节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法技术方案

本发明专利技术提供了一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法，用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，并透过在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间、或是在该第一脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，因此，当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。甚至导致停机的情形发生。甚至导致停机的情形发生。

【技术实现步骤摘要】
节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法


[0001]本专利技术有关于一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法，涉及一种当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

技术介绍

[0002]目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。
[0003]但是近年来，国家对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关大气质量标准，同时将依国际管制趋势发展，逐期检讨。
[0004]因此，本专利技术有鉴于上述问题，希望能提出一种具有提升有机废气处理效率的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法，使使用者可轻易操作组装，为使用者提供便利，为本专利技术研发的目的。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，并透过在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间或是在该第一脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，因此，当挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的实用性。
[0006]本专利技术的另一目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方法，透过在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间所增设的冷侧比例风门，以当该第一冷侧输送管路内的挥发性有机化合物(VOCs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门来将该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体输送到该第一冷侧输送管路内，使该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体能与该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体能让温度较高的该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体进行降温，因此，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(TO)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的使用性。
[0007]本专利技术的次一目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统及其方
法，透过在该第一脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，而该冷侧比例风门的另一端供外气进入，其中该外气可为新鲜空气或是其他气体，以当由该第一吸附转轮的脱附区所产生的脱附浓缩气体在进入该第一脱附浓缩气体管路后，且该第一脱附浓缩气体管路内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可透过该冷侧比例风门的另一端所输入外气来进行调节，使该第一脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果，进而增加整体的操作性。
[0008]为了能够更进一步了解本专利技术的特征、特点和
技术实现思路
，请参照以下有关本专利技术的详细说明与附图，另所附附图仅用以提供参考与说明，并非用以限制本专利技术。
附图说明
[0009]图1为本专利技术的第一热交换器设在该第二热交换器旁边的第一种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
[0010]图2为本专利技术的第一热交换器设在该第二热交换器旁边的第二种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
[0011]图3为本专利技术的第一热交换器设在该第三热交换器旁边的第一种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
[0012]图4为本专利技术的第一热交换器设在该第三热交换器旁边的第二种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
[0013]图5为本专利技术的第一种实施态样的主要步骤流程图；
[0014]图6为本专利技术的第二种实施态样的主要步骤流程图；
[0015]图7为本专利技术的第三种实施态样的主要步骤流程图；
[0016]图8为本专利技术的第四种实施态样的主要步骤流程图。
[0017]附图标记说明：
[0018]直燃式焚烧炉(TO)10；炉头101；炉膛102；入口11；出口12；第一热交换器20；第一冷侧管路21；第一热侧管路22；第一冷侧输送管路23；第二热交换器30；第二冷侧管路31；第二热侧管路32；第三热交换器40；第三冷侧管路41；第三热侧管路42；第一吸附转轮60；吸附区601；冷却区602；脱附区603；废气进气管路61；废气连通管路611；废气连通控制阀门6111；第一净气排放管路62；第一净气连通管路621；第一净气连通控制阀门6211；第一冷却气进气管路63；第一冷却气输送管路64；第一热气输送管路65；第一脱附浓缩气体管路66；风机661；第二吸附转轮70；吸附区701；冷却区702；脱附区703；第二净气排放管路71；风机711；第二冷却气进气管路72；第二冷却气输送管路73；第二热气输送管路74；第二脱附浓缩气体管路75；风机751；烟囱80；冷侧比例风门901；冷侧比例风门904；输入待吸附之气体S100；输入待吸附之气体S200；第一吸附转轮吸附S110；第一吸附转轮吸附S210；输入第一冷却气体S120；输入第一冷却气体S220；输送第一热气脱附S130；输送第一热气脱附S230；脱附浓缩气体输送S140；脱附浓缩气体输送S240；焚烧后之气体输送S150；焚烧后之气体输送S250；第二吸附转轮吸附S160；第二吸附转轮吸附S260；输入第二冷却气体S170；输入第二冷却气体S270；输送第二热气脱附S180；输送第二热气脱附S280；冷侧比例风门调控S190；冷侧比例风门调控S290；输入待吸附之气体S300；输入待吸附之气体S400；第一吸附转轮吸附S310；第一吸附转轮吸附S S410；输入第一冷却气体S320；输入第一冷却气体
