电子部件处理装置以及电子部件试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于，提供一种能够针对用户的要求以低成本使规格最佳化的电子部件处理装置。对DUT(200)进行操作的电子部件处理装置(10)具备：多个接触单元(60A～60D)，在将DUT搭载于测试托盘(110)的状态下，向设置于与测试器(7)连接的测试头(5A～5D)的插座(6)分别按压DUT；多个移载单元(20A、20B)，分别具有将DUT搭载于测试托盘或者从测试托盘取出DUT的DUT移载部(40A、40B)；以及托盘输送单元(50)，在接触单元与移载单元之间输送测试托盘，电子部件处理装置构成为能够增设或减设接触单元和移载单元中的至少一者。载单元中的至少一者。载单元中的至少一者。

【技术实现步骤摘要】
电子部件处理装置以及电子部件试验装置


[0001]本专利技术涉及用于半导体集成电路元件等被试验电子部件(DUT：Device Under Test)的试验的电子部件处理装置以及电子部件试验装置。

技术介绍

[0002]用于DUT的试验的电子部件处理装置具备装载部、腔室部和卸载部(例如参照专利文献1)。装载部将未试验的DUT从用户托盘移载到测试托盘，并将该测试托盘送入腔室部。腔室部通过对DUT施加给定的热应力并且将DUT按压于安装于测试头的插座，从而在保持着搭载于测试托盘的状态下对DUT进行试验。卸载部在根据试验结果将试验已完成的DUT进行分类的同时，将该DUT从测试托盘移载到用户托盘。在先技术文献专利文献
[0003]专利文献1：JP特开2014
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006097号公报

技术实现思路

(专利技术要解决的课题)
[0004]上述的电子部件处理装置具有广泛地满足市场上的众多需求的规格。此外，由于上述的电子部件处理装置由单个框架构成，因此为了变更规格，有时需要进行大幅改造。因此，存在如下这样的问题，即：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子部件处理装置，是对被试验电子部件DUT进行操作的电子部件处理装置，具备：多个接触单元，在将所述DUT搭载于第一托盘的状态下，向设置于与测试器连接的测试头的插座分别按压所述DUT；多个移载单元，分别具有DUT移载部，所述DUT移载部将所述DUT搭载于所述第一托盘，或者从所述第一托盘取出所述DUT；以及托盘输送单元，在所述接触单元与所述移载单元之间输送所述第一托盘，所述电子部件处理装置构成为能够增设或者减设所述接触单元和所述移载单元中的至少一者。2.根据权利要求1所述的电子部件处理装置，其中，所述DUT移载部配置于所述托盘输送单元的上方。3.根据权利要求1所述的电子部件处理装置，其中，所述多个接触单元沿着与水平方向实质上平行的第一方向排列，所述多个移载单元也沿着所述第一方向排列，所述托盘输送单元将所述第一托盘沿着第一方向进行输送。4.根据权利要求1所述的电子部件处理装置，其中，所述DUT移载部具备第一托盘移动装置，所述第一托盘移动装置将所述第一托盘以垂直状态交接到所述托盘输送单元。5.根据权利要求4所述的电子部件处理装置，其中，所述第一托盘移动装置使所述第一托盘沿着所述第一托盘的长边方向进行移动。6.根据权利要求4所述的电子部件处理装置，其中，所述托盘输送单元具备托盘保持装置，所述托盘保持装置能够将所述第一托盘以垂直状态进行保持。7.根据权利要求1所述的电子部件处理装置，其中，所述DUT移载部具备姿势变换装置，所述姿势变换装置使所述第一托盘的姿势在水平状态与垂直状态之间进行变换。8.根据权利要求7所述的电子部件处理装置，其中，所述姿势变换装置通过在水平方向上维持所述第一托盘的第一边的位置的状态下，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀野浩光，竹内佳贵，新井良知，菊池裕之，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：