【技术实现步骤摘要】
一种低能耗的羰基硫精制提纯系统
[0001]本技术涉及气体纯化
,特别是涉及一种低能耗的羰基硫精制提纯系统。
技术介绍
[0002]硫化羰(化学式:COS)又称氧硫化碳、羰基硫,通常状态下为有臭鸡蛋气味的无色、易燃、有毒气体。它是一个结构上与二硫化碳和二氧化硫类似的无机碳化合物,气态的COS分子为直线型,一个碳原子以两个双键分别与氧原子和硫原子相连。羰基硫的性质稳定,但会与氧化剂强烈反应,水分存在时也会腐蚀金属。此外,羰基硫可燃、有毒,但与硫化氢一样,会使人对其在空气中的浓度产生低估。
[0003]硫化碳具有许多用途,诸如在硫醇、尿素等的生产中用作中间产物或作为熏蒸剂。羰基硫是有机合成中间体,是氨基甲酸酯类除草剂如禾草丹、野燕畏、燕麦敌、燕麦敌2号等的中间体。此外,硫化碳也在超大规模集成电路的制造
发挥着重要作用。
[0004]随着超大规模集成电路的制造技术的进步,特别是在对电子蚀刻气的工艺中,相应地对羰基硫的纯度提出了更高的要求。在H2O的存在下,羰基硫(COS)和H2S是铜的己知腐蚀促进剂,结 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低能耗的羰基硫精制提纯系统,其特征在于,所述羰基硫精制提纯系统包括:原料罐(1);汽提机构,所述汽提机构包括若干个依次连接的汽提塔;每个所述汽提塔的顶部均与对应的冷凝分离机构连接;一端的汽提塔与所述原料罐(1)的顶部连接,另一端的汽提塔通过冷凝分离机构与产品罐(10)连接;每个所述汽提塔的底部均与对应的再沸器连接;其中,所述再沸器的热源均与加热系统通过管道连通,所述冷凝分离机构的冷源均与冷凝系统通过管道连通,所述冷凝系统的冷却介质与所述加热系统的换热介质通过冷却介质循环系统连通。2.根据权利要求1所述的一种低能耗的羰基硫精制提纯系统,其特征在于:所述冷却介质循环系统包括冷却塔(17)和水泵(18),所述冷却塔(17)与水泵(18)连接;所述冷却塔(17)与所述加热系统的换热介质出口连接,所述水泵(18)与所述冷凝系统的冷凝介质入口连接,所述加热系统的换热介质入口与所述冷凝系统的冷却介质出口连接。3.根据权利要求1所述的一种低能耗的羰基硫精制提纯系统,其特征在于:所述汽提机构包括第一汽提塔(3)和第二汽提塔(4),所述第一汽提塔(3)的上部与所述原料罐(1)的顶部连接,所述第一汽提塔(3)的底部与所述第二汽提塔(4)的底部通过管道连接。4.根据权利要求3所述的一种低能耗的羰基硫精制提纯系统,其特征在于:所述第一汽提塔(3)的顶部与第一塔顶冷凝器(5)连接,所述第一塔顶冷凝器(5)与第一塔顶分离器(6)连接,所述第一塔顶分离器(6)的出液端与所述第一汽提塔(3)顶部连接;所述第一汽提塔(3)的底部与第一再沸器(7)连接;所述第二汽提塔(4)的顶部与第二塔顶冷凝器(8)连接,所述第二塔顶冷凝器(8)与第二塔顶分离器(9)连接,所述第二塔顶分离器(9)的出液端均与所述第二汽提塔(4)顶部和所述产品罐(10)连接,所述第二汽提塔(4)的底部与第二再沸器(11)连接,所述第二汽提塔(4)与第二再沸器(11)之间安装有排污管(12)。5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员:周大荣,
申请(专利权)人:上海启元气体发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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