用于群集系统的传送室技术方案

用于群集系统的传送室包括第一主体、附着于第一主体的一个侧面处的第二主体和与该第一主体的上部结合的盖。该传送室进一步包括在该第一主体的另一个侧面处的第三主体，其中该第三主体具有与该第二主体相同的形状。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造半导体器件的装置，以及更特别地是，涉及一种用于制造半导体器件的群集系统(cluster system)的传送室(transferchamber)。
技术介绍
由于信息技术的快速发展，显示器件已经发展到处理并且显示日益增加的大的信息量。最近已经构思并发展了用于具有厚度小、重量轻和功耗低的显示器件的平板显示器技术。在这些技术当中，由于液晶显示(LCD)器件的优良的分辨率、彩色图像显示和图象质量，以及已经被广泛地用于笔记本式计算机、桌面式监视器(desktop monitor)和其它的应用，所以公众已经注意到用液晶显示器件来代替阴极射线管(CRT)。LCD器件可包括多个像素，其中每一个的开关元件可被形成以独立地控制像素。该LCD器件通常是指有源矩阵液晶显示(AMLCD)器件。薄膜晶体管可用作该开关元件，并且包括该薄膜晶体管的LCD器件被称作薄膜晶体管(TFT)LCD器件。该TFT LCD器件包括两个基板，在基板上元件例如电场形成电极和薄膜晶体管以薄膜的形式形成。通过光刻工艺由重复沉积薄膜并图案化该薄膜形成该元件。该光刻工艺包括用于选择性曝光或覆盖薄膜的曝光工艺、用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于群集系统的传送室，其特征在于：所述传送室包括：第一主体；附着于该第一主体的一个侧面的第二主体；以及与该第一主体的上部结合的盖。

【技术特征摘要】
KR 2003-6-2 2003-353501.一种用于群集系统的传送室，其特征在于所述传送室包括第一主体；附着于该第一主体的一个侧面的第二主体；以及与该第一主体的上部结合的盖。2.根据权利要求1的传送室，其特征在于该传送室具有六角柱的形状。3.根据权利要求1的传送室，其特征在于该第一主体具有六面体的形状。4.根据权利要求3的传送室，其特征在于该第一主体为长方体。5.根据权利要求4的传送室，其特征在于该第二主体具有三角柱的形状。6.根据权利要求4的传送室，其特征在于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：张根夏，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]