一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置制造方法及图纸

技术编号:31970123 阅读:13 留言:0更新日期:2022-01-20 00:38
本实用新型专利技术公开了一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,包括:坩埚底座,其一侧设置有阻挡面板,且阻挡面板的正上方设置有旋转力臂,阻挡面板与旋转力臂构成遮挡结构,对坩埚底座一侧的拉伸部位进行防护处理,且坩埚底座的一侧设置有内加热罐,且内加热罐的顶部设置有外加热罐;旋转力臂,其正上方轴承连接有a托举面板,且a托举面板的顶部贯穿连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端连接有a托举面板;a托举面板。该具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置;采用棘轮盘及棘爪,利用棘轮盘带动a托举面板进行啮合限位,避免b托举面板在移动过程中,转动幅度过大,会导致周边人员发生烫伤的情况。致周边人员发生烫伤的情况。致周边人员发生烫伤的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置


[0001]本技术涉及拉晶冷却
,具体为一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置。

技术介绍

[0002]一个单晶的晶种放入溶解的同材质液体中,再以旋转的方式缓缓向上拉起。在晶种被拉起时,溶质将会沿着固体和液体的接口固化,在加工的过程中,需要先融化加工再进行拉丝处理,例如CN201821781547.X一种半导体晶棒熔炼拉晶装置,一种半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括熔炼机、拉晶机和冷却装置,冷却装置分别与熔炼机、拉晶机连接,熔炼机包括熔炼炉和熔炼机主体,熔炼炉底部通过支撑杆与熔炼机主体转动连接,支撑杆与熔炼机主体固定连接,升降丝杆上固定连接有升降板,升降板上与拉晶管相对应的位置放置有拉晶炉。本技术具有易于操作、高效快捷等优点。
[0003]在装置拉晶的过程中,装置本身缺乏局部防护结构,导致操作人员操作装置,装置对材料进行拉晶的过程中,材料容易烫伤操作人员,装置在实际操作过程中,单一的夹持结构,会因为拉晶高温导致夹持装置容易发生短路或者损坏情况,影响到装置在拉晶过程中,不同类型的夹持及冷却结构运行的稳定性和安全性
[0004]针对上述问题,急需在原有冷却结构的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,以解决上述
技术介绍
中提出在装置拉晶的过程中,装置本身缺乏局部防护结构,导致操作人员操作装置,单一的夹持结构,会因为拉晶高温导致夹持装置容易发生短路或者损坏情况的问题。/>[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,其特征在于,包括:
[0007]坩埚底座,其一侧设置有阻挡面板,且阻挡面板的正上方设置有旋转力臂,阻挡面板与旋转力臂构成遮挡结构,对坩埚底座一侧的拉伸部位进行防护处理,且坩埚底座的一侧设置有内加热罐,且内加热罐的顶部设置有外加热罐;
[0008]旋转力臂,其正上方轴承连接有a托举面板,且a托举面板的顶部贯穿连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端连接有b托举面板;
[0009]b托举面板:其正下方开设有矩形滑槽,且矩形滑槽的正下方嵌套连接有电磁铁座,所述电磁铁座的外侧轴连接有夹持力臂,所述电磁铁座、a托举面板及夹持力臂构成滑动抓持结构,根据拉晶体的尺寸对夹持力臂距离进行调节,同时利用电磁铁座对夹持力臂底部进行吸附锁定。
[0010]优选的,所述阻挡面板的内部设置有支撑力臂和驱动电机,
[0011]支撑力臂,其外侧螺纹连接有滚珠丝杠,且支撑力臂的外侧螺栓固定有阻挡面板;
[0012]驱动电机,其输出端连接有旋转轴,且旋转轴的输出端连接有棘爪,所述棘爪的外侧啮合连接有棘轮盘,利用滚珠丝杠对支撑力臂的外侧进行螺纹连接同时,利用棘爪转动对棘轮盘的外侧进行啮合,提升装置在转动同时对保护的高度进行调节。
[0013]优选的,所述支撑力臂与b托举面板通过棘轮盘和棘爪构成转动结构,且棘轮盘和棘爪相互贴合,利用棘爪对棘轮盘的内部进行啮合拨动,根据加工的需求,对b托举面板旋转角度进行啮合调试。
[0014]优选的,所述支撑力臂与阻挡面板通过滚珠丝杠和驱动电机构成升降结构,且支撑力臂与阻挡面板为螺栓固定,并且阻挡面板的纵截面为半弧形结构,利用阻挡面板对晶体拉伸的部位进行遮挡,利用支撑力臂对阻挡面板进行固定调试。
[0015]优选的,所述内加热罐与夹持力臂为相互平行,且夹持力臂呈矩形分布在b托举面板底部,并且b托举面板的顶部为网孔状结构,利用夹持力臂对内加热罐内部的器具进行抓取及限位,避免器具在抓持及移动过程中发生偏移,利用b托举面板对加热后晶体进行密封处理。
[0016]优选的,所述矩形滑槽与夹持力臂通过电磁铁座连接,且夹持力臂之间的距离小于坩埚底座的直径,利用夹持力臂对盛放器具两侧进行限位,并将器具放置在坩埚底座的表面,完成对加热后的晶体冷却及拉晶处理。
[0017]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置;
[0018]1.采用棘轮盘及棘爪,利用棘轮盘带动a托举面板进行啮合限位,避免a托举面板在移动过程中,转动幅度过大,会导致周边人员发生烫伤的情况,并通过棘爪对棘轮盘的外侧进行啮合移动,对棘轮盘的转动角度和范围进行控制,便于对自身的角度进行切换,提升对装置及原材料进行夹持及拉伸运动;
[0019]2.采用滚珠丝杠及矩形滑槽,利用滚珠丝杠带动支撑力臂进行垂直升降,一方面根据支撑力臂与阻挡面板的连接的需求,对支撑力臂的定位范围进行控制,一方面根据拉晶的高度及范围对阻挡面板的高度进行调节,方便对操作人员的一侧进行保护,利用矩形滑槽对电磁铁座的顶部进行限位,利用电磁铁座对产生的磁力进行传导,便于对盛放材料的器材的两侧进行吸附吊装,避免汽车在冷却及拉伸过程中发生偏移的情况。
附图说明
[0020]图1为本技术正视结构示意图;
[0021]图2为本技术阻挡面板正剖结构示意图;
[0022]图3为本技术棘轮盘仰视结构示意图;
[0023]图4为本技术a托举面板仰视结构示意图;
[0024]图5为本技术坩埚底座俯视结构示意图。
[0025]图中:1、坩埚底座;2、阻挡面板;201、支撑力臂;202、滚珠丝杠;203、驱动电机;204、旋转轴;205、棘轮盘;206、棘爪;3、旋转力臂;4、a托举面板;5、电动伸缩杆;6、b托举面板;7、内加热罐;8、外加热罐;9、夹持力臂;10、矩形滑槽;11、电磁铁座。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1

