一种芯片移载驱动器制造技术

技术编号:31914308 阅读:26 留言:0更新日期:2022-01-15 12:55
本发明专利技术提供了一种芯片移载驱动器,包括:主固定吸盘,具有摆动块及用于固定芯片的吸盘片;主旋转柱,与主固定吸盘同轴设置,包括用于驱动主旋转柱转动的主旋转电机;摆动驱动机构,连接于主旋转柱的外壁与摆动块的外壁之间,用以为摆动块提供推动力;其中,摆动驱动机构包括至少两组环形阵列布置于主旋转柱外壁的分驱动组件,分驱动组件包括主推动臂和与主推动臂固定连接的辅助推动臂,主推动臂通过万向连接机构连接于摆动块的侧壁。本发明专利技术的芯片移载驱动器,设置摆动驱动机构带动主固定吸盘相对于芯片移载驱动器的纵轴进行偏移,最大偏移角大于45

【技术实现步骤摘要】
一种芯片移载驱动器


[0001]本专利技术涉及芯片分选
,更具体涉及一种芯片移载驱动器。

技术介绍

[0002]随着通讯行业的发展,芯片的应用较为广泛。芯片需要经过层层测试筛选分类才能进行应用或出售于市场,因此,芯片测试分选成为芯片制造最后出货前的关键技术。芯片分选的好坏直接关系到芯片流入市场的品质,因此在芯片分选上料时一定要快速精准定位芯片。
[0003]芯片分选机构,一般包括具有旋转功能驱动结构及用于承载芯片的承载结构,驱动结构通过旋转将承载结构调整到合适的位置,来拾取目标位置的芯片。拾取完芯片后,通常采用真空吸附的方式直接将芯片吸附固定在定位块上。
[0004]现有的芯片分选机构,其只具备旋转自由度,运动自由度受到了限制,使得芯片分选机构的定位效率较低。
[0005]有鉴于此,有必要对现有技术中的芯片分选机构予以改进,以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于公开一种芯片移载驱动器,解决了现有的芯片分选机构的运动自由度受到限制的问题。
[0007]为实现上述目的,本专利技术提供了一种芯片移载驱动器,包括:
[0008]主固定吸盘,具有摆动块,摆动块上设置用于固定芯片的吸盘片,摆动块内设置为吸盘片提供负压的管路;
[0009]主旋转柱,与主固定吸盘同轴设置,包括用于驱动主旋转柱转动的主旋转电机;
[0010]摆动驱动机构,连接于主旋转柱的外壁与摆动块的外壁之间,用以为摆动块提供推动力;
[0011]其中,摆动驱动机构包括至少两组环形阵列布置于主旋转柱外壁的分驱动组件,分驱动组件包括主推动臂和与主推动臂固定连接的辅助推动臂,主推动臂通过万向连接机构连接于摆动块的侧壁,
[0012]辅助推动臂沿锁定旋转方向带动主推动臂转动,以调节主推动臂的轴线与芯片移载驱动器的纵轴的夹角大小;主推动臂沿主推动臂的轴线伸缩以推动或拉动万向连接机构,带动主固定吸盘相对于芯片移载驱动器的纵轴偏移。
[0013]作为本专利技术的进一步改进,所述分驱动组件还包括与所述辅助推动臂铰接的第一辅助伸缩机构,所述辅助推动臂的一端于第一铰接点与主旋转柱的侧壁铰接,所述第一辅助伸缩机构推动辅助推动臂的另一端沿锁定旋转方向围绕第一铰接点转动,所述主推动臂与所述辅助推动臂固定连接且沿锁定旋转方向同步转动。
[0014]作为本专利技术的进一步改进,所述主推动臂具有固定部及与固定部同轴连接的主伸缩部,所述固定部与所述辅助推动臂固定连接且沿锁定旋转方向同步转动,所述主伸缩部
的自由端与所述万向连接机构连接。
[0015]作为本专利技术的进一步改进,所述分驱动组件还包括连接臂,所述连接臂的一端与主伸缩部的自由端固定连接,所述连接臂的另一端铰接于万向连接机构,用以提升主推动臂的轴线与万向连接机构的转动轴线之间的间距。
[0016]作为本专利技术的进一步改进,所述第一辅助伸缩机构具有主体部及与主体部同轴连接的辅助伸缩部,主体部的一端连接于主旋转柱的侧壁,辅助伸缩部的自由端铰接于所述辅助推动臂的另一端,
[0017]辅助伸缩部沿第一辅助伸缩机构的轴线进行伸缩,推动辅助推动臂的另一端沿锁定旋转方向围绕第一铰接点转动。
[0018]作为本专利技术的进一步改进,所述芯片移载驱动器还包括连接于主固定吸盘下方的辅助支撑机构,所述辅助支撑机构包括主支撑块,主支撑块的外围环形阵列布置的若干支撑板,在主支撑块的上方设置的若干夹块,夹持于夹块内的万向球连接件,及设置于各支撑板且与夹块连接的第三辅助伸缩机构,所述第三辅助伸缩机构通过控制所述夹块的张合角度,调整对所述万向球连接件的夹持力。
[0019]作为本专利技术的进一步改进,所述夹块形成球形的夹持腔,所述万向球连接件包括连接杆及连接于连接杆的一端的定位球块,连接杆的另一端连接于主固定吸盘的下方,定位球块夹持于所述夹持腔内。
[0020]作为本专利技术的进一步改进,所述芯片移载驱动器还包括设置于主旋转柱内且连接于所述辅助支撑机构下方的第二辅助伸缩机构,用以为辅助支撑机构相对于主旋转柱作伸缩运动提供驱动力。
