一种石英坩埚的清洗组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英坩埚的清洗组件，包括清洗箱，所述的清洗箱内设置有用于传输石英坩埚的传输组件，石英坩埚倒置于传输组件上，所述的清洗箱内设置有对石英坩埚内表面进行清洗的清洗装置，所述的清洗装置包括设置在传输组件下方的喷头组件以及用于驱动喷头组件横向位移的驱动组件，通过将石英坩埚倒置在传输组件上，能够使清洗装置在对其内表面清洗时，附着在石英坩埚内表面的灰尘能够随着清洗液落入至清洗箱的底部，提高清洗效果，同时设置驱动组件带动喷头组件横向移动，能够扩大喷头组件对石英坩埚内表面的清洗范围，进一步提高对石英坩埚内表面的清洗效果。高对石英坩埚内表面的清洗效果。高对石英坩埚内表面的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚的清洗组件


[0001]本技术属于叶片泵设备
，涉及一种石英坩埚的清洗组件。

技术介绍

[0002]石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过成型、切削、清洗、烘干等步骤。
[0003]石英坩埚在制备过程中需要进行表面清洗，目前对石英坩埚的清洗过程大都是人工进行清洗，而石英坩埚生产数量巨大，清洗过程较为消耗人力，当清洗者长时间清洗石英坩埚消耗体力后会感到疲劳，导致效率变低和清洗不干净，清洗效果也随之下降，会影响石英坩埚的生产质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石英坩埚的清洗组件。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种石英坩埚的清洗组件，包括清洗箱，所述的清洗箱内设置有用于传输石英坩埚的传输组件，石英坩埚倒置于传输组件上，所述的清洗箱内设置有对石英坩埚内表面进行清洗的清洗装置，所述的清洗装置包括设置在传输组件下方的喷头组件以及用于驱动喷头组件横向位移的驱动组件。
[0006]通过将石英坩埚倒置在传输组件上，能够使清洗装置在对其内表面清洗时，附着在石英坩埚内表面的灰尘能够随着清洗液落入至清洗箱的底部，提高清洗效果，同时设置驱动组件带动喷头组件横向移动，能够扩大喷头组件对石英坩埚内表面的清洗范围，进一步提高对石英坩埚内表面的清洗效果。
[0007]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的喷头组件包括设置在传输辊下方的输水管组、若干设置在输水管组上的高压喷头，所述的清洗箱内设置有将清洗液泵送至输水管组内的泵水组件。泵水组件能够将清洗箱内的清洗液泵送至输水管组内，并通过高压喷头喷射至石英坩埚的内表面，对石英坩埚的大内表面进行冲洗，同时清洗后的清洗液能够重新落入清洗箱的底部，从而能够实现清洗液的重复利用。
[0008]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的驱动组件包括可水平滑动于清洗箱的滑移杆，所述清洗箱上设置有用于驱动滑移杆的驱动件，所述的输水管组设置在滑移杆上跟随滑移杆移动。驱动件能够带动滑移杆横向往复移动，从而使滑移杆上的输水管组往复移动，输水管组上的高压喷头往复移动，扩大对石英坩埚内表面的清洗范围，从而提高对石英坩埚内表面的清洗效果。
[0009]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的清洗箱的侧壁对称开设有可供滑移杆水平滑动的滑动槽，所述的滑移杆的两端分别位于两侧的滑动槽中。滑动槽的设置对滑移杆起到导向和限位作用。
[0010]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的驱动件包括分别设置在滑移杆两端
的电动推杆，所述电动推杆的输出轴与滑移杆固定连接，两侧所述的电动推杆同步运行。两侧的电动推杆同步往复运行推动滑移杆来回移动，从而使输水管组上的喷头移动，由于喷头位于导辊之间的间隙中，电动推杆的推动范围要小于两个导辊之间的间距。
[0011]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的滑移杆设有两个，且两个所述的滑移杆通过连接杆固定连接，两个所述的滑移杆均与输水管组固定连接。通过设置两个滑移杆与输水管组相连接，能够提高输水管组在移动时的稳定性。
[0012]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的泵水组件为调频水泵。通过调频水泵控制喷头对石英坩埚的表面进行高压与低压之间的切换喷淋，能够提高对石英坩埚内表面的喷洗效果。
[0013]在上述的一种石英坩埚的清洗组件中，所述的传输组件包括设置于清洗箱内的导辊以及用于驱动导辊的伺服电机，所述的导辊一端均贯穿清洗箱，每两个所述的导辊之间均设置有传动带，所述的伺服电机与其中一个所述的长导辊通过传动带连接。通过启动伺服电机，伺服电机的输出端转动带动导辊转动，导辊转动通过传动带带动相邻的导辊转动，从而使全部导辊转动，对导辊上的石英坩埚进行传输。
