药液混合装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种药液混合装置，输送单元通过输送管路与汇合单元连通，流量调节单元包括流量监测单元和第一流量调节子单元，流量监测单元和第一流量调节子单元均设置于输送管路上，输送单元用于吸取待混合药液，并将待混合药液输送到输送管路，流量监测单元用于监测输送管路内待混合药液的流量，第一流量调节子单元用于调节输送管路内待混合药液的流量，汇合单元用于汇合所有输送管路内的药液，能够在使用时将药液的实时混合，便于更改药液的配比，从而减少药液的浪费，输送管路内的待混合药液一定时间内进入汇合单元的量较少，能够快速的完成药液的混合，极大的减少了所需要耗费的时间。的时间。的时间。

【技术实现步骤摘要】
药液混合装置


[0001]本专利技术涉及药液混合
，尤其涉及一种药液混合装置。

技术介绍

[0002]半导体、LED、光伏产业需要使用到很多的化学药液，这些药液大多是强酸、强碱或强腐蚀性的化学药液，药液在使用时需要按照一定比例混合好后喷送到晶圆表面，进行晶圆加工。
[0003]目前均为混合后供液，即将药液在使用前提按照配比要求定量加入到混合槽内，然后通过循环系统循环液体或搅拌系统搅拌液体等实现药液的均匀混合，然后进行使用。但这种方式混合药液的时间较长，并且药液提前混合好，无法更改比例，容易造成药液的浪费。
[0004]因此，有必要提供一种新型的药液混合装置以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种药液混合装置，无需提前将药液混合，能够在使用时将药液的实时混合，便于更改药液的配比，从而减少药液的浪费，并提高药液混合的效率，减少所耗费的时间。
[0006]为实现上述目的，本专利技术的所述药液混合装置，包括至少两个输送单元、至少两个流量调节单元、至少两条输送管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液混合装置，其特征在于，包括至少两个输送单元、至少两个流量调节单元、至少两条输送管路和汇合单元，所述输送单元和所述第一流量调节单元均与所述输送管路一一对应设置，所述输送单元通过所述输送管路与所述汇合单元连通，所述流量调节单元包括流量监测单元和第一流量调节子单元，所述流量监测单元和所述第一流量调节子单元均设置于所述输送管路上，所述输送单元用于吸取待混合药液，并将所述待混合药液输送到所述输送管路，所述流量监测单元用于监测所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述第一流量调节子单元用于调节所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述汇合单元用于汇合所有所述输送管路内的药液。2.根据权利要求1所述的药液混合装置，其特征在于，还包括至少一个分流单元，所述分流单元与所述输送管路一一对应连接，用于将所述输送管路内的待混合药液分流。3.根据权利要求2所述的药液混合装置，其特征在于，所述分流单元包括分流管路和第二流量调节子单元，所述分流管路与位于所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路连通，所述第二流量调节子单元设置于所述分流管路上，用于在所述第一流量调节子单元关闭时开通，以实现所述分流管路内待混合药液的回流。4.根据权利要求3所述的药液混合装置，其特征在于，所述分流单元还包括压力检测单元，所述压力检测单元设置于所述所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路上，用于检测所述所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路内的压力。5.根据权利要求1所述的药...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭博，王荣祥，
申请(专利权)人：上海芯源微企业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：