【技术实现步骤摘要】
一种碳碳复合改性材料固化保温筒及其制备方法
[0001]本专利技术涉及半导体
,具体为一种碳碳复合改性材料固化保温筒及其制备方法。
技术介绍
[0002]随着电子信息产业和光伏产业的发展,对单晶硅片的尺寸要求越来越大、性能要求越来越高。为提高晶体硅的质量,降低制造成本,直拉单晶炉迅速朝大型化、自动化方向发展,这对单晶炉的保温材料也提出了更高的要求。
[0003]现有技术已经有使用碳碳复合材料制作单晶炉保温装置的相关报道,碳碳复合材料是一种由碳纤维为增强体、碳质为基体构成的纯碳复合材料加工而成的高技术产品,其具有优异的高温力学性能、良好的耐磨性和抗热震性能,然而,碳碳复合材料在高温下易氧化烧蚀并且氧化速率随温度升高而急速增长,这严重限制了它的高温应用。
技术实现思路
[0004]专利技术目的:针对上述技术问题,本专利技术提供了一种碳碳复合改性材料固化保温筒及其制备方法。
[0005]所采用的技术方案如下:
[0006]一种碳碳复合改性材料固化保温筒,包括筒体,所述筒体的组成成分包括碳纤维预制体、树脂碳层和改性体。
[0007]本专利技术所述碳纤维预制体为按照产品结构将碳纤维编织成3D或2.5D编织体,体积密度为0.45
‑
0.6g/cm3。
[0008]进一步地,以重量份数计,所述筒体的组成成分包括碳纤维预制体20
‑
40份、树脂碳层20
‑
40份和改性体25
‑
30份。
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,包括筒体,所述筒体的组成成分包括碳纤维预制体、树脂碳层和改性体。2.如权利要求1所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,以重量份数计,所述筒体的组成成分包括碳纤维预制体20
‑
40份、树脂碳层20
‑
40份和改性体25
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30份。3.如权利要求1所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,所述改性体由过渡金属元素碳化物和过渡金属元素硼化物组成。4.如权利要求3所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,所述过渡金属元素碳化物、过渡金属元素硼化物的质量比为1
‑
3:1
‑
3。5.如权利要求4所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,所述过渡金属元素碳化物为HfC、ZrC或TaC中的至少一种,优选为ZrC。6.如权利要求5所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,所述过渡金属元素硼化物为HfB2、ZrB2或TaB2中的至少一种,优选为ZrB2。7.如权利要求6所述的碳碳复合改性材料固化保温筒,其特征在于,还包括ZrC
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ZrB2‑
SiC过渡涂层和SiC外涂层,所述ZrC
‑
ZrB2‑
SiC过渡涂层和所述SiC外涂层均设置于所述筒体的表面,所述ZrC
‑
ZrB2‑
SiC过渡涂层位于所述SiC外涂层与所述筒体之间。8.一种如权利要求7所述的碳碳复合改性材料固化保温筒的制备方法,其特征在于,具体如下:S1:将氧氯化锆、蔗糖用水溶解,得到第一前驱体溶液,将碳纤维预制体置于第一前驱体溶液中浸渍处理后,取出干燥,惰性气体保护下1500
‑
1600℃烧结1
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1.5h,得到第一中间体;S2:将氧氯化锆、硼酸和柠檬酸用水溶解,得到第二前驱体溶液,将第一中间体置于第二前驱体溶液中浸渍处理后,取出干燥,惰性气体保护下1500
‑
...
【专利技术属性】
技术研发人员:李白,
申请(专利权)人:醴陵市东方电瓷电器有限公司,
类型:发明
国别省市:
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