一种光刻胶树脂及其制备方法技术

本发明专利技术适用于光刻胶技术领域，提供了一种光刻胶树脂及其制备方法。该方法包括：将光刻胶树脂单体、引发剂置于溶剂中溶解，得到单体溶液；将单体溶液置于氮气环境下并在搅拌状态下对单体溶液进行高温加热，直至单体溶液的温度高于100℃；通入氧气以促进所述光刻胶树脂单体进行聚合反应，得到反应液；冷却所述反应液并进行沉淀、分离、干燥处理，得到光刻胶树脂。本发明专利技术在制备光刻胶树脂的过程中，在高温条件下通入氧气并与光刻胶树脂单体形成过氧键，从而在高温下断裂形成新的自由基，进一步的加快光刻胶树脂单体的聚合速度，缩短聚合的时间，同时提高了光刻胶树脂的产率。同时提高了光刻胶树脂的产率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶树脂及其制备方法


[0001]本专利技术属于光刻胶
，尤其涉及一种光刻胶树脂及其制备方法。

技术介绍

[0002]光刻胶是指经过不同波长的曝光光源进行曝光后，在曝光区域能够发生交联或光解，使其在显影液中的物理性能，特别是溶解性或亲疏水性发生变化的混合液体。光刻胶主要处于集成电路产业链的上游，通过蚀刻或离子注入等工艺进行微米级或纳米级图形的加工。光刻胶主要有成膜树脂、感光剂、添加剂和溶剂等组成，其中，成膜树脂直接决定光刻胶的综合性能，是光刻胶的骨架组分。
[0003]现有技术的光刻胶树脂单体在聚合成成膜树脂的过程中，通常是加入引发剂并控制聚合反应条件来完成光刻胶树脂单体的聚合反应以得到成膜树脂，但是通过该方法制备得到的成膜树脂的产率较低，聚合反应时间较长，极大地增加了生产成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种光刻胶树脂及其制备方法，旨在解决现有技术中光刻胶树脂的产率较低、聚合反应时间较长的技术问题。
[0005]本专利技术实施例是这样实现的，一种光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将光刻胶树脂单体、引发剂置于溶剂中溶解，得到单体溶液；S2、将单体溶液置于氮气环境下并在搅拌状态下对单体溶液进行高温加热，直至单体溶液的温度高于100℃；S3、通入氧气以促进所述光刻胶树脂单体进行聚合反应，得到反应液；S4、冷却所述反应液并进行沉淀、分离、干燥处理，得到光刻胶树脂。2.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述光刻胶树脂单体为甲基丙烯酸类单体。3.根据权利要求2所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述光刻胶树脂单体为甲基丙烯酸甲酯单体、甲基丙烯酸丁内酯单体、2
‑
甲基
‑2‑
金刚烷基甲基丙烯酸酯单体中的一种或多种。4.根据权利要求3所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述光刻胶树脂单体由基丙烯酸甲酯单体、甲基丙烯酸丁内酯单体、2
‑
甲基
‑2‑
金刚烷基甲基丙烯酸酯单体以质量比(1
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鹏，马潇，顾大公，毛智彪，许从应，
申请(专利权)人：宁波南大光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：