一种剥离液生产用多级过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座和多级过滤机构，所述多级过滤机构卡接固定于过滤基座的上端，所述多级过滤机构从上到下依次分为一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构，所述过滤基座的内部设置孔径为3微米的滤膜，所述过滤基座的下端固定连接有负压装置，所述负压装置出气口的下方设置有收集装置，通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费，各个组件均采用卡接固定的方式进行连接，且当一次工作完成后，也能够快速拆卸将产品收集，同时能够快速清洗，大大提高了生产效率。大大提高了生产效率。大大提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种剥离液生产用多级过滤装置


[0001]本技术涉及剥离液回收设备
，具体为一种剥离液生产用多级过滤装置。

技术介绍

[0002]在LED行业中，晶圆加工分为几道工序，其中，剥离工艺是使用牺牲材料(例如光刻胶)在衬底(例如晶片)的表面上产生靶材料的结构(图案化)的方法。当洗去牺牲层(溶剂中的光刻胶)时，顶部的材料被剥离并与下面的牺牲层一起洗涤，该过程通常使用高温及高压溶剂剥离光刻胶及上层覆盖的贵金属(一般为金，银等)，并需要将这些贵金属进行回收再利用。
[0003]贵金属的直径一般不小于3微米，剥离液再回收过程中需要多级过滤，现有技术中的过滤效率太低，严重的降低了企业的生产效率，且最终收集到的贵金属中仍然存在着大量的剥离液，导致后续清洗作业难度增大，因此我们需要提出一种剥离液生产用多级过滤装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种剥离液生产用多级过滤装置，通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费，解决上述背景技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座(1)和多级过滤机构(2)，其特征在于：所述多级过滤机构(2)卡接固定于过滤基座(1)的上端，所述多级过滤机构(2)从上到下依次分为一级过滤机构(201)、二级过滤机构(202)、三级过滤机构(203)和四级过滤机构(204)，所述过滤基座(1)的内部设置孔径为3微米的滤膜(101)，所述过滤基座(1)的下端固定连接有负压装置(102)，所述负压装置(102)出气口的下方设置有收集装置(103)。2.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述过滤基座(1)的底部设置有支腿(104)，且所述支腿(104)设置有四组，四组所述支腿(104)位于过滤基座(1)的下端四角。3.根据权利要求2所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述支腿(104)的底部固定安装有橡胶垫(105)，所述橡胶垫(105)设置为防滑橡胶垫，且所述橡胶垫(105)的底部开设有防滑纹。4.根据权利要求3所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述过滤基座(1)设置为圆柱形结构，且所述过滤基座(1)的上端开设有进气口，且所述过滤基座(1)的内部开设有固定面(106)。5.根据权利要求4所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述滤膜(101)的外侧设置有环形安装块(107)，所述滤膜(101)粘合固定于环形安装块(107)的内侧，所述固定面(106)上开设有卡槽(108)，所述环形安装块(107)的下端一体成型有卡块(109)，所述卡槽(108)和卡块(109)均设置有四组，所述滤膜(101)通过环形安装块(107)卡接固定于固定面(106)的上端，且所述环形安装块(107)的下端固定安装有密封垫(110)。6.根据权利要求5所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述一级过滤机构(201)、二级过滤机构(202)、三级过滤机构(203)和四级过滤机构(204)均由过滤网(205)和环形圈(206)所构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：李泰亨，申阳，高峰，苗发虎，白晓鹏，
申请(专利权)人：易安爱富武汉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：