一种蓝宝石晶棒切割气动抓手制造技术

技术编号:32025166 阅读:29 留言:0更新日期:2022-01-22 18:52
本发明专利技术公布一种蓝宝石晶棒切割气动抓手,属于蓝宝石晶棒切割技术领域。基板的两侧延伸出向下倾斜的翼板;翼板下铰接有连杆,连杆下端铰接有弧形的抓板;抓板的下端固定有摩擦条,抓板的上端铰接有气缸Ⅰ;两个气缸Ⅰ纵向对称固定在基板上,两个气缸Ⅰ活塞杆之间通过连接杆固定连接;基板轴心线上开设有两条横通槽;横通槽中滑动安装有滑块,两个滑块连接有气缸Ⅱ;滑块上固定有竖向的气缸Ⅲ上;两个气缸Ⅲ的小腔连通外界,两个气缸Ⅲ的大腔共同连接一个压力箱。本发明专利技术抓手对晶棒圆形面部分进行夹持,确保晶棒水平面不受干扰,便于操作晶棒与基材结合或直接将晶棒水平面放置与加工治具上,对晶棒进行加工,提高晶棒加工效率。提高晶棒加工效率。提高晶棒加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶棒切割气动抓手


[0001]本专利技术涉及蓝宝石晶棒切割
,具体是一种蓝宝石晶棒切割气动抓手。

技术介绍

[0002]LED在当今社会中用途十分广泛,例如各种通讯设备、仪器仪表及显示面板背光上均用有大量的LED。蓝宝石作为制作LED的重要材料在半导体领域具有举足轻重的地位。在形成用于制作LED蓝宝石硅衬底之前,仍需要对蓝宝石硅材料进行前端加工,即将蓝宝石硅棒进行切片的作业。
[0003]例如中国专利公开的一种蓝宝石硅棒的切割治具(CN202439138U),设置在一具有金刚线的切片机上,承载一具有平面侧壁的蓝宝石硅棒,包括一黏合蓝宝石硅棒的平面侧壁的横梁以及固定在所述横梁两端的转轴部,在切割作业中,依据预先设置的转速及垂向下移速度旋转并下移所述工件治具,当所述工件治具的横梁触碰到所述金刚线时换向旋转,同时随着所述蓝宝石硅棒切割深度的递增所述工件治具的转角递减,直至切割结束。
[0004]现有的切割设备在对蓝宝石晶棒进行加工时,需要先对蓝宝石晶棒进行定位。一般采用的方法是,通过人工将蓝宝石晶棒平面侧通过粘结的方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒切割气动抓手,其特征在于:包括基板(10),所述基板(10)的两侧延伸出向下倾斜的翼板(10

1),两个翼板(10

1)纵向对称布置;所述翼板(10

1)下铰接有连杆(3),连杆(3)下端铰接有弧形的抓板(4);所述抓板(4)的下端固定有用于夹取晶棒(6)的摩擦条(5),抓板(4)的上端铰接有气缸Ⅰ(2);两个所述气缸Ⅰ(2)纵向对称固定在基板(10)上,两个气缸Ⅰ(2)活塞杆之间通过连接杆(7)固定连接;所述基板(10)轴心线上开设有两条横通槽(10

2),两个横通槽(10

2)横向对称布置;所述横通槽(10

2)中滑动安装有滑块(8),两个滑块(8)连接有气缸Ⅱ(11);所述滑块(8)上固定有竖向的气缸Ⅲ(9),气缸Ⅲ(9)活塞杆下端顶在晶棒(6)上;两个所述气缸Ⅲ(9)的小腔连通外界,两个气缸Ⅲ(9)的大腔共同连接一个压力箱。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒切割气动抓手,其特征在于:所述翼板(10

1)下铰接有一对所述连杆(3),两个连杆(3)沿着对应的翼板(10

1)、抓板(4)的中心线对称;所述气缸Ⅰ(2)位于对应的翼板(10

1)、抓板(4)的中心线上。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒切割气动抓手,其特征在于:所述基板(10)上固定有一对套筒(1);所述气缸Ⅰ(2)套装在套筒(1)中,气缸Ⅰ(2)的缸筒外固定有连接法兰Ⅰ(2

1)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张耀孟威
申请(专利权)人:江苏嘉一北科光学科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1