[0021]作为本专利技术的进一步改进,所述主旋转柱内还设置供所述辅助支撑机构嵌入的收纳槽,所述第二辅助伸缩机构设置于所述收纳槽内,第二辅助伸缩机构沿所述芯片移载驱动器的纵轴进行伸缩,以将辅助支撑机构推送至所述主旋转柱的外部或收容于所述主旋转柱的内部。
[0022]作为本专利技术的进一步改进,所述芯片移载驱动器还包括设置于所述主旋转柱下方的固定座,所述主旋转电机同轴设置于所述主旋转柱的内部,所述主旋转电机的电机轴延伸出所述主旋转柱且固定于固定座,所述主旋转电机绕芯片移载驱动器的纵轴旋转带动所述主旋转柱旋转。
[0023]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0024]本专利技术提供的一种芯片移载驱动器,在设置主固定吸盘实现对芯片的吸附,设置主旋转柱实现主固定吸盘定轴旋转的功能之外,还设置了摆动驱动机构,其中,摆动驱动机构通过辅助推动臂、主推动臂及万向连接机构的协同作用,带动主固定吸盘相对于芯片移载驱动器的纵轴进行偏移,最大偏移角大于45
°
以上,以此提升了主固定吸盘带动芯片运动的自由度,从而提高芯片移载驱动器的定位效率。
附图说明
[0025]图1为本专利技术提供的一种芯片移载驱动器的结构示意图;
[0026]图2为本专利技术提供的一种主固定吸盘的结构示意图;
[0027]图3为本专利技术提供的一种辅助支撑机构的结构示意图;
[0028]图4为本专利技术提供的芯片移载驱动器的主固定吸盘的偏移示意图。
具体实施方式
[0029]下面结合附图所示的各实施方式对本专利技术进行详细说明,但应当说明的是,这些实施方式并非对本专利技术的限制,本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代,均属于本专利技术的保护范围之内。
[0030]需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”、“正方向”、“负方向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术方案和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术方案的限制。
[0031]结合图1和图4所示,本专利技术提供一种芯片移载驱动器100,包括主固定吸盘1,用于吸附芯片;同轴设置于主固定吸盘1下方的主旋转柱2,用于为主固定吸盘1提供绕芯片移载驱动器100的纵轴a旋转的驱动力;连接于主旋转柱2外壁与主固定吸盘1侧壁之间的摆动驱动机构3,用于为主固定吸盘1提供相对于纵轴a摆动的驱动力;设置于主固定吸盘1下方的辅助支撑机构5,用于为主固定吸盘1提供辅助支撑力;设置于主旋转柱2内且连接于辅助支撑机构5下方的第二辅助伸缩机本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片移载驱动器,其特征在于,包括:主固定吸盘,具有摆动块,摆动块上设置用于固定芯片的吸盘片,摆动块内设置为吸盘片提供负压的管路;主旋转柱,与主固定吸盘同轴设置,包括用于驱动主旋转柱转动的主旋转电机;摆动驱动机构,连接于主旋转柱的外壁与摆动块的外壁之间,用以为摆动块提供推动力;其中,摆动驱动机构包括至少两组环形阵列布置于主旋转柱外壁的分驱动组件,分驱动组件包括主推动臂和与主推动臂固定连接的辅助推动臂,主推动臂通过万向连接机构连接于摆动块的侧壁,辅助推动臂沿锁定旋转方向带动主推动臂转动,以调节主推动臂的轴线与芯片移载驱动器的纵轴的夹角大小;主推动臂沿主推动臂的轴线伸缩以推动或拉动万向连接机构,带动主固定吸盘相对于芯片移载驱动器的纵轴偏移。2.根据权利要求1所述的芯片移载驱动器,其特征在于,所述分驱动组件还包括与所述辅助推动臂铰接的第一辅助伸缩机构,所述辅助推动臂的一端于第一铰接点与主旋转柱的侧壁铰接,所述第一辅助伸缩机构推动辅助推动臂的另一端沿锁定旋转方向围绕第一铰接点转动,所述主推动臂与所述辅助推动臂固定连接且沿锁定旋转方向同步转动。3.根据权利要求2所述的芯片移载驱动器,其特征在于,所述主推动臂具有固定部及与固定部同轴连接的主伸缩部,所述固定部与所述辅助推动臂固定连接且沿锁定旋转方向同步转动,所述主伸缩部的自由端与所述万向连接机构连接。4.根据权利要求3所述的芯片移载驱动器,其特征在于,所述分驱动组件还包括连接臂,所述连接臂的一端与主伸缩部的自由端固定连接,所述连接臂的另一端铰接于万向连接机构,用以提升主推动臂的轴线与万向连接机构的转动轴线之间的间距。5.根据权利要求2所述的芯片移载驱动器,其特征在于,所述第一辅助伸缩机构具有主体部及与主体部同轴连接的辅助伸缩部,主体部的...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴超
申请(专利权)人:恩纳基智能科技无锡有限公司
类型:发明
国别省市:

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