本实用新型专利技术涉及一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶、设置在钢瓶上的入口管道、设置在钢瓶上的出口管道、设置在入口管道上的入口手阀以及设置在出口管道上的出口手阀，所述入口手阀上设有用于检测所述入口手阀启闭的第一传感装置，所述出口手阀上设有用于检测所述出口手阀启闭的第二传感装置，第一传感装置和第二传感装置均连接有传感信号显示机构。本实用新型专利技术通过第一传感装置可以检测出口手阀的启闭状态，通过第二传感装置可以检测入口手阀的启闭状态，并将相应的检测状态通过传感信号显示机构显示出来，提示手阀的状态，避免忘记关手阀而造成经济损失和产生安全事故，本实用新型专利技术具有结构简易的优点。点。点。
【技术实现步骤摘要】
一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置
[0001]本技术涉及一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置。
技术介绍
[0002]氮化镓、砷化镓、磷化铟等半导体，在光电子等领域有广阔的应用前景。业内对于氮化镓、砷化镓、磷化铟等半导体材料的外延生长主要采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)，在利用这一方法进行氮化镓、砷化镓、磷化铟等半导体材料的外延生长时，所使用的主要生产原料为金属有机物源(MO源)，这些MO源通过高纯氮或高纯氢等载气携带进入反应室进而参与化学反应。
[0003]传统的用于MOCVD MO源钢瓶手阀装置包括入口管道、入口手阀、出口管道、出口手阀、钢瓶本体等，MO源物质主要储存在钢瓶本体里面，在外延生长工艺过程中，通过载气(H2)从入口管路进入钢瓶本体，在钢瓶本体里面通过鼓泡的方式带动钢瓶本体内部饱和蒸气压，从而使MO源从出口管路流入反应腔。MO源分为液态和固态两种，其特性遇水和空气易燃易爆。在正常状态下MO源钢瓶入口和出口手阀都处于打开状态。MO源在使用过程中需要进行周期性更换，在更换MO源时容易忘记关闭MO源钢瓶手阀导致剩余MO源被氮气置换掉，造成一定的经济损失，且有易燃易爆风险(实际案例也有出现过)，在换完MO源时也会出现MO源手阀忘记打开的现象，导致在工艺生产过程中MO源无法流入反应腔，严重影响氮化镓、砷化镓、磷化铟等半导体外延生长的效率和安全。
[0004]鉴于此，本案专利技术人对上述问题进行深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种结构简易、使用安全的用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置。
[0006]为了达到上述目的，本技术采用这样的技术方案：
[0007]一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶、设置在钢瓶上的入口管道、设置在钢瓶上的出口管道、设置在入口管道上的入口手阀以及设置在出口管道上的出口手阀，所述入口手阀上设有用于检测所述入口手阀启闭的第一传感装置，所述出口手阀上设有用于检测所述出口手阀启闭的第二传感装置，第一传感装置和第二传感装置均连接有传感信号显示机构。
[0008]作为本技术的一种优选方式，所述入口手阀包括设置在所述入口管道中的第一阀体和设置在第一阀体上用于控制第一阀体启闭的第一旋转阀杆，所述出口手阀包括设置在所述出口管道中的第二阀体和设置在第二阀体上用于控制第二阀体启闭的第二旋转阀杆，所述第一传感装置设置在第一旋转阀杆上，所述第二传感装置设置在第二旋转阀杆上。
[0009]作为本技术的一种优选方式，所述第一旋转阀杆上设有第一手阀，所述第一传感装置设置在第一手阀上，所述第二旋转阀杆上设有第二手阀，所述第二传感装置设置
在第二手阀上。
[0010]作为本技术的一种优选方式，所述第一传感装置和所述第二传感装置均为距离传感器。
[0011]作为本技术的一种优选方式，所述距离传感器为激光传感器。
[0012]作为本技术的一种优选方式，所述入口管道和所述出口管道均为硬质管材。
[0013]作为本技术的一种优选方式，所述入口管道上套设有第一活动螺母，所述入口管道的入口端设置有用于限制第一活动螺母滑出的第一限位凸缘，第一活动螺母沿轴向的一端设有与第一限位凸缘对应的第一限位部，还包括气体输入管道，气体输入管道上设有与第一活动螺母对应的第一螺纹部，气体输入管道与入口管道之间设有第一密封垫片。
[0014]作为本技术的一种优选方式，所述出口管道上套设有第二活动螺母，所述出口管道的出口端设置有用于限制第二活动螺母滑出的第二限位凸缘，第二活动螺母沿轴向的一端设有与第二限位凸缘对应的第二限位部，还包括气体输出管道，气体输出管道上设有与第二活动螺母对应的第二螺纹部，气体输出管道与出口管道之间设有第二密封垫片。
[0015]作为本技术的一种优选方式，所述传感信号显示机构为蜂鸣器或者报警灯。
[0016]采用本技术的技术方案后，通过第一传感装置可以检测出口手阀的启闭状态，通过第二传感装置可以检测入口手阀的启闭状态，并将相应的检测状态通过传感信号显示机构显示出来，提示手阀的状态，避免忘记关手阀而造成经济损失和产生安全事故，本技术具有结构简易的优点。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图。
