体产生装置
[0001]本专利技术涉及低温等离子体
,具体涉及一种大气压等离子体发生器、制备方法及等离子体产生装置。
技术介绍
[0002]大气压低温等离子体是一种电子能量较高而离子能量较低且温度在室温至几百摄氏度之间的常压低温等离子体。因其具有温度低、活性粒子种类多、数量大、活性强,且无需复杂的真空系统等优势,在材料表面加工以及生物医学领域具有广阔的应用前景。通过控制大气压低温等离子体束斑直径尺寸,可以获得直径在几十微米甚至纳米量级的大气压极细等离子体,从而可以在材料表面图案化加工时,摆脱对掩模版的限制,实现直写微纳加工。此外,在大气压低温等离子体的一些特殊应用场合,如单量子点改性、单细胞靶向处理等,同样需要束斑直径在微米甚至纳米量级的大气压极细等离子体。然而,制备稳定放电的大气压等离子体发生器是目前大气压低温等离子体领域的一大难题。
[0003]现有方法主要是通过加热拉制玻璃管,获得出口直径为几微米的毛细玻璃管,通过插入金属丝电极并通入工作气体产生大气压极细等离子体。但 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大气压等离子体发生器,其特征在于,设置为管状的多孔介质管微针,所述多孔介质管微针包括设置在轴线位置处的金属丝电极通道和以轴线为中心圆周均布的多个微针进气通道,所述金属丝电极通道中内嵌有熔融金属极细丝电极。2.一种如权利要求1所述的大气压等离子体发生器的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1,在多孔介质管的中心通道内注入熔融金属并冷却;S2,通过激光对所述多孔介质管中部加热,同时对所述多孔介质管的两端施加轴向拉力;S3,所述多孔介质管连同所述熔融金属从加热处产生颈缩拉断,形成两段内嵌有所述熔融金属极细丝电极的多孔介质管微针;两所述多孔介质管微针均为所述大气压等离子体发生器,内设置有所述熔融金属的所述中心通道形成所述金属丝电极通道。3.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述多孔介质管包括设置在轴线位置处...
【专利技术属性】
技术研发人员:王涛,汪加豪,王信,张永琪,陈思乐,时礼平,
申请(专利权)人:安徽工业大学,
类型:发明
国别省市:
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