一种大口径宽角谱滤光片及其制备方法技术

本申请提供一种大口径宽角谱滤光片及其制备方法，基于双面薄膜等应力的设计思想，在大口径基板双面分别进行长波通滤光薄膜和短波通滤光薄膜应力匹配设计，把应力作为评价光学薄膜的一项性能指标，提出光力一体化的设计方法制备薄膜，避免了滤光片大视场下光通量弱和应力过大造成元件面形超差两个问题。和应力过大造成元件面形超差两个问题。和应力过大造成元件面形超差两个问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大口径宽角谱滤光片及其制备方法


[0001]本申请涉及光学薄膜
，具体涉及一种大口径宽角谱滤光片及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着光学技术和计算机技术的快速发展，滤光片的使用越来越广泛，几乎涉及到任何一个领域，大到航天器，小到手机都要利用光学对物体进行探测和分析。滤光片尤如电路网络中的滤波器，可将特定频率范围内的信号传输过去，而阻断这个频率范围以外的信号，以达到选择性传输的目的，起到波分复用的功能。
[0003]对于滤光片首要的是光学特性，也就是分光特性，对不同波段的光信号分配是不是满足使用要求，这是检验滤光片质量的核心关键。但是随着光学系统中光线入射角以及入瞳直径的增大，传统滤光片在较大的入射角下出现严重的通带位置偏移现象，在大视场附近位置处出现无法感应、画面均匀性、信噪比高等问题。而且滤光片为了实现高质量光谱调制，所需膜层较厚，应力较大，这会造成大口径基板变形严重，导致传输光束发生波前畸变，进而影响光学系统的成像质量，给光电装备带来抗干扰能力差、信噪比高、成像质量低等缺点。

技术实现思路

[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大口径宽角谱滤光片，其特征在于：在大口径基板双面分别制备长波通滤光薄膜和短波通滤光薄膜。2.根据权利要求1所述的大口径宽角谱滤光片，其特征在于：所述长波通滤光薄膜的基本膜系结构为：Sub|(0.5H 1L 0.5H)
m
|Air (6≤m≤30)；其中Sub代表大口径基板，H代表高折射率薄膜材料，L代表低折射率薄膜材料，Air为空气，m为膜系层数，0.5和1为1/4波长光学厚度倍数。3.根据权利要求1所述的大口径宽角谱滤光片，其特征在于：所述短波通滤光薄膜的基本膜系结构为：Sub|(0.5L 1H 0.5L)
n
|Air (6≤n≤30)；其中Sub代表大口径基板，H代表高折射率薄膜材料，L代表低折射率薄膜材料，Air为空气，n为膜系层数，0.5和1为1/4波长光学厚度倍数。4.根据权利要求1所述的大口径宽角谱滤光片，其特征在于：所述长波通滤光薄膜和所述短波通滤光薄膜的应力相同。5.一种权利要求1
‑
4任一项所述的大口径宽角谱滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：选定高折射率材料和低折射率材料；设定所述宽角谱下的目标波段；获得由所述高折射率材料形成的第一单层膜的第一光学常数和第一物理厚度；获得由所述低折射率材料形成的第二单层膜的第二光学常数和第二物理厚度；计算得出所述第一单层膜和所述第二单层膜的第一应力；构建短波通滤光薄膜的第一基本膜系结构；Sub|(0.5L 1H 0.5L)
n
|Air (6≤n≤30)其中Sub代表大口径基板，H代表高折射率薄膜材料，L代表低折射率薄膜材料，Air为空气，n为膜系层数，0.5和1为1/4波长光学厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：白金林，刘华松，姜玉刚，徐颖，王利栓，李子杨，
申请(专利权)人：天津津航技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：