一种承载装置、用于FIB-SIMS互联实验的设备及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种承载装置，承载装置包括：基座，包括底槽板和侧槽板，底槽板和侧槽板相连并围成一容置槽；承载板，设置于侧槽板上，以能够封闭容置槽的开口，承载板包括相对的连接端部和自由端部，连接端部铰接到侧槽板上；调节件，其部分由基座之外穿过侧槽板而置于容置槽之内，以调节自由端部，从而使自由端部相对于开口移动。本发明专利技术还公开了利用上述的承载装置的用于FIB

【技术实现步骤摘要】
一种承载装置、用于FIB-SIMS互联实验的设备及方法


[0001]本专利技术涉及真空实验
，尤其涉及一种承载装置、用于FIB-SIMS互联实验的设备及方法。

技术介绍

[0002]人造真空环境可以实现局域的超洁净环境，针对特定材料的生长和制备或者对特定实验的实验环境具有重要意义。就如半导体晶圆的生长、半导体器件的制备和测试以及显微镜检测等都是在人造真空环境下进行的。
[0003]为了方便人造真空环境下连续进行的研究材料的生长、器件制作和性能测试等实验，目前常用的方式是真空互联系统，该系统是在不同用途的真空腔之间设置真空管道，以此使不同真空腔之间相互连通，并在该真空管道种布置通过磁力推动的样品传送装置来实现不同真空腔之间的样品传递。
[0004]例如，FIB(聚焦离子束：Focused Ion beam)-SIMS(二次离子质谱：Secondary Ion Mass Spectrometry)互联实验是采用上述真空互联系统来进行的。其中，在FIB测试腔中进行利用FIB进行切割样品，样品切割结束后将传送至SIMS测试腔中进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置包括：基座，包括底槽板和侧槽板，所述底槽板和所述侧槽板相连并围成一容置槽；承载板，设置于所述侧槽板上，以能够封闭所述容置槽的开口，所述承载板包括相对的连接端部和自由端部，所述连接端部铰接到所述侧槽板上；调节件，其部分由所述基座之外穿过所述侧槽板而置于所述容置槽之内，以调节所述自由端部，从而使所述自由端部相对于所述开口移动。2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述侧槽板包括第一槽侧板、第二槽侧板和第三槽侧板；所述第一槽侧板和所述第二槽侧板彼此面对设置，所述第三槽侧板连接在所述第一槽侧板和所述第二槽侧板之间，并且所述第三槽侧板位于所述第一槽侧板的第一侧端和所述第二槽侧板的第一侧端，所述第一槽侧板的第一侧端和所述第二槽侧板的第一侧端位于同一侧，所述第一槽侧板的与其第一侧端相对的第二侧端和所述第二槽侧板的与其第一侧端相对的第二侧端位于同一侧；其中，所述第三槽侧板上设置有第一通孔，所述调节件的部分由所述基座之外穿过所述第一通孔而置于所述容置槽之内；其中，所述承载板的连接端部铰接于所述第一槽侧板的第二侧端和所述第二槽侧板的第二侧端。3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第一槽侧板的第二侧端和所述第二槽侧板的第二侧端上分别设置有连接孔，所述承载板的连接端部中具有贯穿孔；所述承载装置还包括铰接轴，所述铰接轴穿设于所述连接孔和所述贯穿孔，以使所述承载板的连接端部铰接于所述第一槽侧板的第二侧端和所述第二槽侧板的第二侧端。4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述调节件包括：直杆、调节杆、旋转帽；所述调节杆的一轴向端连接到所述直杆的一轴向端，所述调节杆的轴向相交于所述直杆的轴向，所述旋转帽连接到所述直杆的另一轴向端；其中，在所述调节杆置于所述容置槽之内的情况下，所述旋转帽置于所述基座之外。5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述直杆和所述调节杆一体形成，和/或所述直杆和所述旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮芳，刘通，陈志敏，丁孙安，黄荣，陆晓鸣，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
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