一种稳定运行的超声波清洗装置，涉超声波清洗装置技术领域，解决超声波发生器不能稳定运行的技术不足，技术方案包括：清洗机主体、超声波或兆声波发生器和运行控制器，清洗机主体内设有喷射腔，一端连接有引流部，引流部内设有储液腔和引流管道，储液腔通过引流管道与喷射腔连通；引流部上设有经储液腔上部的开口伸入的光电传感器。本发明专利技术的有益效果在于：喷射腔内高频震荡的清洗液被引流管道引入到储液腔内的过程中，会被引流管道喇叭口状结构的开口和其相对较小的管径限制先后形成阻尼孔出流和层流射流状态，使得进入储液腔内的清洗液的液面更稳定，利于传感器稳定感测液位情况，使超声波发生器可连续、稳定运行，清洗的效果更好。更好。更好。
【技术实现步骤摘要】
一种稳定运行的超声波清洗装置
[0001]本专利技术涉及超声波清洗装置
，更具体的涉及一种能够连续稳定运行的超声波清洗装置。
技术介绍
[0002]现有用于半导体生产制造领域内的超声波清洗装置，利用超声波发生器发出超声波或兆声波频率的高频交变电流信号，并通过射频线传输至超声波换能器，再利用超声波换能器将高频交变电流信号转换成压电部件的高频机械振动，从而利用超声波换能器压电部件的高频振动带动泵入清洗机主体的喷射腔内的半导体清洗液剧烈震荡，并利用半导体清洗液自身的泵入压力和超声波换能器的驱动力将清洗液经喷射腔的喷射口处高速喷射出来，从而实现对半导体器件表面的高效清洁。
[0003]现有超声波清洗装置为了进行自动化控制，降低功耗，防止干烧，一般会在清洗机主体上设置用于检测喷射腔内清洗液液位变化情况的光电传感器，光电传感器与控制超声波发生器运行的运行控制器连接，用于向其报送喷射腔内液位检测信号。当光电传感器检测到喷射腔内存在足量的清洗液时，运行控制器会自动控制超声波发生器持续运行，以持续为连续泵入到喷射腔内的清洗液叠加高频振荡的动能。当光电传感器检测到喷射腔内的清洗液含量较少或者无清洗液时，运行控制器自动控制超声波发生器停机，从而避免缺少清洗液状态下超声波换能器的持续运行，防止其因干烧造成的损害。
[0004]然而，现有超声波清洗装置上设置的光电传感器，其感应探头一端大多是直接安装在喷射腔内的，而喷射腔内的清洗液在被超声波换能器赋能后会剧烈高频振荡，使其液面呈现上下波动起伏的状态，从而严重干扰了光电传感器对清洗液液位检测的稳定性和准确性，运行控制器也无法根据接收到的液位检测信号对喷射腔内实际的清洗液液位进行判断，导致运行控制器根据收到的液位检测信号控制超声波发生器进行非连续式的、高频、间断性的反复开机或停机，极易造成超声波发生器故障或损毁。
[0005]另外，实际清洗过程中若超声波发生器以非连续式的、间断性的非正常状态运行，还会导致超声波发生器停机时段内泵入喷射腔内的清洗液不能被及时附加高频振荡的动能，从而影响清洗机主体喷出的高能清洗液流的稳定性，不能保证喷射出的清洗液流以同等射速和动能清洁半导体器件表面，严重降低了超声波清洗装置的清洁效果，无法实现半导体器件表面清洁的目的。
[0006]因此，需要对现有的超声波清洗装置进行改进以克服上述问题。
技术实现思路
[0007]综上所述，本专利技术的目的在于解决现有超声波清洗装置的设计不合理，喷射腔内高频震荡的清洗液液面干扰光电传感器的准确检测，进而导致超声波发生器故障或损毁、清洗效果差的技术不足，而提供一种能够准确检测清洗液的液位变化以实现使用过程中连续稳定运行的超声波清洗装置。
[0008]为解决本专利技术所提出的技术不足，采用的技术方案为：一种稳定运行的超声波清洗装置，包括有清洗机主体、超声波或兆声波发生器和运行控制器，所述的运行控制器与所述的超声波或兆声波发生器电性连接以控制其运行；所述的清洗机主体内设有用于泵入并喷出清洗液的喷射腔，所述的喷射腔上设有与超声波或兆声波发生器电性连接的换能器，用于驱使泵入喷射腔内的清洗液震荡并经喷射腔的喷射口喷出；其特征在于，清洗机主体的一端连接有引流部，所述的引流部内竖向设有上部开口的储液腔，纵向设有连通于所述储液腔下部的引流管道，所述的引流管道对应处于喷射腔端部的外侧并与之连通；引流管道的管径小于储液腔的腔体内径，其与喷射腔连通的一端开口呈向内收拢的喇叭口状结构，用于将喷射腔内呈震荡状态的清洗液平稳地引流到储液腔内；引流部上竖向连接有一与运行控制器电性连接的光电传感器，所述光电传感器的感应探头一端经储液腔上部的开口伸入，用于感测储液腔内清洗液的液位变化情况并向运行控制器发送液位感测信号。
[0009]进一步的，所述引流部的上端面上螺纹固定连接有一用于封堵其上部开口的端盖部，所述端盖部的中部位置上开设有用于固定插接所述光电传感器的固定螺孔，端盖部与引流部相抵接的端面之间密封夹持有处于所述固定螺孔外围的软胶密封圈。
[0010]进一步的，所述储液腔的底部设有向下凹陷的锥形槽，所述引流管道与储液腔相连通的开口处于所述锥形槽与储液腔侧壁的连接处。