S420；输送第一热气脱附S330；输送第一热气脱附S430；脱附浓缩气体输送S340；脱附浓缩气体输送S440；焚烧后之气体输送S350；焚烧后之气体输送S450；第二吸附转轮吸附S360；第二吸附转轮吸附S460；输入第二冷却气体S370；输入第二冷却气体S470；输送第二热气脱附S380；输送第二热气脱附S480；冷侧比例风门调控S390；冷侧比例风门调控S490
具体实施方式
[0019]请参照图1至图8，为本专利技术实施例的示意图，而本专利技术的节能型双转轮高浓度冷侧旁通过温控制系统及其方法的较佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，包括：一直燃式焚烧炉(TO)，该直燃式焚烧炉(TO)设有一炉头及一炉膛，该炉头与该炉膛相通，该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，该入口设在该炉头处，该出口设在该炉膛处；一第一热交换器，该第一热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路；一第二热交换器，该第二热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路；一第三热交换器，该第三热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路；一第一冷侧输送管路，该第一冷侧输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一冷侧输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)的入口连接；一第一吸附转轮，该第一吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第一吸附转轮连接有一废气进气管路、一第一净气排放管路、一第一冷却气进气管路、一第一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该第一吸附转轮的吸附区的一侧，该第一净气排放管路的一端与该第一吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第一冷却气进气管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第一冷却气输送管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一冷却气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的一端连接，该第一热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一热气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该第一热交换器的第一冷侧管路的一端连接；一第二吸附转轮，该第二吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第二吸附转轮连接有一第二净气排放管路、一第二冷却气进气管路、一第二冷却气输送管路、一第二热气输送管路及一第二脱附浓缩气体管路，该第一净气排放管路的一端连接至该第二吸附转轮之吸附区的一侧，该第二净气排放管路的一端与该第二吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第二冷却气进气管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第二冷却气输送管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第二冷却气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的一端连接，该第二热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的另一端连接，该第二脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的一侧连接；一烟囱，该第二净气排放管路的另一端与该烟囱连接；以及一冷侧比例风门，该冷侧比例风门的一端与该第一脱附浓缩气体管路连接，该冷侧比例风门的另一端与该第一冷侧输送管路连接。2.一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，包括：一直燃式焚烧炉(TO)，该直燃式焚烧炉(TO)设有一炉头及一炉膛，该炉头与该炉膛相通，该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，该入口设在该炉头处，该出口设在该炉膛处；一第一热交换器，该第一热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路；
一第二热交换器，该第二热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路；一第三热交换器，该第三热交换器设在该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路；一第一冷侧输送管路，该第一冷侧输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一冷侧输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)的入口连接；一第一吸附转轮，该第一吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第一吸附转轮连接有一废气进气管路、一第一净气排放管路、一第一冷却气进气管路、一第一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该第一吸附转轮的吸附区的一侧，该第一净气排放管路的一端与该第一吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第一冷却气进气管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第一冷却气输送管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一冷却气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的一端连接，该第一热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一热气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该第一热交换器的第一冷侧管路的一端连接；一第二吸附转轮，该第二吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第二吸附转轮连接有一第二净气排放管路、一第二冷却气进气管路、一第二冷却气输送管路、一第二热气输送管路及一第二脱附浓缩气体管路，该第一净气排放管路的一端连接至该第二吸附转轮的吸附区的一侧，该第二净气排放管路的一端与该第二吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第二冷却气进气管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第二冷却气输送管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第二冷却气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的一端连接，该第二热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的另一端连接，该第二脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的一侧连接；一烟囱，该第二净气排放管路的另一端与该烟囱连接；以及一冷侧比例风门，该冷侧比例风门的一端与该第一脱附浓缩气体管路连接，该冷侧比例风门的另一端供外气进入。