[0014]与现有技术相比，本技术通过将石英坩埚倒置在传输组件上，能够使清洗装置在对其内表面清洗时，附着在石英坩埚内表面的灰尘能够随着清洗液落入至清洗箱的底部，提高清洗效果，同时设置驱动组件带动喷头组件横向移动，能够扩大喷头组件对石英坩埚内表面的清洗范围，进一步提高对石英坩埚内表面的清洗效果。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是本技术的剖面图。
[0017]图中，1、清洗箱；2、传输组件；21、导辊；22、伺服电机；23、传动带；3、石英坩埚；4、清洗装置；41、喷头组件；411、输水管组；412、高压喷头；43、泵水组件；42、驱动组件；421、滑移杆；422、驱动件；5、滑移槽。
具体实施方式
[0018]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0019]实施例
[0020]如图1和图2所示，一种石英坩埚的清洗组件，包括清洗箱1，清洗箱1的两端分别开设有进口和出口，所述的清洗箱1内设置有用于传输石英坩埚3的传输组件2，石英坩埚3倒置于传输组件2上。
[0021]所述的传输组件2包括设置于清洗箱1内的导辊21以及用于驱动导辊21的伺服电机22，所述的导辊21一端均贯穿清洗箱1，每两个所述的导辊21之间均设置有传动带23，所述的伺服电机22与其中一个所述的长导辊21通过传动带23连接。通过启动伺服电机22，伺服电机22的输出端转动带动导辊21转动，导辊21转动通过传动带23带动相邻的导辊21转动，从而使全部导辊21转动，对导辊21上的石英坩埚3进行传输。
[0022]所述的清洗箱1内设置有对石英坩埚3内表面进行清洗的清洗装置4，所述的清洗
装置4包括设置在传输组件2下方的喷头组件41以及用于驱动喷头组件41横向位移的驱动组件42。
[0023]所述的喷头组件41包括设置在传输辊下方的输水管组411、若干设置在输水管组411上的高压喷头412，高压喷头412与输水管组411相连通，在本实施例中，高压喷头412的数量为20个，所述的清洗箱1内设置有将清洗液泵送至输水管组411内的泵水组件43。
[0024]所述的泵水组件43为调频水泵，调频水泵的出水管与输水管组411相连通，且调频水泵可调节其频率，对高压喷头412的喷出的水量进行调节，通过调频水泵控制喷头对石英坩埚3的表面进行高压与低压之间的切换喷淋，能够提高对石英坩埚3内表面的喷洗效果。
[0025]泵水组件43能够将清洗箱1内的清洗液泵送至输水管组411内，并通过高压喷头412喷射至石英坩埚3的内表面，对石英坩埚3的大内表面进行冲洗，同时清洗后的清洗液能够重新落入清洗箱1的底部，从而能够实现清洗液的重复利用。
[0026]所述的驱动组件42包括可水平滑动于清洗箱1的滑移杆421，所述的滑移杆421设有两个，且两个所述的滑移杆421通过连接杆固定连接，两个所述的滑移杆421均与输水管组411固定连接。通过设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚的清洗组件，包括清洗箱(1)，所述的清洗箱(1)内设置有用于传输石英坩埚(3)的传输组件(2)，其特征在于，石英坩埚(3)倒置于传输组件(2)上，所述的清洗箱(1)内设置有对石英坩埚(3)内表面进行清洗的清洗装置(4)，所述的清洗装置(4)包括设置在传输组件(2)下方的喷头组件(41)以及用于驱动喷头组件(41)横向位移的驱动组件(42)。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的清洗组件，其特征在于：所述的喷头组件(41)包括设置在传输辊下方的输水管组(411)、若干设置在输水管组(411)上的高压喷头(412)，所述的清洗箱(1)内设置有将清洗液泵送至输水管组(411)内的泵水组件(43)。3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚的清洗组件，其特征在于：所述的驱动组件(42)包括可水平滑动于清洗箱(1)的滑移杆(421)，所述清洗箱(1)上设置有用于驱动滑移杆(421)的驱动件(422)，所述的输水管组(411)设置在滑移杆(421)上跟随滑移杆(421)移动。4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚的清洗组件，其特征在于：所述的清...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶飞，王洋洋，毛炳全，方志远，
申请(专利权)人：浙江美晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：