本实用新型专利技术涉及一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座和多级过滤机构，所述多级过滤机构卡接固定于过滤基座的上端，所述多级过滤机构从上到下依次分为一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构，所述过滤基座的内部设置孔径为3微米的滤膜，所述过滤基座的下端固定连接有负压装置，所述负压装置出气口的下方设置有收集装置，通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费，各个组件均采用卡接固定的方式进行连接，且当一次工作完成后，也能够快速拆卸将产品收集，同时能够快速清洗，大大提高了生产效率。大大提高了生产效率。大大提高了生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种剥离液生产用多级过滤装置
[0001]本技术涉及剥离液回收设备
，具体为一种剥离液生产用多级过滤装置。
技术介绍
[0002]在LED行业中，晶圆加工分为几道工序，其中，剥离工艺是使用牺牲材料(例如光刻胶)在衬底(例如晶片)的表面上产生靶材料的结构(图案化)的方法。当洗去牺牲层(溶剂中的光刻胶)时，顶部的材料被剥离并与下面的牺牲层一起洗涤，该过程通常使用高温及高压溶剂剥离光刻胶及上层覆盖的贵金属(一般为金，银等)，并需要将这些贵金属进行回收再利用。
[0003]贵金属的直径一般不小于3微米，剥离液再回收过程中需要多级过滤，现有技术中的过滤效率太低，严重的降低了企业的生产效率，且最终收集到的贵金属中仍然存在着大量的剥离液，导致后续清洗作业难度增大，因此我们需要提出一种剥离液生产用多级过滤装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种剥离液生产用多级过滤装置，通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费，解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座和多级过滤机构，所述多级过滤机构卡接固定于过滤基座的上端，所述多级过滤机构从上到下依次分为一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构，所述过滤基座的内部设置孔径为3微米的滤膜，所述过滤基座的下端固定连接有负压装置，所述负压装置出气口的下方设置有收集装置。
[0006]进一步，所述过滤基座的底部设置有支腿，且所述支腿设置有四组，四组所述支腿位于过滤基座的下端四角。
[0007]进一步，所述支腿的底部固定安装有橡胶垫，所述橡胶垫设置为防滑橡胶垫，且所述橡胶垫的底部开设有防滑纹。
[0008]进一步，所述过滤基座设置为圆柱形结构，且所述过滤基座的上端开设有进气口，且所述过滤基座的内部开设有固定面。
[0009]进一步，所述滤膜的外侧设置有环形安装块，所述滤膜粘合固定于环形安装块的内侧，所述固定面上开设有卡槽，所述环形安装块的下端一体成型有卡块，所述卡槽和卡块均设置有四组，所述滤膜通过环形安装块卡接固定于固定面的上端，且所述环形安装块的下端固定安装有密封垫。
[0010]进一步，所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构均由过滤网和环形圈所构成，所述过滤网焊接固定于环形圈的内侧，且所述一级过滤机构、二级过
滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构中的过滤网的孔径依次减小，且所述四级过滤机构中过滤网孔径鉴于0.5～1mm。
[0011]进一步，所述一级过滤机构的上端设置有压合盖板，所述压合盖板上开设有四组为四分之一圆形的缺口，所述缺口内安装有防尘布，且所述压合盖板的上端安装有把手。
[0012]进一步，所述压合盖板的下端一体成型有盖板卡块，且所述一级过滤机构中的环形圈的上端开设有盖板卡槽，所述盖板卡块和盖板卡槽均设置有四组。
[0013]进一步，所述一级过滤机构、二级过滤机构和三级过滤机构的下端均开设有连接卡槽，所述四级过滤机构的下端开设有过滤卡槽，且所述二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构的上端一体成型有连接卡块，所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构之间通过连接卡槽和连接卡块卡接固定，且所述一级过滤机构、二级过滤机构、三级过滤机构和四级过滤机构之间设置有橡胶密封圈。
[0014]进一步，所述过滤基座的内壁一体成型有四组过滤机构卡块，四组所述过滤机构卡块之间为等距设置，且所述过滤机构卡块位于固定面的上方。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1、本技术通过负压装置加快过滤的效率，且负压装置不仅能够加快过滤的速度，且能够减少金属表面残留的剥离液，从而提高剥离液的收集效果，减少资源的浪费。
[0017]2、本技术中的各个组件均采用卡接固定的方式进行连接，各个组件之间通过压合盖板进行压合加固，这样在使用时出现堵塞易于检修，且当一次工作完成后，也能够快速拆卸将产品收集，同时能够快速清洗，大大提高了生产效率。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本技术过滤基座的结构示意图；
