一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法技术

本申请涉及粉末冶金技术领域，具体公开了一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、将海绵钛和铝块混合后熔炼得到TiAl合金铸锭；S2、将TiAl合金铸锭破碎成一定粒度的TiAl合金粉；S3、将TiAl合金粉与Ti粉或TiAl合金粉、Ti粉与Me粉按照比例称量后混合均匀分别制得TiAl粉末或TiAlMe粉末；S4、将制得的TiAl粉末或TiAlMe粉末模压成型制得冷压坯；S5、将上述预成型冷压坯进行脱气处理后，采用热等静压成型，制得坯料；S6、将热等静压后的坯料进行加工后，得到所需要的靶材产品。本申请的制备方法具有降低高Ti低Al靶材的成型难度的优点。度的优点。度的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法


[0001]本申请涉及粉末冶金
，更具体地说，它涉及一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法。

技术介绍

[0002]目前，大部分用于制备TiAlN以及TiAlMeN涂层的靶材中Al含量都在30%以上，制备方法为以Al作为基体，通过单质粉末混合然后在较低的温度（400
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500 ℃）下进行热等静压（HIP），然后得到致密度大于99%的块体材料，最后通过切割和加工得到相应尺寸大小的靶材。
[0003]但随着涂层应用的的不断发展，高Ti低Al的靶材应用逐渐增加。在Al含量相对较低时（≤30 at%），要想获得相对密度大于99%的靶材，需要提升HIP的压力和温度，但由于Al的熔点相对较低，提升热等静压压力和温度后Al在HIP过程中存在熔化的风险，且当温度超过500℃时，Ti和Al会发生剧烈的合金化反应，进一步增加了成型的难度。

技术实现思路

[0004]为了降低高Ti低Al靶材的成型难度，本申请提供一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将海绵钛和铝块混合后熔炼得到TiAl合金铸锭；S2、将TiAl合金铸锭破碎成一定粒度的TiAl合金粉；S3、将TiAl合金粉与Ti粉或TiAl合金粉、Ti粉与Me粉按照比例称量后混合均匀分别制得TiAl粉末或TiAlMe粉末；其中，制得的TiAl粉末中原子的配比70～99at%的Ti，1～30at% 的Al；TiAlMe粉末中原子的配比为50～98at%的Ti，1～30at%的Al，1～30 at%的Me；S4、将制得的TiAl粉末和TiAlMe粉末模压成型制得预成型冷压坯；S5、将上述预成型冷压坯进行脱气处理后，采用热等静压成型，制得坯料；S6、将热等静压后的坯料进行加工后，得到所需要的靶材产品。2.根据权利要求1所述的一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，海绵钛和铝块各自的纯度大于99.5%，且海绵钛和铝块两者的质量比为1：1。3.根据权利要求1所述的一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，其特征在于：所述TiAl合金粉、Ti粉和Me粉的粒度为
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325目。4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凤戈，魏铁峰，张学华，岳万祥，张欠男，姚伟，
申请(专利权)人：涿州安泰六九新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：