[0018]图2为本技术中气体输入管道与入口管道的连接示意图。
[0019]图3为本技术中气体输出管道与出口管道的连接示意图。
[0020]图中：
[0021]入口管道10
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第一限位凸缘11
[0022]出口管道20
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第二限位凸缘21
[0023]钢瓶30
[0024]入口手阀40
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第一阀体41
[0025]第一旋转阀杆42
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第一手阀43
[0026]出口手阀50
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第二阀体51
[0027]第二旋转阀杆52
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第二手阀53
[0028]第一传感装置61
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第二传感装置62
[0029]第一活动螺母70
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第一限位部71
[0030]第一密封垫片72
[0031]第二活动螺母80
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第二限位部81
[0032]第二密封垫片82
[0033]气体输入管道91
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气体输出管道92
[0034]第一螺纹部93
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第二螺纹部94
[0035]PLC控制器100
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蜂鸣器101
[0036]报警灯102
具体实施方式
[0037]为了进一步解释本技术的技术方案，下面结合实施例进行详细阐述。
[0038]参照图1至图3，一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶30、设置在钢瓶30上的入口管道10、设置在钢瓶30上的出口管道20、设置在入口管道10上的入口手阀40以及设置在出口管道20上的出口手阀50，入口管道10的出口端低于出口管道20的出口端，所述入口手阀40上设有用于检测所述入口手阀40启闭的第一传感装置61，在入口手阀40关闭或者开启时，第一传感装置61均能获得信号，所述出口手阀50 上设有用于检测所述出口手阀50启闭的第二传感装置62，在出口手阀50 关闭或者开启时，第二传本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶、设置在钢瓶上的入口管道、设置在钢瓶上的出口管道、设置在入口管道上的入口手阀以及设置在出口管道上的出口手阀，其特征在于：所述入口手阀上设有用于检测所述入口手阀启闭的第一传感装置，所述出口手阀上设有用于检测所述出口手阀启闭的第二传感装置，第一传感装置和第二传感装置均连接有传感信号显示机构。2.如权利要求1所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述入口手阀包括设置在所述入口管道中的第一阀体和设置在第一阀体上用于控制第一阀体启闭的第一旋转阀杆，所述出口手阀包括设置在所述出口管道中的第二阀体和设置在第二阀体上用于控制第二阀体启闭的第二旋转阀杆，所述第一传感装置设置在第一旋转阀杆上，所述第二传感装置设置在第二旋转阀杆上。3.如权利要求2所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述第一旋转阀杆上设有第一手阀，所述第一传感装置设置在第一手阀上，所述第二旋转阀杆上设有第二手阀，所述第二传感装置设置在第二手阀上。4.如权利要求3所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述第一传感装置和所述第二传感装置均为距离传感器。5.如权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁小林，
申请(专利权)人：福建慧芯激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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