[0020]图3为本技术环形安装块的结构示意图；
[0021]图4为本技术压合盖板的结构示意图；
[0022]图5为本技术一级过滤机构的结构示意图；
[0023]图6为本技术二级过滤机构的结构示意图；
[0024]图7为本技术三级过滤机构的结构示意图；
[0025]图8为本技术四级过滤机构的结构示意图。
[0026]图中：1、过滤基座；2、多级过滤机构；101、滤膜；102、负压装置；103、收集装置；104、支腿；105、橡胶垫；106、固定面；107、环形安装块；108、卡槽；109、卡块；110、密封垫；111、过滤机构卡块；201、一级过滤机构；202、二级过滤机构；203、三级过滤机构；204、四级过滤机构；205、过滤网；206、环形圈；207、压合盖板；208、缺口；209、防尘布；210、把手；211、盖板卡块；212、盖板卡槽；213、连接卡槽；214、连接卡块；215、橡胶密封圈；216、过滤卡槽。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
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8，本技术提供一种技术方案：一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座1和多级过滤机构2，过滤基座1的下端固定连接有负压装置102，负压装置102出气口的下方设置有收集装置103，过滤基座1的底部设置有支腿104，且支腿104设置有四组，四组支腿104位于过滤基座1的下端四角，支腿104的底部固定安装有橡胶垫105，橡胶垫105设置为防滑橡胶垫，且橡胶垫105的底部开设有防滑纹，装置整体通过支腿104进行架空，负压装置102设置为风机，风机工作中会产生振动，设置橡胶垫105能够减小振动带来的不良影响；
[0029]多级过滤机构2卡接固定于过滤基座1的上端，过滤基座1的内壁一体成型有四组过滤机构卡块111，四组过滤机构卡块111之间为等距设置，且过滤机构卡块111位于固定面106的上方；
[0030]多级过滤机构2从上到下依次分为一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构204，一级过滤机构201、二级过滤机构202、三级过滤机构203和四级过滤机构2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种剥离液生产用多级过滤装置，包括过滤基座(1)和多级过滤机构(2)，其特征在于：所述多级过滤机构(2)卡接固定于过滤基座(1)的上端，所述多级过滤机构(2)从上到下依次分为一级过滤机构(201)、二级过滤机构(202)、三级过滤机构(203)和四级过滤机构(204)，所述过滤基座(1)的内部设置孔径为3微米的滤膜(101)，所述过滤基座(1)的下端固定连接有负压装置(102)，所述负压装置(102)出气口的下方设置有收集装置(103)。2.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述过滤基座(1)的底部设置有支腿(104)，且所述支腿(104)设置有四组，四组所述支腿(104)位于过滤基座(1)的下端四角。3.根据权利要求2所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述支腿(104)的底部固定安装有橡胶垫(105)，所述橡胶垫(105)设置为防滑橡胶垫，且所述橡胶垫(105)的底部开设有防滑纹。4.根据权利要求3所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述过滤基座(1)设置为圆柱形结构，且所述过滤基座(1)的上端开设有进气口，且所述过滤基座(1)的内部开设有固定面(106)。5.根据权利要求4所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述滤膜(101)的外侧设置有环形安装块(107)，所述滤膜(101)粘合固定于环形安装块(107)的内侧，所述固定面(106)上开设有卡槽(108)，所述环形安装块(107)的下端一体成型有卡块(109)，所述卡槽(108)和卡块(109)均设置有四组，所述滤膜(101)通过环形安装块(107)卡接固定于固定面(106)的上端，且所述环形安装块(107)的下端固定安装有密封垫(110)。6.根据权利要求5所述的一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述一级过滤机构(201)、二级过滤机构(202)、三级过滤机构(203)和四级过滤机构(204)均由过滤网(205)和环形圈(206)所构成...
【专利技术属性】
技术研发人员：李泰亨，申阳，高峰，苗发虎，白晓鹏，
申请(专利权)人：易安爱富武汉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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