3.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该直燃式焚烧炉(TO)的出口进一步连接至该烟囱。4.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第一冷却气进气管路进一步为供新鲜空气或是外气来进入。5.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第二冷却气进气管路进一步为供新鲜空气或是外气来进入。6.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该废气进气管路进一步设有一废气连通管路，该废气连通管路与该第一冷却气进气管路连接，该废气连通管路进一步设有一废气连通控制阀门，以控制该废气连通管路的风量。7.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第一净气排放
管路进一步设有一第一净气连通管路，该第一净气连通管路与该第二冷却气进气管路连接，该第一净气连通管路进一步设有一第一净气连通控制阀门，以控制该第一净气连通管路的风量。8.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第一脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。9.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第二脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。10.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第二净气排放管路进一步设有一风机。11.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第二脱附浓缩气体管路的另一端进一步与该废气进气管路相连接。12.如权利要求1或2所述的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，其中该第二脱附浓缩气体管路的另一端进一步与该第一冷却气进气管路相连接。13.一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制方法，用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，该直燃式焚烧炉(TO)设有一炉头及一炉膛，该炉头与该炉膛相通，该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，该入口设在该炉头处，该出口设在该炉膛处，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路，第一冷侧输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一冷侧输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)的入口连接，该第一吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第一吸附转轮连接有一废气进气管路、一第一净气排放管路、一第一冷却气进气管路、一第一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该第二吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第二吸附转轮连接有一第二净气排放管路、一第二冷却气进气管路、一第二冷却气输送管路、一第二热气输送管路及一第二脱附浓缩气体管路，而该控制方法的步骤包括：输入待吸附的气体：将废气透过该废气进气管路的另一端来送入该第一吸附转轮的吸附区的一侧；第一吸附转轮吸附：透过该第一吸附转轮的吸附区进行吸附后，由该第一吸附转轮的吸附区的另一侧将吸附后的气体透过该第一净气排放管路的另一端来输出至第二吸附转轮的吸附区；输入第一冷却气体：透过该第一冷却气进气管路的另一端来输送冷却气至该第一吸附转轮的冷却区进行冷却，再透过该第一冷却气输送管路的另一端来将经过该第一吸附转轮的冷却区的冷却气输送到该第三热交换器的第三冷侧管路的一端；输送第一热气脱附：透过与第三热交换器的第三冷侧管路的另一端所连接的第一热气输送管路来将热气输送到该第一吸附转轮的脱附区进行脱附，再透过该第一脱附浓缩气体管路的另一端来将脱附浓缩气体输送到第一热交换器的第一冷侧管路的一端；脱附浓缩气体输送：该脱附浓缩气体再透过该第一热交换器的第一冷侧管路的另一端所连接的第一冷侧输送管路来输送到该直燃式焚烧炉(TO)的入口；
焚烧后的气体输送：将该直燃式焚烧炉(TO)的炉头所燃烧后而产生的焚烧后的气体输送到该第三热交换器的第三热侧管路的一端，而由该第三热交换器的第三热侧管路的另一端输送到该第二热交换器的第二热侧管路的一端，再由该第二热交换器的第二热侧管路的另一端输送到该第一热交换器的第一热侧管路的一端，最后由该第一热交换器的第一热侧管路的另一端输送到该直燃式焚烧炉(TO)的出口；第二吸附转轮吸附：将第一净气排放管路内的吸附后的气体输送到第二吸附转轮的吸附区的一侧进行吸附，再将第二次吸附后的气体透过该第二净气排放管路来输送至烟囱排放；输入第二冷却气体：透过该第二冷却气进气管路的另一端来输送冷却气至该第二吸附转轮的冷却区进行冷却，再透过该第二冷却气输送管路的另一端来将经过该第二吸附转轮的冷却区的冷却气输送到该第二热交换器的第二冷侧管路的一端；输送第二热气脱附：透过与第二热交换器的第二冷侧管路的另一端所连接的第二热气输送管路来将热气输送到该第二吸附转轮的脱附区进行脱附，再透过该第二脱附浓缩气体管路的另一端来输出；以及冷侧比例风门调控：在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间设一冷侧比例风门，以透过该冷侧比例风门来调控该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路的风量。14.一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制方法，用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(TO)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，该直燃式焚烧炉(TO)设有一炉头及一炉膛，该炉头与该炉膛相通，该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，该入口设在该炉头处，该出口设在该炉膛处，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路，该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路，该第一冷侧输送管路的一端与该第一冷侧管路的另一端连接，该第一冷侧输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)的入口连接，该第一吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第一吸附...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，林国源，扶亚民，陈宗贤，刘邦昱，
申请(专利权)人：上海华懋环保节能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：