[0011]进一步的，所述的引流部呈L型结构，其纵向一端螺纹固定连接在所述的清洗机主体上，所述的储液腔设于其竖向端部内，所述的引流管道设于其纵向端部内。
[0012]进一步的，所述的喷射腔沿所述清洗机主体的长度方向纵向设置，呈上宽下窄的V型条状腔体结构，其一侧壁的上部纵向设有用于泵入清洗液的入液口，其相对较宽的上方纵向开设有换能口，其相对较窄的下方纵向开设有所述的喷射口，所述的换能器纵向密封覆于所述的换能口上。
[0013]进一步的，所述的喷射腔其对应所述引流部的一端设有外扩型的溢流腔，所述溢流腔的横向截面宽度大于喷射腔V型条状腔体结构的横向截面宽度，溢流腔一端与喷射腔连通，另一端与所述的引流管道连通。
[0014]进一步的，所述的喷射口纵向开设于所述清洗机主体的下端面上。
[0015]本专利技术的有益效果为：本专利技术的光电传感器其感应探头一端并不是直接安装在清洗机主体的喷射腔内，而是安装在清洗机主体一端的引流部的储液腔内，喷射腔内高频振荡的清洗液是通过引流管道被引入到储液腔内的，由于引流管道本身的管径小于储液腔的腔体内径，且其与喷射腔连通的一端呈向内收拢的喇叭口状结构，因此，引流管道与喷射腔之间形成阻尼孔出流结构，喷射腔内高频振荡的清洗液会被收拢的喇叭口状结构限制降低其流量和震荡频率，使得清洗液以层流状态相对平稳的流入到引流管道内。而后，清洗液由小管径的引流管道以层流射流状态进入到大腔体内径的储液腔内，此时清洗液的横向流速很小，其液面能够保持相对稳定的状态，从而便于光电传感器连续、稳定、精确的检测储液腔内清洗液液位的变化情况，保证了本专利技术装置使用过程中运行控制器能够根据清洗液的真实液位情况连续、稳定的控制超声波发生器的运行，解决了现有装置运行过程中因储液腔内清洗液液面波动而造成超声波发生器间断式的反复开关机的问题，有利于降低超声波发生器的故障
率，防止其损毁。
[0016]而且，本专利技术的运行控制器能够通过光电传感器准确、即时地获知喷射腔内缺少或没有清洗液的情况，及时控制超声波发生器停机以防止换能器干烧，有效保护了换能器并提高了其使用寿命，也有利于降低本专利技术的功耗。
[0017]另外，本专利技术的储液腔内的清洗液液面稳定性高，可被光电传感器连续、稳定的精确感测，因此，本专利技术的运行控制器能够根据接收到的连续、稳定、精准的液位感测信号控制超声波发生器和换能器连续、稳定的运行，从而保证了清洗过程中清洗机主体喷出的清洗液流的流速和动能的稳定性和连续性，清洗效果更好。
附图说明
[0018]图1为本专利技术装置整体结构示意图；图2为本专利技术清洗机主体的底部结构示意图；图3为本专利技术清洗机主体的纵向截面结构示意图；图4为本专利技术清洗机主体纵向截面的结构局部放大示意图；图5为本专利技术清洗机主体的横向截面的结构示意图；图6为本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种稳定运行的超声波清洗装置，包括有清洗机主体（1）、超声波或兆声波发生器和运行控制器，所述的运行控制器与所述的超声波或兆声波发生器电性连接以控制其运行；所述的清洗机主体（1）内设有用于泵入并喷出清洗液的喷射腔（3），所述的喷射腔（3）上设有与超声波或兆声波发生器电性连接的换能器（5），用于驱使泵入喷射腔（3）内的清洗液震荡并经喷射腔（3）的喷射口（31）喷出；其特征在于，清洗机主体（1）的一端连接有引流部（6），所述的引流部（6）内竖向设有上部开口的储液腔（61），纵向设有连通于所述储液腔（61）下部的引流管道（62），所述的引流管道（62）对应处于喷射腔（3）端部的外侧并与之连通；引流管道（62）的管径小于储液腔（61）的腔体内径，其与喷射腔（3）连通的一端开口呈向内收拢的喇叭口状结构，用于将喷射腔（3）内呈震荡状态的清洗液平稳地引流到储液腔（61）内；引流部（6）上竖向连接有一与运行控制器电性连接的光电传感器（7），所述光电传感器（7）的感应探头一端经储液腔（61）上部的开口伸入，用于感测储液腔（61）内清洗液的液位变化情况并向运行控制器发送液位感测信号。2.根据权利要求1所述的一种稳定运行的超声波清洗装置，其特征在于，所述引流部（6）的上端面上螺纹固定连接有一用于封堵其上部开口的端盖部（63），所述端盖部（63）的中部位置上开设有用于固定插接所述光电传感器（7）的固定螺孔，端盖部（63）与引流部（6）相抵接的端面之间密封夹持有处...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱平，
申请(专利权)人：东莞市佳源达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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