一种基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器制造技术

本发明专利技术提出一种基于级联F

【技术实现步骤摘要】
一种基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器


[0001]本专利技术涉及一种基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，属于光纤传感器


技术介绍

[0002]近年来，光纤F
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P传感器由于具有体积小、质量轻、灵敏度高、不受电气干扰等优势而发展迅速。光纤F
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P传感器由于其独特的优势，如结构简单、体积小、抗电磁干扰、灵敏度高，在航空航天、军工船舶、生物医学和建筑等工业领域得到了广泛应用。特别是在海洋探测领域，测量水下某处声压时，需要同时对此处的水深及温度进行测量。
[0003]光纤F
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P传感器的敏感部位是光纤F
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P腔，当光入射时会在各反射面之间产生反射，形成干涉光谱，对外界待测量进行测量时，待测量改变，引起F
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P腔腔长变化，从而引起干涉光谱发生变化，对干涉光谱进行解调，根据解调的腔长变化量，计算出待测量的值。
[0004]在同时对多参量进行测量时不同物理量之间会产生交叉敏感，为了克服这种问题多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，包括单模光纤(1)、毛细玻璃管(2)、硅膜片(3)、PET膜片(4)、三层石英支撑层(5)、通气小孔(6)和空气腔(7)，所述单模光纤(1)插入毛细玻璃管(2)中，所述毛细玻璃管(2)与位于前侧的石英支撑层(5)固定，所述前侧的石英支撑层(5)、中部的石英支撑层(5)、硅膜片(3)、后部的石英支撑层(5)和PET膜片(4)依次连接，所述前侧的石英支撑层(5)、中部的石英支撑层(5)和硅膜片(3)上贯通一个通气小孔(6)，所述硅膜片(3)和PET膜片(4)间有空气腔(7)，所述通气小孔(6)与空气腔(7)连通。2.根据权利要求1所述的基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述单模光纤(1)由石英材料制成。3.根据权利要求1所述的基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述单模光纤(1)除去涂覆层后插入毛细玻璃管(2)接收反射光谱，并使用外胶粘合固定。4.根据权利要求1所述的基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述毛细玻璃管(2)直径为1.8mm。5.根据权利要求1所述的基于级联F
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P干涉仪的多参量光纤传感器，其特征在于，所述通气小孔(6)的直径为0.1mm。6.一种如权利要求1
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5所述的基于级联F
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘彬，梁芮嘉，钟志，单明广，刘磊，于蕾，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：