5,本技术提供一种技术方案:一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,包括坩埚底座1,其一侧设置有阻挡面板2,且阻挡面板2的正上方设置有旋转力臂3,阻挡面板2与旋转力臂3构成遮挡结构,对坩埚底座1一侧的拉伸部位进行防护处理,且坩埚底座1的一侧设置有内加热罐7,且内加热罐7的顶部设置有外加热罐8;
[0028]旋转力臂3,其正上方轴承连接有a托举面板4,且a托举面板4的顶部贯穿连接有电动伸缩杆5,电动伸缩杆5的输出端连接有b托举面板6;
[0029]b托举面板6:其正下方开设有矩形滑槽10,且矩形滑槽10的正下方嵌套连接有电磁铁座11,电磁铁座11的外侧轴连接有夹持力臂9,电磁铁座11、b托举面板6及夹持力臂9构成滑动抓持结构,根据拉晶体的尺寸对夹持力臂9距离进行调节,同时利用电磁铁座11对夹持力臂9底部进行吸附锁定。
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,其特征在于,包括:坩埚底座,其一侧设置有阻挡面板,且阻挡面板的正上方设置有旋转力臂,阻挡面板与旋转力臂构成遮挡结构,对坩埚底座一侧的拉伸部位进行防护处理,且坩埚底座的一侧设置有内加热罐,且内加热罐的顶部设置有外加热罐;旋转力臂,其正上方轴承连接有a托举面板,且a托举面板的顶部贯穿连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端连接有b托举面板;b托举面板:其正下方开设有矩形滑槽,且矩形滑槽的正下方嵌套连接有电磁铁座,所述电磁铁座的外侧轴连接有夹持力臂,所述电磁铁座、b托举面板及夹持力臂构成滑动抓持结构,根据拉晶体的尺寸对夹持力臂距离进行调节,同时利用电磁铁座对夹持力臂底部进行吸附锁定。2.根据权利要求1所述的一种具有局部防护结构的大尺寸拉晶冷却过渡装置,其特征在于:所述阻挡面板的内部设置有支撑力臂和驱动电机,支撑力臂,其外侧螺纹连接有滚珠丝杠,且支撑力臂的外侧螺栓固定有阻挡...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊唐碧见黄怀玉刘雅旭
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司
类型:新型
国别省市:

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