一种薄膜厚度测试治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜厚度测试治具，包含：下托片，用于承载薄膜；上托片，用于覆盖在薄膜上方，设有若干条第一刻度线，所述的第一刻度线将上托片分为若干区域；下托片与上托片均透明或半透明；固定装置，用于固定测试状态下所述上托片和所述下托片的相对位置，使两块托片不发生相对滑动。该治具能够在不损伤薄膜的情况下，精确测定薄膜厚度，并且能对薄膜的不同区域的厚度进行精确测定，以比较薄膜不同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜厚度测试治具


[0001]本技术涉及燃料电池
，主要涉及一种薄膜厚度测试治具。

技术介绍

[0002]薄膜在生产生活中的应用非常广泛。在实际应用中，对于部分薄膜，需要在避免对薄膜造成磨损的情况下，对薄膜各区域的厚度进行测定。
[0003]在燃料电池领域，其核心发电单元为膜电极。膜电极包括质子膜及其膜上两侧涂布催化剂形成的催化层，涂布催化剂多为贵金属及其合金，或与碳的复合物，包括但不限于如Pt、Pt/C、Ir、Ru等，质子膜的厚度一般为5～130μm，每一侧的催化层的厚度为3～100μm，涂布完成的成品称为CCM。一般对于厚度有较高的要求，需要知道涂布厚度是否满足设计要求和厚度的一致性(包括每个CCM不同区域厚度的一致性以及不同CCM之间厚度的一致性)。因此，厚度的测试非常重要。
[0004]目前的测试方法一般采用直接接触。非接触式测厚则一般采用激光、X光等，也会因为质子膜柔软较难铺平，产生较大误差；而且这些非接触式测厚设备本身成本很高。
[0005]然而由于CCM本身质地柔软，使得测厚操作困难；同时表面涂布本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜厚度测试治具，其特征在于，所述的薄膜厚度测试治具包含：下托片，用于承载薄膜；上托片，用于覆盖在薄膜上方，设有若干条第一刻度线，所述的第一刻度线将上托片分为若干区域；下托片与上托片均透明或半透明；固定装置，用于固定测试状态下所述上托片和所述下托片的相对位置，使上、下托片不发生相对滑动。2.如权利要求1所述的薄膜厚度测试治具，其特征在于：所述的下托片设有第二刻度线，测试厚度时，所述第二刻度线的位置与所述第一刻度线的投影位置重合。3.如权利要求1所述的薄膜厚度测试治具，其特征在于：所述的若干条第一刻度线分别沿上托片的长度方向和宽度方向设置，构成若干行列。4.如权利要求3所述的薄膜厚度测试治具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽娜，孙丽君，林烜，贺阳，蒋永伟，杨晨，
申请(专利权)人：航天氢能上海科技有限公司，
类型：新型
国别省市：